The utility model provides a semiconductor carrier, the semiconductor carrier includes a resin substrate and a plurality of metal plate, a metal plate embedded in the resin substrate surface interval, between a plurality of metal plate heat through the resin substrate from a plurality of metal plate on the surface of the semiconductor chip for carrying the reflow process. The utility model provides a semiconductor carrier through the resin substrate and the metal plate composite carrier, achieve segmentation effect, reduce the length of metal continuous, retains the metal heat absorbing advantages at the same time, before and after the heat transmission can be cut off, making the whole vehicle during reflow process before and after the temperature, to avoid the temperature difference is too large the problem.
【技术实现步骤摘要】
半导体载具
本技术属于半导体制造
,特别涉及一种半导体载具。
技术介绍
半导体FlipChip(倒装芯片)技术一般在Flipchipattach(FCA,倒装芯片贴装)过程中使用载具作为固定基板进行装载和保护。传统FCA工艺均使用金属材料制作的载具,而所有的金属材料均具有导热性高的特点,可以迅速吸收热量,提高载具基板本身的温度。请参阅图1,图1是现有技术中一种载具承载半导体芯片进行回流工艺时的状态示意图。如图1所示,在回流过程中,金属载具100的后进炉端会接受先进炉端传导的热量(图示中金属载具100的左端为先进炉端,右端为后进炉端,箭头表示热量传导方向),导致后进炉端温度实际高于前端,进而导致基板受热不均(前低后高),温度过程不同,不利于稳定工艺的控制,而且载具越长,温度差异越大,例如图1中所示的,先进炉炉的半导体芯101为230℃,后进炉炉的半导体芯102为235℃。
技术实现思路
本技术提供一种半导体载具,以解决现有技术中整体金属载具前后温度差异过大不利于稳定工艺控制的技术问题。为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案是:提供一种半导体载具,包括树脂基板和多个金属板,所述多个金属板间隔嵌设在所述树脂基板的上表面,所述多个金属板之间的热量通过所述树脂基板隔绝,所述多个金属板的上表面用于承载半导体芯片进行回流工艺。根据本技术一优选实施例,所述金属板设有多个真空吸附孔,所述真空吸附孔用于与真空泵进行连接,以在所述半导体芯片进行回流工艺时通过真空吸附方式将所述半导体芯片固定在所述金属板的表面。根据本技术一优选实施例,所述树脂基板的侧边设有基板抓取槽,所述基板 ...
【技术保护点】
一种半导体载具,其特征在于,包括树脂基板和多个金属板,所述多个金属板间隔嵌设在所述树脂基板的上表面,所述多个金属板之间的热量通过所述树脂基板隔绝,所述多个金属板的上表面用于承载半导体芯片进行回流工艺。
【技术特征摘要】
1.一种半导体载具,其特征在于,包括树脂基板和多个金属板,所述多个金属板间隔嵌设在所述树脂基板的上表面,所述多个金属板之间的热量通过所述树脂基板隔绝,所述多个金属板的上表面用于承载半导体芯片进行回流工艺。2.根据权利要求1所述的半导体载具,其特征在于,所述金属板设有多个真空吸附孔,所述真空吸附孔用于与真空泵进行连接,以在所述半导体芯片进行回流工艺时通过真空吸附方式将所述半导体芯片固定在所述金属板的表面。3.根据权利要求2所述的半导体载具,其特征在于,所述树脂基板的侧边设有基板抓取槽,所述基板抓取槽可便于夹具或机械手...
【专利技术属性】
技术研发人员:吉祥,卢海伦,徐鸿飞,束方沛,
申请(专利权)人:合肥通富微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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