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本发明公开了一种镀膜机用基片加热装置，主要由电极座(1)，与电极座(1)的电极接头(18)电连接的加热管(3)，以及设置在电极座(1)上的支撑杆组成。本发明设的连接组件能带动设置有加热管的电极座转动，使加热管能根据基片的形状来改变对基片的加...
该专利属于成都西沃克真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都西沃克真空科技有限公司授权不得商用。

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