本实用新型提供一种气体质量流量显示仪，涉及一种气体流量技术领域。该实用新型包括壳体，壳体内设置流量显示仪主板、显示板、流量计和截止阀，流量显示仪主板分别与显示板、流量计和截止阀连接，显示板为四路显示板结构，其包括第一显示板、第二显示板、...

本实用新型提供一种膜厚测试仪，涉及一种真空镀膜技术领域。该实用新型包括主机和设置在主机上的探头机构，主机包括主板、后面板和前面板，主板上设置有电源板、显示单元、振荡器采样单元、按键单元和单片机控制单元，单片机控制单元分别与电源板、显示单...

本实用新型提供一种双轴真空密封传动机构，涉及一种完成传递工件的机械臂传动主轴机构技术领域。该实用新型包括传动轴和法兰式无导座型制动器，法兰式无导座型制动器设置在传动轴的下端，传动轴包括主轴和空心轴，主轴设置在空心轴内部，主轴与空心轴铰接...

本实用新型提供一种近距离升华制造CdTe薄膜设备，涉及一种多晶薄膜太阳能电池技术领域。该实用新型包括装置本体，装置本体内设置有升华室，升华室内设置有石墨坩埚、加热器、基片、可滑动加热基片架和清洗退火装置，石墨坩埚和清洗退火装置从左至右依...

本实用新型提供一种MBE分子束外延束源炉，涉及一种MBE分子束外延镀膜设备技术领域。该实用新型包括热解氮化硼坩埚、加热片电极、绝缘陶封电极、水冷管、水冷VCR接头和安装法兰，热解氮化硼坩埚的下端连接有安装法兰，热解氮化硼坩埚上设置有加热...

本实用新型提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，涉及一种等离子体增强新型电极板技术领域。该实用新型包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰，电极杆结构的顶端与喷淋头电极板结构连接，电极板结构上设置有安装法兰，喷淋头电极板结...

本实用新型提供一种真空镀膜基片样品台，涉及一种科研样品台技术领域。该实用新型包括主轴和设置在主轴底部的基片固定托，主轴的顶端设置有带轮结构，带轮结构包括旋转带轮、驱动带轮和步进电机，驱动带轮设置在带轮结构的右端，步进电机设置在驱动带轮的...

本实用新型提供一种高温束源炉，涉及一种束源炉技术领域。该实用新型包括机架，其中，机架包括底座和垂直设置在底座上的立杆，束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有坩埚和加热丝，坩埚上设置有加热...

本实用新型提供一种双室磁控蒸发真空设备，涉及一种镀膜设备技术领域。该实用新型包括真空室、蒸发室和磁控室，蒸发室设置在真空室内左侧，磁控室设置在真空室内右侧，蒸发室和磁控室之间通过传递机构连接，传递机构包括传递轨道、磁力短轴和传递小车，传...

本实用新型提供一种连杆滑块式机械臂，涉及一种机械臂技术领域。该实用新型包括相连接的机械臂结构和驱动轴机构，驱动轴机构包括空心轴和主轴，主轴设置在空心轴内部，机械臂包括机械手、支架板、手臂杆和手臂杆座，支架板设置在空心轴的上端，手臂杆设置...