一种旋转式多位阻蒸设备制造技术

本发明专利技术公开了一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台(1)，分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2)，与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3)，以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘等组成。本发明专利技术所设置的多位阻蒸盘能同时放置多个靶材，并且本发明专利技术设置在多位阻蒸盘上的旋转式电极杆2在驱动电机3的带动下能进行360°的旋转，使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转，很好的实现了对加热的蒸发舟6的转换。从而确保了本发明专利技术能同时放置多个靶材，并能对靶材进行连续的镀膜的要求，有效的缩短了基片的镀膜时间，很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。

Rotary type multi bit steam blocking equipment

The invention discloses a rotary multi resistance evaporation equipment, is mainly composed of a mounting table (1), are respectively arranged on the mounting table (1) on the electrode from the locking device and a rotary electrode rod (2), and the rotary rod electrode (2) is connected to the drive motor (3), and set the the rotary rod electrode (2) composed and with many resistance steaming plate locking device is electrically connected from the electrode. A number of resistance evaporation disc of the invention is capable of simultaneous placement of multiple targets, and the invention is provided with rotary electrode rod in more than 2 resistance steamed on the tray in the drive motor driven by 3 to 360 degrees of rotation, the more resistance steaming plate can also rotate 360 DEG, to achieve a good the conversion heating evaporation boat 6. To ensure the invention can contain a plurality of targets, and can carry out the continuous coating of the target, effectively shorten the time of coating substrate, it better improves the coating efficiency of steam resistance coating equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式多位阻蒸设备
本专利技术涉及一种阻蒸设备，具体是指一种旋转式多位阻蒸设备。
技术介绍
阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。我们在对基片镀膜时，常常会对基片采用相同或不同的靶材进行多次镀膜，以确保基片的镀膜质量。然而，现有的阻蒸镀膜设备多为一位式固定阻蒸镀膜设备，该设备在蒸镀时只能放置一种靶材，不能同时放置多个靶材，当需要对基片进行多次镀膜时，则需关闭阻蒸镀膜设备后通过人工进行添加或更换靶材，导致基片的镀膜时间过长，从而严重的影响了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有的阻蒸镀膜设备的不能同时放置多个靶材，因此不能对基片进行连续的镀膜的缺陷，提供一种旋转式多位阻蒸设备。本专利技术的目的通过下述技术方案现实：一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台，分别设置在安装台上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆，与旋转式电极杆电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆相连接的驱动电机，以及设置在旋转式电极杆上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟，所述旋转式电极杆通过同步带连接在驱动电机上。