一种镀膜机用基片加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成。本发明专利技术设的连接组件能带动设置有加热管的电极座转动，使加热管能根据基片的形状来改变对基片的加热角度；本发明专利技术设置的支撑杆为伸缩式支撑杆，该伸缩式支撑杆能根据基片的形状对加热管加热的距离进行调节，从而确保了本发明专利技术对基片加热的效果，有效的提高了基片镀膜的质量。

Substrate heating device for coating machine

The invention discloses a substrate heating device for a coating machine, which is mainly composed of an electrode holder (1), a heating tube (3) electrically connected with an electrode joint (18) of the electrode holder (1), and a support rod arranged on the electrode holder (1). The connecting component of the invention can drive is provided with an electrode seat heating pipe rotates, the heating pipe can change the heating angle on the substrate based on the shape of the supporting rod; the invention is provided for a telescopic support rod, the telescopic support rod tube heating of the heating based on the shape of the distance adjusted, so as to ensure the effect of the invention of substrate heating, effectively improve the quality of the substrate coating.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用基片加热装置
本专利技术涉及一种加热装置，具体是指一种镀膜机用基片加热装置。
技术介绍
镀膜机一般是通过设置在镀膜机内的阻蒸设备来加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。为了使基片的镀膜质量更好，人们在镀膜机的镀膜室内设置了基片加热装置。然而，现有的基片加热装置在为基片加热时，不能根据基片的形状来调节加热角度和加热的距离，导致基片加热装置对基片加热的效果较差，从而严重的影响了基片的镀膜质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有的基片加热装置不能调节对基片的加热角度的缺陷，提供一种镀膜机用基片加热装置。本专利技术的目的通过下述技术方案现实：一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座，与电极座的电极接头电连接的加热管，以及设置在电极座上的支撑杆组成；在电极座与支撑杆之间还设置有能带动电极座转动的连接组件。所述连接组件包括与支撑杆相连接的安装座，和通过转轴连接在安装座上并能延转轴转动的支撑架；所述电极座与支撑架相连接。所述支撑杆包括外杆，和设置在外杆上并能延外杆上下运动的伸缩杆，所述安装座与伸缩杆相连接。所述电极座上还设有防污板，所述防污板上分别设置有卡槽和开口。进一步的，所述电极座上设置有螺栓，所述螺栓与卡槽活动连接。所述安装座上设置有用于锁紧支撑架的螺钉。所述外杆上设置有用于锁紧伸缩杆的锁紧螺钉。更进一步的，所述外杆的下端还设置有安装板，所述安装板上使用绝缘板。所述电极座上还设有透明挡板，所述透明挡板位于加热管的上方。本专利技术与现有技术相比具有以下优点及有益效果：(1)本专利技术设的连接组件能带动设置有加热管的电极座转动，使加热管能根据基片的形状来改变对基片的加热角度；从而确保了本专利技术对基片加热的效果，有效的提高了基片镀膜的质量。(2)本专利技术设置的支撑杆的伸缩杆能带动电极座上下运动，从而确保了本专利技术能对基片加热的距离进行调节。(3)本专利技术所设置的防污板能有效的防止基片加热装置被靶材的原子团或离子污染；并且防污板通过卡槽与螺钉配合使用，能使防污板的安装或拆卸更方便。(4)本专利技术的连接组件的安装座上设置的螺钉能很的对连接组件的支撑架进行固定，使支撑架的转动角度保持在所需的角度上，从而提高了本专利技术对基片加热的准确性。(5)本专利技术设置的支撑杆与设置在其上的锁紧螺钉相配合，能使加热装置的加热管准确的保持在所需的高度，从而确保了本专利技术对加热管与基片的距离调节的准确性。(6)本专利技术在支撑杆的底端上设置的安装板能便于防污板的安装与拆卸，而设置在安装板上的绝缘板能使基片加热装置在使用时更安全。附图说明图1为本专利技术的整体示意图。图2为本专利技术的局部剖视图。图3为本专利技术的防污板的结构示意图。上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：1—电极座，2—防污板，3—加热管，4—伸缩杆，5—外杆，6—安装板，7—绝缘板，8—透明挡板，9—支撑架，10—转轴，11—安装座，12—螺钉，13—安装通孔，14—螺栓，15—锁紧螺钉，16—卡槽，17—开口，18—电极接头。