一种超薄材料-金属新型接触电极制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种超薄材料-金属新型接触电极
本专利技术涉及超薄材料光电探测器、光电调制器等光电子器件，尤其是涉及了一种超薄材料-金属新型接触电极，能有效地降低超薄材料与金属的接触电阻。
技术介绍
超薄材料具有很好的柔性，易于与半导体器件集成，在光学和电学方面也有着优异的性质。比如最早被发现的石墨烯超薄材料，凭借其独特的光学、电学和热学性质，受到了广泛关注。石墨烯的零带隙，使其具有紫外到远红外的宽吸收光谱；高载流子迁移率，能够用于制作高速响应的光电子器件；高热导率，相比于传统的金属加热器，具有更高的热效率；与传统半导体易于形成肖特基结构，能够制作光电导器件；易于与半导体器件集成等。因此，超薄材料在光电探测器，光电调制器，加热/导热器等光电子器件方面也有着巨大的潜力。对于超薄材料光电探测器、光电调制器等光电子器件，除了关注其响应度、调制深度以及工作波段之外，响应速度也是一个非常重要的指标，而影响超薄材料光电子器件响应速度的一个重要物理量就是超薄材料与金属电极的接触电阻。在超薄材料与金属接触系统中，超薄材料表面缺乏与金属的键合位点，影响了超薄材料与金属之间电子的层间隧穿，导致超薄材...
【技术保护点】
一种超薄材料‑金属新型接触电极，包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和多层金属电极(2、3)，其特征在于：超薄材料(1)的全部或者其中一部分位于金属电极间，使得超薄材料(1)的上下表面分别与金属电极接触。
【技术特征摘要】
1.一种超薄材料-金属新型接触电极，包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和多层金属电极(2、3)，其特征在于：超薄材料(1)的全部或者其中一部分位于金属电极间，使得超薄材料(1)的上下表面分别与金属电极接触。2.根据权利要求1所述的一种超薄材料-金属新型接触电极，其特征在于：电流分别经多层金属电极从超薄材料(1)的上表面和下表面流入到超薄材料(1)中，使得金属电极和超薄材料(1)之间的接触电阻减小。3.根据权利要求1所述的一种超薄材料-金属新型接触电极，其特征在于：包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)上的一侧，超薄材料(1)其中一部分置于衬底(4)上另一侧，超薄材料(1)另一部分位于两层金属电极(2、3)的一部分之间，两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极接触。4.根据权利要求1所述的一种超薄材料-金属新型接触电极，其特征在于：包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，超薄材料(1)全部置于下层金属电极(3)和上层金属电极(2)之间，超薄材料(1)全部上下表面分别与上下两层金属电极接触，两层金属电极(2、3)表面之间不接触而通过引线(5)连接。5.根据权利要求1所述的一种超薄材料-金属新型接触电极，其特征在于：包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)上的一侧，衬底(4)上刻有凹槽，下层金属电极(3)置于凹槽中，上层金属电极(2)置于下层金属电极(3)上，超薄材料(1)其中一部分置于衬底(4)上另一侧，超薄材料(1)另一部分延伸到下层金属电极(3)上表面上并位于上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极(2、3)接触。6.根据权利要求1所述的一种超薄材料-金属新型接触电极，其特征在于：包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)、上凸结构(6)和上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)...
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