所述多位阻蒸盘包括电极盘，与蒸发舟一一对应设置并与蒸发舟电连接的从电极耳，设置在从电极耳上并与电极盘相连接的弹性组件；所述从电极耳与从电极锁紧装置电连接。所述弹性组件包括与从电极耳相连接的绝缘垫，设置在绝缘垫上的安装板，以及一端与安装板相连接、另一端通过加强筋连接在电极盘上的弹性件。所述旋转式电极杆通过拉紧连接座连接在安装台上，所述旋转式电极杆上分别设置有支持筒和水冷管以及旋转装置，所述旋转装置还分别与支持筒和拉紧连接座相连接，所述旋转式电极杆上还设置有的环形电极盘，所述环形电极盘通过电极抱箍连接在旋转式电极杆上并与电极锁紧装置。所述旋转装置包括一端与支持筒相连接、另一端与拉紧连接座相连接的旋转真空密封外套，一端通过上轴承安装在旋转真空密封外套上、另一端通过下轴承安装在支持筒上的旋转内轴，以及通过同步带固定键条连接在旋转内轴上且位于下轴承下方的同步带轮：所述旋转式电极杆贯穿旋转内轴，且该旋转式电极杆一端通过静密封与旋转内轴相连接、另一端通过内轴固定键条与旋转内轴相连接，所述同步带轮通过同步带与驱动电机相连接。所述电极锁紧装置包括与环形电极盘电连接的电极夹紧板，设置在电极夹紧板下方且用于夹紧环形电极盘的压头，以及设置在压头上的第一气缸；所述压头连接在第一气缸的第一伸缩杆上；所述电极夹紧板上设有安装基板，所述第一气缸安装在安装基板上；所述安装基板上设有保持座，所述电极夹紧板通过绝缘板连接在保持座上并位于保持座的下方，所述第一伸缩杆贯穿安装基板与保持座；所述旋转式电极杆贯穿安装基板并通过支持筒连接在安装基板上。所述从电极锁紧装置包括与从电极耳电连接的从电极座，设置在从电极座上方且用于夹紧从电极耳的夹头，以及设置在夹头上的第二气缸；所述夹头连接在第二气缸的第二伸缩杆上，所述从电极座上设置有导电座，所述导电座通过下绝缘块连接在安装台上并位于安装台的下方，所述安装台上设置有与下绝缘块相匹配的上绝缘块，所述导电座上还设置有安装筒，所述第二伸缩杆贯穿安装筒与导电座，所述第二伸缩杆通过伸缩杆固定座连接在导电座上。所述蒸发舟的一端通过电极压块连接在电极盘上、其另一端通过从电极压块连接在从电极耳上。所述驱动电机设置在安装基板上，所述的驱动电机的转轴上设置有用于调节驱动电机转速的变速器，所述变速器的传动轴上设置有通过同步带连接在同步带轮上的传动同步带轮，所述传动同步带轮的下方设置有编码器，所述编码器通过转轴连接套连接在变速器的传动轴上。所述旋转式电极杆的下端设置有旋转式水接头，所述水冷管贯穿旋转式水接头的安装头后连接在贯穿旋转式水接头的进水接头上。本专利技术与现有技术相比具有以下优点及有益效果：(1)本专利技术设置的多位阻蒸盘上设有多个蒸发舟能同时放置多个靶材，并且本专利技术还在多位阻蒸盘上设置了旋转式电极杆，该旋转式电极杆在相连接的驱动电机的带动下能进行360°的旋转，使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转。同时，本专利技术设置的从电极锁紧装置和电极锁紧装置能实现对多位阻蒸盘上的从电极和电极的自动导通与关闭，从而确保了本专利技术能同时放置多个靶材，并能对靶材进行连续的镀膜的要求，有效的缩短了基片的镀膜时间，很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。(2)本专利技术在从电极耳与阻蒸盘之间设置了弹性组件，该弹性组件能使从电极耳快速的复位，防止了蒸发舟在受热后出现变形或断裂，从而有效的提高了蒸发舟的使用寿命。(3)本专利技术的旋转式电极杆上设置了水冷管，该水冷管能使旋转式电极杆实现快速的冷却，使旋转式电极杆的温度能保持在25℃左右，从而确保了本专利技术的旋转式电极杆不会变形，同时确保了与旋转式电极杆相配合的绝缘和密封部件不会被高温损坏，从而极大的延长了电极装置的使用寿命。(4)本专利技术的拉紧连接座能使旋转式电极杆牢牢的固定在安装台上，本专利技术设置的旋转装置能使旋转式电极杆在驱动电机的带动下实现自由的旋转。(5)本专利技术的驱动电机和编码器相配合，能使电极杆进行定位转动，很好的解决了现有的电极杆的供电控制装置不能使电极杆进行定位转动的问题。(6)本专利技术的电极锁紧装置的压头在第一气缸的第一伸缩杆的带动下能实现电极夹紧板与旋转式电极杆的环形电极盘的自动连接与断开，并且电极锁紧装置能使旋转式电极杆的环形电极盘与电极夹紧板的接触更紧密，从而确保了本专利技术旋转式电极杆的电极能自动导通或断开，同时确保了为蒸发舟提供一个稳定的电极，有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度。(7)本专利技术的从电极锁紧装置的夹头在第二气缸的第二伸缩杆的带动下能实现从电极座与从电极耳的自动连接与断开，并且从电极锁紧装置能使从电极耳与从电极座的接触更紧密，从而确保了本专利技术从电极耳的从电极能自动导通或断开，同时确保了为蒸发舟提供一个稳定的电极，有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度。