一种单电机驱动双摆臂转动的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机，单元固定板，减速器及摆臂单元，电机及减速器各一个。减速器包括外壳体、安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴上。实际应用中，旋转运动从蜗轮蜗杆传动机构输入，从少齿差行星传动机构的输出轴输出，在整个传动过程中，旋转运动经过了两级减速，显著地提高了传动比以及所能承受的负载，此外，蜗轮蜗杆传动机构与少齿差传动机构设置在同一个外壳体的内部并者两者直接连接，使得减速器的结构紧凑，体积相对较小，重量相对较轻。

【技术实现步骤摘要】
一种单电机驱动双摆臂转动的装置
本专利技术涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种单电机驱动双摆臂转动的装置。
技术介绍
目前，半导体晶片湿法处理工艺中需要化学液对晶圆表面进行点喷加工，最常使用的是依靠摆臂摆动来实现化学液与晶圆的相对位置。常见的工艺腔体内一般都含有两个或两个以上的摆臂，这就需要两个甚至更多的电机及其附属必需的元器件来驱动摆臂。随着半导体设备结构日益紧凑、要求降低成木的趋势下，如何能通过优化结构来减少摆臂安装控件和降低设备成本己经成为一个不可避免的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单电机驱动双摆臂转动的装置。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元，其中电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上，所述电机的输出端连接有减速器，在减速器的输出端连接有第二同步带轮，该第二同步带轮的圆周上设有齿；所述减速器包括外壳体、均安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴上；所述少齿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，包括电机(14)、单元固定板(15)、减速器(13)及摆臂单元，其中电机(14)通过单元固定板(15)安装在晶圆处理单元底座上，所述电机(14)的输出端连接有减速器(13)，在减速器(13)的输出端连接有第二同步带轮(12)，该第二同步带轮(12)的圆周上设有齿；所述减速器(13)包括外壳体、均安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮(22)固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴(28)上；所述少齿差行星传动机构包括摆线针轮行星传动机构，所述摆线针轮行星传动机构包括设置在输入轴(28)上的偏心套(27)与偏心...

【技术特征摘要】
1.一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，包括电机(14)、单元固定板(15)、减速器(13)及摆臂单元，其中电机(14)通过单元固定板(15)安装在晶圆处理单元底座上，所述电机(14)的输出端连接有减速器(13)，在减速器(13)的输出端连接有第二同步带轮(12)，该第二同步带轮(12)的圆周上设有齿；所述减速器(13)包括外壳体、均安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮(22)固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴(28)上；所述少齿差行星传动机构包括摆线针轮行星传动机构，所述摆线针轮行星传动机构包括设置在输入轴(28)上的偏心套(27)与偏心套轴承(26)、安装在偏心套轴承(26)上的摆线轮(24)、与摆线轮(24)相啮合的针轮(33)、与摆线轮(24)连接的输出构件(29)、与输出构件(29)固定连接的输出轴(31)，所述输出轴(31)为减速器(13)的输出端；所述电机(14)的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，该摆臂单元包括带轮轴(17)、第一同步带轮(11)、同步传动机构、摆臂轴(8)及摆臂(1)，所述带轮轴(17)及摆臂轴(8)分别转动安装在所述单元固定板(15)上，在带轮轴(17)上连接有与所述第二同步带轮(12)相啮合的第一同步带轮(11)，所述第一同步带轮(11)通过同步传动机构与摆臂轴(8)的一端相连，摆臂轴(8)的另一端连接有摆臂(1)；所述电机(14)两侧的摆臂(1)通过电机(14)驱动分别摆动，完成对晶圆(18)的喷洒后复位。2.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述摆线轮(24)通过多个销轴与输出构件(29)连接，所述输出构件(29)安装在输入轴(28)上，并在输出构件(29)和输入轴(28)之间设置有轴承。3.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李支峰，李珍芳，
申请(专利权)人：安徽天裕汽车零部件制造有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34