玻璃基片装载装置及立式镀膜装置制造方法及图纸

一种玻璃基片装载装置，包括：与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明专利技术还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及铜铟镓硒薄膜电池设备领域，特别是涉及玻璃基片装载装置及立式镀膜装置。
技术介绍
薄膜太阳能电池成本低重量轻，能在多种便宜的衬底上制备成器件，便于大规模生产，铜铟镓硒薄膜太阳能电池能够同时兼顾高效率和低成本，在大规模光伏发电应用中具有可持续发展的能力。传统的铜铟镓硒薄膜电池的制备方法一般包括如下步骤在玻璃衬底的一侧形成金属背电极层；采用溅射法或者蒸发法在金属背电极层上形成铜铟镓硒光吸收层；在铜铟镓硒光吸收层上形成缓冲层；在缓冲层上形成阻挡层；最后在阻挡层表面上形成窗口层以 及栅电极等。其中，蒸发法形成铜铟镓硒光吸收层的一般方法是，把镀有钥电极的玻璃衬底加热到550°C左右，再在真空中分别加热铜源、铟源、镓源和硒源，产生铜蒸汽、铟蒸汽、镓蒸汽和硒蒸汽，使铜元素、铟元素、镓元素和硒元素分别沉积到衬底上，从而生成铜铟镓硒Cu(InGa) Se2光吸收层。传统的铜铟镓硒薄膜电池生产流水线一般通过一个玻璃基片装载装置将玻璃基片固定后，依次送入各个镀膜室中镀膜。该玻璃基片装载装置通过设置与玻璃厚度相配的通槽将玻璃基片固定在玻璃基片装载装置的框架内，或者通过挂钩将玻璃悬挂固定在玻璃基片装载装置内。在此过程中，当玻璃基片加热到500°C以上时，玻璃会因高温加热膨胀，膨胀后的玻璃因挤压而变形，进而影响整个电池的质量。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能防止玻璃基片在高温膨胀后因挤压而变形的玻璃基片装载装置，还提供了一种应用了该玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。—种玻璃基片装载装置，可以在轨道上移动，其包括与地面垂直设置的框架，所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与所述玻璃基片的顶部可转动相连，所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于所述框架位于所述窗口的底部，所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽。在其中一种实施方式中，所述连接件的一端开有安装孔，所述框架位于所述窗口的顶部开设有收容孔，所述连接件通过穿过所述安装孔和所述收容孔的螺栓可转动地连接于所述框架位于所述窗口的顶部；所述连接件的另一端设有活动穿设于所述玻璃基片的连接柱。在其中一种实施方式中，还包括套设于所述连接柱末端的螺母。在其中一种实施方式中，所述限位件的横截面为U形或L形。在其中一种实施方式中，所述限位件的个数为两个，每一限位件与一个连接件对应设置。一种立式镀膜装置，包括依次相连的进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室；还包括玻璃基片传动装置，所述玻璃基片传动装置包括工作导轨、返回导轨、两个平移架、两个平移车及如权利要求I所述的玻璃基片装载装置，所述工作导轨依次穿设于所述进样室、预热过渡室、加热室、镀膜室、降温室、过渡室及出样室，所述返回导轨的两端与所述工作导轨的两端分别通过所述两个平移架相连，并构成一个闭合回路， 所述两个平移车分别活动安装在所述两个平移架上，所述玻璃基片装载装置在工作导轨上移动，并通过其中一个平移车移动到所述返回导轨，再通过另一个平移车返回所述工作导轨。在其中一种实施方式中，所述降温室、过渡室和出样室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨。在其中一种实施方式中，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上。在其中一种实施方式中，所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。在其中一种实施方式中，所述进样室的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直并可沿所述悬停导轨的延伸方向滑动的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述平移车运送至所述进样室的多个玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上，并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置依次转移至所述预热过渡室的工作导轨上；所述降温室、过渡室内的工作导轨的数量为多条，从所述镀膜室移出的玻璃基片装载装置通过一导向装置进入其中一条工作导轨；所述出样室中的工作导轨包括悬停导轨和与所述悬停导轨垂直的连接导轨；所述悬停导轨用于同时停留多个玻璃基片装载装置；所述连接导轨用于将所述过渡室的工作导轨上的玻璃基片装载装置转送至所述悬停导轨上的；并用于将所述悬停导轨上的多个玻璃基片装载装置转送到所述平移车上。玻璃基片装载装置和立式镀膜装置在形成铜铟镓硒光吸收层时，由于玻璃基片是由两个连接件可活动地悬挂在玻璃基片装载装置的框架内，当玻璃基片受热膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件连接在玻璃基片一端的间距也会增大，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。当玻璃基片冷却收缩时，两个连接件连接在玻璃基片的一端的间距随着玻璃基片的横向间距变小而变小。即铜铟镓硒光吸收层不会因为玻璃基片变形影响镀膜质量。更进一步的，由于玻璃基片装载装置中的为悬挂状态，在镀膜时，玻璃基片直立通过镀膜室，在生产的过程中未形成合金的铜、铟、镓、硒单质杂质不会掉在玻璃基片，使得生长的膜层质量更好更稳定。附图说明图I为一实施方式的玻璃基片装载装置的结构示意图；图2为图I所示的玻璃基片装载装置的局部放大示意图；图3为图I所示的限位件的横截面示意图；图4为另一实施方式的限位件的横截面示意图；图5为另一实施方式的玻璃基片装载装置结构示意图；图6为图I所示的玻璃基片装载装置的在未膨胀时的局部放大示意图；图7为实施例一的立式镀膜装置结构示意图；图8为实施例二的进样室和出样室示意图；图9为实施例三的降温室、过渡室和出样室示意图；图10为实施例四的进样室、降温室、过渡室和出样室示意图。具体实施例方式下面结合实施例及附图，对玻璃基片装载装置及应用该玻璃基片装载装置的立式镀膜装置做进一步详细的说明。请参阅图1，一实施方式的玻璃基片装载装置100主要用于装载玻璃基片300。玻璃基片装载装置100包括框架110，两个连接件120和两个限位件130。框架110大致为长方形，其与地面垂直设置。框架110上开设有用于收容玻璃基片300的窗口 112。本实施例中，玻璃基片300为长方形，因此窗口 112也大致为长方形。窗口 112的尺寸大于玻璃基片300的尺寸，即窗口 112的长度和宽度都比玻璃基片300的长度和览度要大。请参阅图2，本实施例中，连接件120的形状类似于短杆。每个连接件120的一端开设安装孔122 (见图6)，框架110位于窗口 112的顶部开设有两个安装孔114，通过穿过安装孔122和安装孔114的螺栓124可以将连接件120的一端与框架110位于窗口 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基片装载装置，可以在轨道上移动，其特征在于，包括：与地面垂直设置的框架，所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与所述玻璃基片的顶部可转动相连，所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于所述框架位于所述窗口的底部，所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈旺寿，肖旭东，张撷秋，刘壮，顾光一，杨春雷，宋秋明，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，香港中文大学，
类型：发明
国别省市：