附图说明图1为本专利技术的整体示意图。图2为本专利技术的旋转式电极杆的剖视图。图3为本专利技术的多位阻蒸盘的俯视图。图4为本专利技术的多位阻蒸盘的剖视图。图5为本专利技术的电极锁紧装置的局部剖视图。图6为本专利技术的电极夹紧板的结构示意图。图7为本专利技术的从电极锁紧装置的剖视图。图8为本专利技术的从电极座的结构示意图。上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：1—安装台，2—旋转式电极杆，3—驱动电机，4—同步带，5—电极盘，6—蒸发舟，7—从电极耳，8—绝缘垫，9—安装板，10—加强筋，11—弹性件，12—从电极压块，13—电极压块，14—拉紧连接座，15—支持筒，16—环形电极盘，17—电极抱箍，18—旋转真空密封外套，19—上轴承，20—下轴承，21—旋转内轴，22—同步带轮，23—同步带固定键条，24—静密封，25—内轴固定键条，26—水冷管，27—电极夹紧板，28—压头，29—第一气缸，30—第一伸缩杆，31—安装基板，32—保持座，33—绝缘板，34—从电极座，35—夹头，36—第二气缸，37—第二伸缩杆，38—导电座，39—下绝缘块，40—上绝缘块，41—安装筒，42—伸缩杆固定座，43—变速器，44本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：主要由安装台(1)，分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2)，与旋转式电极杆(2)电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3)，以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟(6)，所述旋转式电极杆(2)通过同步带(4)连接在驱动电机(3)上。

【技术特征摘要】
1.一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：主要由安装台(1)，分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2)，与旋转式电极杆(2)电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3)，以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟(6)，所述旋转式电极杆(2)通过同步带(4)连接在驱动电机(3)上。2.根据权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述多位阻蒸盘包括电极盘(5)，与蒸发舟(6)一一对应设置并与蒸发舟(6)电连接的从电极耳(7)，设置在从电极耳(3)上并与电极盘(5)相连接的弹性组件；所述从电极耳(7)与从电极锁紧装置电连接。3.根据权利要求2所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述弹性组件包括与从电极耳(7)相连接的绝缘垫(8)，设置在绝缘垫(8)上的安装板(9)，以及一端与安装板(9)相连接、另一端通过加强筋(10)连接在电极盘(5)上的弹性件(11)。4.根据权利要求3所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述旋转式电极杆(2)通过拉紧连接座(14)连接在安装台(1)上，所述旋转式电极杆(2)上分别设置有支持筒(15)和水冷管(26)以及旋转装置，所述旋转装置还分别与支持筒(15)和拉紧连接座(14)相连接，所述旋转式电极杆(2)上还设置有的环形电极盘(16)，所述环形电极盘(16)通过电极抱箍(17)连接在旋转式电极杆(2)上并与电极锁紧装置。5.根据权利要求4所述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述旋转装置包括一端与支持筒(15)相连接、另一端与拉紧连接座(14)相连接的旋转真空密封外套(18)，一端通过上轴承(19)安装在旋转真空密封外套(18)上、另一端通过下轴承(20)安装在支持筒(15)上的旋转内轴(21)，以及通过同步带固定键条(23)连接在旋转内轴(21)上且位于下轴承(20)下方的同步带轮(22)：所述旋转式电极杆(2)贯穿旋转内轴(21)，且该旋转式电极杆(2)一端通过静密封(24)与旋转内轴(21)相连接、另一端通过内轴固定键条(25)与旋转内轴(21)相连接，所述同步带轮(22)通过同步带(4)与驱动电机(3)相连接。6.根据权利要求5述的一种旋转式多位阻蒸设备，其特征在于：所述电极锁紧装置包括与环形电极盘(16)电连接的电极夹紧板(27)，设置在电极夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：向勇，曹德，孙力，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51