蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法制造方法及图纸

蒸镀掩模(1)的制造方法包括：准备包含树脂材料(21)和无机填料的混合物(20)的工序；和使用作为成形模具的反应器(31)将混合物(20)成形，由此，将包含由树脂材料(21)构成的树脂(13)和掺杂在该树脂(13)中的无机填料的掩模基板(11)成形的成形工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法。
技术介绍
近年来，在多种多样的商品和领域中充分利用了平板显示器，要求平板显示器进一步大模型化、高画质化、低耗电化。在这样的状况下，具备利用有机材料或无机材料的电致发光(Electroluminescence，以下记为“EL”)的EL元件的EL显示装置，作为全固体型、且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。EL显示装置为了实现全彩色显示，具备与构成像素的多个子像素对应地出射期望的颜色的光的发光层。发光层的图案形成，例如使用真空蒸镀法，该真空蒸镀法使用被称为阴影掩模(shadowmask)的蒸镀掩模。为了实现高精细的EL显示装置，需要以高精度使蒸镀颗粒蒸镀在被成膜基板200上，要求在蒸镀掩模形成高精度的开口部。以往，蒸镀掩模一般使用金属掩模。金属掩模一般使用通过对金属薄板进行加工而制作的、具有规定图案的开口的金属制的掩模基板，该掩模基板一般在固定在掩模框架等支承体的状态下，作为蒸镀掩模使用。然而，在现在的金属加工技术中，难以在金属板上高精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备掩模基板，且在该掩模基板上设置有使蒸镀颗粒通过的开口部，所述蒸镀掩模的制造方法的特征在于，包括：准备包含树脂材料和无机填料的混合物的工序；和使用成形模具将所述混合物成形，由此，将包含由所述树脂材料构成的树脂和掺杂在该树脂中的无机填料的掩模基板成形的成形工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.23 JP 2014-2166191.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备掩模基板，且在该掩模基板上设置有使蒸镀颗粒通过的开口部，所述蒸镀掩模的制造方法的特征在于，包括：准备包含树脂材料和无机填料的混合物的工序；和使用成形模具将所述混合物成形，由此，将包含由所述树脂材料构成的树脂和掺杂在该树脂中的无机填料的掩模基板成形的成形工序。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：所述无机填料是由磁性体构成的磁性体填料，在所述成形工序中，将所述混合物装入所述成形模具中，在利用磁场发生源对所述成形模具中的所述掩模基板的开口部的形成区域以外的部分施加磁场的同时进行成形，由此，使所述无机填料偏置存在于所述掩模基板的开口部的形成区域以外的部分。3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：在所述成形工序中，通过以包围所述成形模具中的所述掩模基板的开口部的形成区域的方式产生磁场，使所述无机填料沿着所述磁场以包围所述掩模基板的开口部的方式取向。4.根据权利要求3所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：所述磁场发生源具备呈格子状设置的线圈，在所述成形工序中，向在俯视时包围所述掩模基板的开口部的形成区域的线圈流通电流，使所述无机填料沿着所述线圈产生的磁场以包围所述掩模基板的开口部的方式取向。5.根据权利要求2所述蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：所述磁场发生源是由在俯视时具有与所述蒸镀掩模相同的形状的磁铁或电磁铁构成的磁性体掩模，在所述成形工序中，利用所述磁性体掩模产生的磁场，使所述无机填料在俯视时按照所述磁性体掩模的形状偏置存在。6.根据权利要求1～5中任一项所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：在所述成形工序后具备在所述掩模基板形成所述开口部的开口部形成工序，在所述开口部形成工序中，通过激光加工形成所述开口部。7.根据权利要求1～5中任一项所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：在所述成形模具中，与所述掩模基板的开口部的形成区域对应地设置有凸部，在所述成形工序中...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽和雄，川户伸一，二星学，小林勇毅，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP