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蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法制造方法及图纸
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文档序号:16047307
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蒸镀掩模(1)的制造方法包括:准备包含树脂材料(21)和无机填料的混合物(20)的工序;和使用作为成形模具的反应器(31)将混合物(20)成形,由此,将包含由树脂材料(21)构成的树脂(13)和掺杂在该树脂(13)中的无机填料的掩模基板(1...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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