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步地详细说明，但本专利技术的实施方式并不限于此。实施例如图1～3所示，本专利技术公开了一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座1，与电极座1电连接的加热管3，以及设置在电极座1上的支撑杆组成。如图1、2所示在电极座1上设有防污板2，并且在电极座1与支撑杆之间还设置有能带动电极座1转动的连接组件；所述支撑杆如图1、2所示，其包括外杆5和伸缩杆4。实施时，本专利技术中所述的电极座1优先采用了设有两组电极接头18的电极座，该电极座1上设有安装相应部件的螺纹孔。所述的加热管3优先采用了发热速度快的卤素灯管来实现，加热管3设置在电极座1上，加热管3的电极端与电极座1的电极接头18电连接，本专利技术所设置的加热管3的数量与电极端与电极座1的电极接头的组数相同。为了防止加热管3被靶材的原子团或离子污染，本专利技术在位于加热管3的上方电极座1上设置了透明挡板8，该透明挡板8优先采用了耐高温且传热效果好的透明石英板来实现，透明挡板8通过自攻螺钉固定在电极座1上。本专利技术所采用的两组电极接头的电极座，在使用时可根据需要更换为设置有不同组数电极接头的电极座，而加热管3的数量也可根据所采用的电极座的电极接头的组数进行调整。同时，如图1、2所示，为了防止加热装置的主要部件被靶材的原子团或离子污染，本专利技术在电极座1上还设置了防污板2，该防污板2的结构如图3所示，该防污板2采用了耐高温且易清洁的不锈钢板来实现。为了便于防污板2的安装和拆卸，本专利技术在电极座1上的螺纹孔上设置了螺栓14，所述的防污板2则通过设置在防污板2上的卡槽16安装在螺栓14上，该卡槽16的卡口直径略大于螺栓14的直径，使防污板2的安装或拆卸更方便。而防污板2如图3所示，其上还设置有一个开口17，支撑杆贯穿该开口17后与开口17的内壁相接触，防污板2所设置的开口17能使防污板2更好的对加热装置进行防护。本专利技术为了解决现有的基片加热装置不能对加热角度进行调节的问题，在支撑杆与电极座1的连接处设置了可转动的连接组件。所述的连接组件如图2所示，其包括与支撑杆相连接的安装座11，和通过转轴10设置在安装座11上并能延转轴10转动的支撑架9。所述的安装座11上设有安装通孔13，所述的支撑杆的一端则安装在安装座11的安装通孔13内，且该支撑杆的外壁与安装通孔13的内壁紧密接触。所述的支撑架9上设置了多个螺纹孔，电极座1则通过与支撑架9上的螺纹孔相匹配的螺纹钉固定连接在支撑架9上，支撑架9延转轴10转动时便能带动电极座1进行转动，从而使设置在电极座1上的加热管3的加热角度发生变化。为了使加热管3的加热角度能保持在一个固定的位置上，本专利技术在安装座11上设置了用于锁紧支撑架9的螺钉12，所述的螺钉12优先采用了便于拧动的蝴蝶螺钉来实现，使用时拧动螺钉12使螺钉12锁紧支撑架9，支撑架9不再转动，加热管3的加热角度也同时得到了固定。在需调节加热管3的加热角度时，则只需拧动螺钉12，使螺钉12不与支撑架9紧密接触便能实现对加热管3的加热角度的调节。进一步地，为了实现对基片的加热距离的调节，本专利技术所述的支撑杆采用了伸缩式支撑杆来实现，所述的支撑杆如图1、2所示，其包括外杆5和伸缩杆4。所述的外杆5一端上设置有用于锁紧伸缩杆4的锁紧螺钉15，另一端上设置有安装板6；而所述的伸缩杆4则设置在外杆5内并能延外杆5的内壁上下运动，该伸缩杆4的上端则穿过防污板2上的开口17后安装在安装座11上的安装通孔13内，该伸缩杆4并与开口17的内壁紧密接触，因此，伸缩杆4运动时能带动安装座11及设置在安装座11上的部件与伸缩杆4一起运动，而通过拧动锁紧螺钉15便能对伸缩杆4的运动状态进行控制，从而使本专利技术实现了对基片加热距离的调节。其中，所述的安装板6通过螺纹钉连接在外杆5上，该安装板6上同时设置了两个以上用于安装的通孔，安装板6则通过贯穿安装板6上的通孔的螺杆安装在蒸发室的安装台上。为了确保本专利技术使用时的安全性，在安装板6与蒸发室的安装台之间还设置了绝缘板7，该绝缘板7则优先采用了耐高温的陶瓷绝缘板来实现。本专利技术在使用时，电极座1的通过电线与外部的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成；其特征在于，在电极座(1)与支撑杆之间还设置有能带动电极座(1)转动的连接组件。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成；其特征在于，在电极座(1)与支撑杆之间还设置有能带动电极座(1)转动的连接组件。2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用基片加热装置，其特征在于：所述连接组件包括与支撑杆相连接的安装座(11)，和通过转轴(10)连接在安装座(11)上并能延转轴(10)转动的支撑架(9)；所述电极座(1)与支撑架(9)相连接。3.根据权利要求2所述的一种镀膜机用基片加热装置，其特征在于：所述支撑杆包括外杆(5)，和设置在外杆(5)上并能延外杆(5)上下运动的伸缩杆(4)，所述安装座(11)与伸缩杆(4)相连接。4.根据权利要求3所述的一种镀膜机用基片加热装置，其特征在于：所述电极座(1)上还设有防污板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：向勇，杨小军，张韬，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51