一种蒸镀设备和系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种蒸镀设备和系统，涉及真空镀膜技术领域。其中，该蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔。底座与加热室的一端连接，反光罩套设于加热室，第一通孔暴露于反光罩外，加热丝设置于所述加热室。本实用新型专利技术实施例通过对蒸镀设备的巧妙设计，能够有效提高热蒸发过程中的蒸镀效率，降低能源消耗。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备和系统
本技术涉及真空镀膜
，具体而言，涉及一种蒸镀设备和系统。
技术介绍
在基板上形成有机发光二级管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)器件通常采用蒸镀工艺，具体地，是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料升华成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。经专利技术人研究发现，现有技术中，在对真空条件下进行材料蒸镀时，存在能源浪费和电源控制系统成本较高的问题，除此之外，现有的蒸镀设备无法实现对蒸镀过程的实时监测和蒸镀控制。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种蒸镀设备和系统，通过对蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，能够实现蒸镀过程的有效监控。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架，所述支架与所述罩体的一端连接。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体，所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述加热丝绕设于所述加热室的外部。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述加热室的外壁开设有用于放置所述加热丝的凹槽。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有第三通孔，所述加热丝绕设于所述加热室的内壁，且通过所述第二通孔延伸至所述加热室外。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述加热丝内嵌于所述加热室的侧壁，且所述加热丝的两端穿透所述侧壁，并延伸至所述加热室外。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有加热丝。在本技术实施例较佳的选择中，上述所述加热丝为钨丝。一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括监控设备和上述所述的蒸镀设备，所述监控设备包括检测探头，所述检测探头设置于所述第一通孔处。与现有技术相比，本技术提供的蒸镀设备和系统，通过对该蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，可实现蒸镀过程的有效监控，且结构简单，易于操作。进一步地，通过在蒸镀设备上设计带有小孔的盖体，能够有效避免蒸镀过程中由于材料受热而喷出加热室，进而导致蒸镀材料浪费的问题。为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1A为本技术实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图。图1B为本技术实施例提供的一种蒸镀设备的另一视角的结构示意图。图2为图1中所示的反光罩的结构示意图。图3为本技术实施例提供的设备本体与加热丝的位置关系示意图。图4为本技术实施例提供的设备本体与加热丝的另一位置关系示意图。图5为本技术实施例提供的设备本体与加热丝的又一位置关系示意图。图6为本技术实施例提供的一种蒸镀设备的另一结构示意图。图标：100-蒸镀设备；110-反光罩；112-罩体；114-支架；120-设备本体；122-加热室；1222-第一通孔；124-底座；130-加热丝；140-盖体；142-第二通孔。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，术语“第一、第二、第三、第四等仅用于区分描述，而不能理解为只是或暗示相对重要性。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请结合参阅图1A和图1B，本技术实施例提供一种蒸镀设备100，主要用于热蒸发真空镀膜。其中，该蒸镀设备100包括反光罩110、设备本体120和加热丝130，所述设备本体120包括底座124和两端开口的中空加热室122，所述加热室122上开设有第一通孔1222，所述底座124与所述加热室122的一端连接，所述反光罩110套设于所述加热室122，所述第一通孔1222暴露于所述反光罩110外，所述加热丝130设置于所述加热室122。具体地，在蒸镀过程中，所述反光罩110用于对所述加热丝130产生的热量进行反射、使得热量再次聚集至所述加热室122，以提高蒸镀过程中热量的利用率。可选地，如图2所示，所述反光罩110包括罩体112和支架114，所述罩体112为两端开口的中空结构，所述支架114设置于该罩体112的一端。可选地，在实际实施时，所述反光罩110套设于所述设备本体120，且所述罩体112与所述设备本体120之间可间隔设置。其中，所述反光罩110和所述设备本体120之间可采用固定式或可拆卸式连接，也可直接套设于所述设备本体120外，以便于在实际应用中对所述反光罩110进行灵活选用。可选地，所述罩体112的内表面可采用反光材料制成，以保证蒸镀过程中的热量最大范围的反射至所述设备本体120。应理解，所述反光罩110的形状、材料、大小在此均不作限制。可选地，在本技术实施例中，所述支架114可以是，但不限于如图2所示的三角支架114。进一步地，所述设备本体120用于放置蒸镀材料并对其进行加热，在本技术实施例中，所述设备本体120包括底座124和两端开口的中空加热室122，所述底座124安装于所述加热室122的一端。在开始蒸镀时，所述蒸镀材料通过远离所述底座124的一端加入所述加热室122。其中，所述底座124与所述加热室122的一端无缝安装，所述无缝安装的方式可以根据实际情况进行灵活选择，如一体成型、可拆式安装等。可选地，在实际实施时，所述加热室122的尺寸大小、形状均可根据实际情况进行灵活设计。其中，所述加热室122采用耐高温材料制成，如石英、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架，所述支架与所述罩体的一端连接。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体，所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝绕设于所述加热室的外部。5.根据权利要求4所述的蒸镀设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯亚青，冯敏强，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32