一种阻蒸设备用翻转挡板装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种阻蒸设备用翻转挡板装置，主要由防污板(1)，与防污板(1)相连接的连杆组件，以及与连杆组件相连接的气缸(2)组成；所述连杆组件连接在气缸(2)的伸缩杆(11)上。本发明专利技术设的防污板相连接的连杆组件在气缸的伸缩杆的带动能进行上下翻转，本发明专利技术的防污板进行上下翻转比现有的防污板的170°旋转相比，本发明专利技术的防污板进行上下翻转极大的减小了防污板在阻蒸镀膜机的蒸发室所占用的空间，使蒸发室能安装多个阻蒸设备，从而使本发明专利技术能有效的提高阻蒸镀膜机的蒸发室的利用率，并很好的提高了阻蒸镀膜机的工作效率。

Turnover baffle device for vapor stopping device

The invention discloses a turnover baffle device resistance evaporation equipment, mainly by the finger plate (1) and (1), the antifouling board connecting rod assembly is connected, and the cylinder is connected with the connecting rod (2); the connecting rod assembly is connected to the cylinder (2) of the telescopic rod (11). Drive the connecting rod component is connected with the antifouling plate of the invention in the telescopic cylinder can flip up and down, antifouling plate of the invention are upside down than the rotation of 170 degrees compared to existing antifouling antifouling board, plate of the invention is upside down greatly reduces the antifouling board occupied in evaporation chamber steam resistance coating machine room, the room can install a plurality of evaporation resistance evaporation equipment, which makes use of the invention can effectively improve the steam resistance evaporation chamber coater rate, and greatly improve the working efficiency of the steam resistance coating machine.

