The utility model provides a high temperature to a beam source furnace, beam source furnace technical field. The utility model comprises a frame, wherein, the frame comprises a base and a vertically arranged on the base of the pole, beam source furnace body comprises a crucible, a heating wire, cooling the corrugated pipe and the electrode assembly, a protective cover is arranged above the base, the protective cover is arranged in the crucible and the crucible is provided with a heating wire, a heating wire, crucible are arranged outside the shielding layer is disposed on the base of the corrugated pipe and the cooling electrode assembly, cooling bellows is communicated with the body through the connecting beam source furnace pipe, wire electrode assembly is connected with the body through a connecting beam source furnace. The utility model can work for a long term stable at 1500 DEG C, the purity of film to achieve satisfactory results, no volatile doping, the pyrolytic boron nitride crucible, high temperature does not react with the vast majority of molten metal and semiconductor material is moist and wide application range.
【技术实现步骤摘要】
一种高温束源炉
本技术涉及一种束源炉
,特别是涉及一种高温束源炉。
技术介绍
束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下,通过加热材料的方法,使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。随着真空镀膜技术的不断发展,对镀膜设备的工艺需求也不断提出更高的要求,尤其在超高温蒸发设备领域更显突出。在超高温状态下所用材料的选用尤为重要,要求在正常高温下炉内气氛清洁,不能给工件带来污染,使用稳定性,温控精度等。原高温炉多采用石墨及感应加热,这两种加热方式使用面窄,如受材料特性、周围气氛要求等很多因素限制。
技术实现思路
针对上述问题中存在的不足之处,本技术提供一种高温束源炉,使其在1500℃状态下可以长期工作稳定,膜层纯度达到满意效果,无挥发掺杂,选用热解氮化硼坩埚,其耐高温,强度随温度升高,2200℃达到最大值,耐酸、碱、盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应,适用范围广泛。为了解决上述问题,本技术提供一种高温束源炉,包括机架,其中,所述机架包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,所述束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,所述底座的上方设置有保护罩,所述保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,所述坩埚上设置有所述加热丝,所述坩埚的外侧设置有屏蔽层,所述底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,所述冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,所述电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。优选的,所述冷却波纹管上设置有冷却管接头,所述冷却管接头采用VCR接头结构 ...
【技术保护点】
一种高温束源炉,包括机架,其特征在于,所述机架包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,所述束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,所述底座的上方设置有保护罩,所述保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,所述坩埚上设置有所述加热丝,所述坩埚的外侧设置有屏蔽层,所述底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,所述冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,所述电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。
【技术特征摘要】
1.一种高温束源炉,包括机架,其特征在于,所述机架包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,所述束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,所述底座的上方设置有保护罩,所述保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,所述坩埚上设置有所述加热丝,所述坩埚的外侧设置有屏蔽层,所述底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,所述冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,所述电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。2.如权利要求1所述的高温束源炉,其特征在于,所述冷却波纹管上设置有冷却管接...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵俊华,
申请(专利权)人:沈阳聚智真空设备有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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