掩膜板制造技术

本发明专利技术公开一种掩膜板，掩膜板包括掩膜板本体和具有通孔的弹性支撑结构，该支撑结构设置于掩膜板本体的朝向基板的第一表面上，以对掩膜板形成撑托，防止其下垂。另一方面，由于该支撑结构设置于基板和掩膜板之间，因此即使掩膜板发生下垂，也不会接触到基板，由此可以防止掩膜板下垂后对基板造成刮伤。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板
本专利技术涉及OLED制造领域，具体而言，涉及一种用于OLED蒸镀用的掩膜板。
技术介绍
OLED显示技术具有自发光、广视角、对比度高、较低耗电、反应速度快等优点，受到人们的广泛关注，誉为下一代显示技术。OLED领域通常通过溶液制成和蒸镀制成来实现薄膜的制备，成膜范围的界定通过掩膜板来实现。然而，在实际使用中，特别是大尺寸面板制备时，掩膜板边缘和中间的连接条，往往由于重力作用而发生下垂，下垂的掩膜板接触到蒸镀的基板后，会导致基板划伤以及成膜区出现偏差等问题。现有技术通常是在掩膜板上制作点状物支撑，以对掩膜板进行支撑，然而该技术方案虽对掩膜板下垂有所改善，但独立的点状物结构容易剥落，影响支撑效果，并形成污染。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种掩膜板，以防止该掩膜板下垂。本专利技术的另一个主要目的在于提供一种掩膜板，以保护基板，以防止掩膜板与基板直接接触，造成刮伤。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用如下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜板本体，所述掩膜板本体具有朝向基板的第一表面；弹性支撑结构，所述弹性支撑结构设置于所述第一表面上；其中，所述弹性支撑结构上设置有通孔。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜板本体，所述掩膜板本体具有朝向基板的第一表面；弹性支撑结构，所述弹性支撑结构设置于所述第一表面上；其中，所述弹性支撑结构上设置有通孔。2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述通孔为三角形通孔。3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述弹性支撑结构为一体成型结构。4.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述弹性支撑结构采用光刻技术成型。5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述弹性支撑结构由粘度为10cp～5...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗程远，于东慧，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11