【技术实现步骤摘要】
一种阻蒸设备用翻转挡板装置
本专利技术涉及一种阻蒸器用挡板装置，具体是指一种阻蒸设备用翻转挡板装置。
技术介绍
阻蒸镀膜一般是通过设置在镀膜机内的阻蒸设备来加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。阻蒸镀膜时为了防止基片在镀膜完成后残留在蒸发室内的靶材原子团或离子继续为基片进行镀膜，而影响靶材的镀膜质量，我们便在阻蒸设备的上方设置了用于遮挡靶材原子团或离子的挡板装置，使残留在蒸发室内的靶材原子团或离子不会沉降在基片表面上。然而，现有人们所采用的阻蒸设备用旋转式挡板装置工作时其挡板需进行170°旋转，而挡板旋转时会占用安装阻蒸设备的蒸发室大部分空间，导致阻蒸镀膜机的蒸发室的利用率过低，致使蒸发室内部不能设置多个阻蒸设备，从而严重的影响了阻蒸镀膜机的工作效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有的阻蒸设备用旋转式挡板装置工作时其挡板占用阻蒸镀膜机的蒸发室空间过大的缺陷，提供一种阻蒸设备用翻转挡板装置。本专利技术的目的通过下述技术方案现实：一种阻蒸设备用翻转挡板装置，主要由防污板，设置在防污板上并能带动防污板上下运动的连杆组件，以及与连杆组件相连接的气缸组成；所述连杆组件连接在气缸的伸缩杆上。所述连杆组件包括与气缸的伸缩杆相连接并能跟随伸缩杆上下运动的连接杆，通过丝杆连接在连接杆上并能跟随连接杆运动的连动杆，以及与连动杆相连接并能带动防污板上下运动的安装件；所述防污板通过连接轴连接在安装件上。所述气缸上设置有连接筒，所述气缸的伸缩杆贯穿连接筒，且该伸缩杆通过直线轴承连接在连接筒上。所述气缸的伸缩杆上设置有与连接筒相连接的密封座，所述气缸的伸缩杆通过密封环与密封座相连接。所述安装件通过深沟轴承连接在安装座上。所述密封座上设置有压环。所述气缸的伸缩杆上还设置有密封压头，所述密封压头还与密封座相连接。所述防污板上设置有把手，所述把手贯穿防污板后并与连接轴相连接。所述气缸为DNC系列的直线往复运动的气缸。本专利技术与现有技术相比具有以下优点及有益效果：(1)本专利技术设的防污板相连接的连杆组件在气缸的伸缩杆的带动能进行上下翻转，本专利技术的防污板进行上下翻转比现有的防污板的170°旋转相比，本专利技术的防污板进行上下翻转极大的减小了防污板在阻蒸镀膜机的蒸发室所占用的空间，使蒸发室能安装多个阻蒸设备，从而使本专利技术能有效的提高阻蒸镀膜机的蒸发室的利用率，并很好的提高了阻蒸镀膜机的工作效率。(2)本专利技术的连杆组件设置了连接杆和连动杆以及安装件能有效的减小连杆组件所占高阻蒸镀膜机的蒸发室的空间。(3)本专利技术设置的安装座用于安装连杆组件，该安装座能使连杆组件的安装工作更稳定，而设置在安装座上的密封座能有效的提高翻转挡板装置与蒸发室连接的紧密性，有效的防止空气进入蒸发室。(4)本专利技术在连杆组件与安装座的连接处设置的深沟轴承能很好的提高防污板翻转的灵活性。(5)本专利技术在防污板上设置的把手能便于防污板的安装与拆卸，本专利技术并具有结构简单、设计合理和生产成本低等优点。附图说明图1为本专利技术的整体示意图。图2为本专利技术的局部剖视图。图3为本专利技术的工作示意图。上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：1—防污板，2—气缸，3—密封座，4—安装座，5—连接杆，6—丝杆，7—连动杆，8—连接筒，9—把手，10—压环，11—伸缩杆，12—安装件，13—连接轴，14—直线轴承，15—密封环，16—深沟轴承，17—密封压头，18—螺栓。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步地详细说明，但本专利技术的实施方式并不限于此。实施例如图1～3所示，本专利技术公开了一种阻蒸设备用翻转挡板装置，主要由防污板1，与防污板1相连接的连杆组件，以及与连杆组件相连接的气缸2组成；所述连杆组件连接在气缸2的伸缩杆11上。其中，所述连杆组件如图2所示，其包括连接杆5，连动杆7，安装件12，以及用于连接连接杆5和连动杆7的丝杆6。实施时，所述的防污板1本专利技术优先采用了不锈钢制成的弧形面板来实现，该防污板1上设有用于安装把手9的通孔。把手9贯穿防污板1上的通孔后连接在连接轴13上，该把手9与连接轴13采用螺纹连接的方式进行连接，把手9用于将防污板1固定连接在连接轴13上。在需对防污板1进行拆卸时只需用手拧下把手9便能完成对防污板1的拆卸，不需要别的辅助工具便能完成。所述的连接轴13连接在连杆组件上。所述连杆组件如图2、3所示，其包括连接杆5，连动杆7，安装件12，以及用于连接连接杆5和连动杆7的丝杆6。所述的安装件12上设有通孔和两个安装孔，所述的连接轴13通过螺纹连接的方式安装在安装件12上的其中一个安装孔内。安装件12上设置了安装座4，该安装座4用于安装连杆组件和连接气缸2，所述的安装件12安装在安装座4上，为了使安装件12能在安装座4上自由的转动，本专利技术在安装座4用于连接安装件12的槽孔内设置了深沟轴承16，该深沟轴承16能使安装件12实现自由转动。所述的连动杆7一端通过螺纹连接在安装件12的另一个安装孔内，而另一端则通过螺纹连接的方式连接在丝杆6的一端上，该连动杆7在为可折叠式连动杆，采用可折叠式连动杆7能减少使整个连杆组件所占高阻蒸镀膜机的蒸发室的空间。同时，所述的接连接杆5则通过螺纹连接在丝杆6的另一端上，使接连接杆5和丝杆6以及连动杆7与丝杆6相连接的一端能在气缸2的伸缩杆11的带动下与伸缩杆11一起向运动，而连动杆7与安装件12连接的一端则与伸缩杆11的运动方向相反，安装件12在连动杆7的带动下也与伸缩杆11运动相反。所述的安装座4上还设置了密封座3，该密封座3位于安装座4的下方，该密封座3的下端上设置有两个以上的穿心孔，本专利技术在安装时密封座3安装在蒸发室的安装台的下端，而密封座3相连接的安装座4则位于蒸发室内，安装时将螺钉贯穿密封座3上的穿心孔连接在安装座4上。为了使安装座4与蒸发室的安装台能紧密的接触，以防止空气进入蒸发室内，本专利技术在蒸发室内与蒸发室之间设置了压环10，该压环10安装在密封座3上，该压环10本专利技术优先采用了耐高温材料制成的压环。进一步地，本专利技术在密封座3的下方设置了连接筒8，该连接筒8用于安装气缸2，气缸2通过螺钉安装在连接筒8的下端上，气缸2的伸缩杆11从下至上依次贯穿连接筒8和密封座3。同时，气缸2的伸缩杆11通过直线轴承14连接在连接筒8上，气缸2的伸缩杆11并通过密封环15连接在密封座3上，为了使密封环15与气缸2的伸缩杆11和密封座3的连接更紧密，本专利技术在密封座3上还设置了密封压头17，该密封压头17优先采用了其内孔光滑的压头。所述气缸2的伸缩杆11贯穿密封压头17的内孔后与连接杆5相连接，连接杆5并通过螺栓18垂直固定在气缸2的伸缩杆11上，使气缸2的伸缩杆11能带动连接杆5进行上下直线运动。本专利技术中所述的气缸2优先采用了DNC系列的直线往复运动的气缸，该气缸2与外部的压缩机通过气管相连接，外部的压缩机对气缸2进行吸气做工时，气缸2的伸缩杆11向气缸2内收缩，外部的压缩机对气缸2进行充气做工时，气缸2的伸缩杆11向气缸2外伸展。本专利技术运行时，阻蒸镀膜机对基片进行镀膜时，控制系统控制与气缸2相连接的外部的压缩机对气缸2进行充气做工，气缸2的伸缩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阻蒸设备用翻转挡板装置，其特征在于：主要由防污板(1)，设置在防污板(1)上并能带动防污板(1)上下运动的连杆组件，以及与连杆组件相连接的气缸(2)组成；所述连杆组件连接在气缸(2)的伸缩杆(11)上。

【技术特征摘要】
1.一种阻蒸设备用翻转挡板装置，其特征在于：主要由防污板(1)，设置在防污板(1)上并能带动防污板(1)上下运动的连杆组件，以及与连杆组件相连接的气缸(2)组成；所述连杆组件连接在气缸(2)的伸缩杆(11)上。2.根据权利要求1所述的一种阻蒸设备用翻转挡板装置，其特征在于：所述连杆组件包括与气缸(2)的伸缩杆(11)相连接并能跟随伸缩杆(11)上下运动的连接杆(5)，通过丝杆(6)连接在连接杆(5)上并能跟随连接杆(5)运动的连动杆(7)，以及与连动杆(7)相连接并能带动防污板(1)上下运动的安装件(12)；所述防污板(1)通过连接轴(13)连接在安装件(12)上。3.根据权利要求2所述的一种阻蒸设备用翻转挡板装置，其特征在于：所述气缸(2)上设置有连接筒(8)，所述气缸(2)的伸缩杆(11)贯穿连接筒(8)，且该伸缩杆(11)通过直线轴承(14)连接在连接筒(8)上。4.根据权利要求3所述的一种阻蒸设备用翻转挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：张韬，孙力，曹德，向勇，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51