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本实用新型提供一种高温束源炉，涉及一种束源炉技术领域。该实用新型包括机架，其中，机架包括底座和垂直设置在底座上的立杆，束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有坩埚和加热丝，坩埚上设置有加热丝，...
该专利属于沈阳聚智真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳聚智真空设备有限公司授权不得商用。

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