精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法技术

本发明专利技术涉及显示器制备技术领域，公开了一种精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法，用以提高掩膜板的开口区域的位置精度，进而提高掩膜精度。其中精细掩膜板支撑框架，包括：多个边框，多个所述边框围成掩膜区域，至少一对相对设置的两个边框上设有调节开口，每个所述调节开口上设有至少一个调节件，所述调节件用于调节对应的所述调节开口的形状以调节所述掩膜区域的形变。

【技术实现步骤摘要】
精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法
本专利技术涉及显示器制备
，尤其涉及一种精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法。
技术介绍
目前OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层。在器件制备过程中，有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上，在基板下方需使用高精度金属掩膜板，掩膜板(即高精度金属掩膜板)上留有预先设计好的有效开口区域，通过该有效开口区域，有机材料沉积到背板上面，形成预设图形。金属掩膜板上有效开口区域的尺寸、位置的变化会直接影响镀膜的精度。如图1所示，目前精细掩膜板的制作是在掩膜板框架01上分别焊接横向的遮挡条02和竖向的支撑条03，再在焊有遮挡条02和支撑条03的掩膜板框架01上焊接掩膜条04。遮挡条02的作用是遮挡各个掩膜条04之间的缝隙，支撑条03主要起支撑掩膜条04的作用。目前的遮挡条和支撑条的焊接都是在掩膜条焊接之前完成的，并且焊接它们时不需要对掩膜框架使用挤压力，但是在焊接掩膜条的时候，需要用外力使得掩膜条上的开口05达到合适的精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精细掩膜板支撑框架，包括：多个边框，多个所述边框围成掩膜区域，其特征在于，至少一对相对设置的两个边框上设有调节开口，每个所述调节开口上设有至少一个调节件，所述调节件用于调节对应的所述调节开口的形状以调节所述掩膜区域的形变。

【技术特征摘要】
1.一种精细掩膜板支撑框架，包括：多个边框，多个所述边框围成掩膜区域，其特征在于，至少一对相对设置的两个边框上设有调节开口，每个所述调节开口上设有至少一个调节件，所述调节件用于调节对应的所述调节开口的形状以调节所述掩膜区域的形变。2.根据权利要求1所述的精细掩膜板支撑框架，其特征在于，每个所述调节件包括：螺杆和一个锁紧螺母，所述螺杆的两端分别与所述调节开口的第一侧壁和第二侧壁连接，所述锁紧螺母位于所述调节开口内且套装于所述螺杆，其中所述第一侧壁上设有螺纹孔、所述第二侧壁上设有孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同。3.根据权利要求1所述的精细掩膜板支撑框架，其特征在于，每个所述调节件包括：螺杆和两个锁紧螺母，所述螺杆的两端分别与所述调节开口的第一侧壁和第二侧壁连接，两个所述锁紧螺母位于所述调节开口内且套装于所述螺杆，其中所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同。4.根据权利要求1所述的精细掩膜板支撑框架，其特征在于，每个所述调节件包括：螺钉，所述螺钉穿过所述调节开口的第一侧壁与所述调节开口的第二侧壁相抵，其中所述第一侧壁上设有与所述螺钉配合的螺纹孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口的长度方向相同，所述第一侧壁相对所述第二侧壁远离所述掩膜区域。5.根据权利要求1所述的精细掩膜板支撑框架，其特征在于，每个所述调节件包括：螺钉，所述螺钉穿过所述调节开口的第一侧壁与所述调节开口的第二侧壁插合连接，其中所述第一侧壁上设有与所述螺钉配合的螺纹孔，所述第二侧壁上设有盲孔，所述第一侧壁的长度方向、所述第二侧壁的长度方向均与所述调节开口...

【专利技术属性】
技术研发人员：林治明，李宝军，张健，孙朴，黄俊杰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11