挡水帘及划片机制造技术

本实用新型专利技术公开一种挡水帘及划片机，挡水帘包括第一板件和第二板件，第二板件与第一板件之间层叠且可拆卸连接；在第一方向上，第二板件与第一板件部分错开设置，第一方向与第一板件和第二板件的层叠方向相垂直；划片机包括具有腔室的机台以及挡水帘，挡水帘的第一板件及第二板件沿竖直方向布置在腔室内，第二板件的底部低于第一板件的底部。本实用新型专利技术的挡水帘采用可拆式设计，挡水帘中的第一板件用于固定，第二板件可快速拆装，方便安装在狭窄空间内，有效降低安装难度，提高了使用的便捷性。提高了使用的便捷性。提高了使用的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
挡水帘及划片机


[0001]本技术一般涉及芯片加工
，具体涉及一种挡水帘及划片机。

技术介绍

[0002]划片机主要用于半导体衬底材料的切割，把整片晶圆分割成单颗芯片，在划片机切割的过程中，需要使用冷却水对高速旋转的刀片进行降温，这样会导致冷却水容易向周围溅射，造成冷却水从机台腔体内流到电器元件上，损坏电子元件，因此需要一种便于使用的挡水帘。
[0003]现有技术的缺陷如下：目前使用的挡水帘为一体式，不可分离拆卸，每次在机台进行精度校准时，都要把挡水帘整体拆卸下来，由于挡水帘采用螺丝固定在机台内部，机台内部空间比较狭窄，给拆装带来了极大的不便，同时过于频繁的拆卸安装，容易导致螺丝孔损坏，在拆卸过程中发现，只需要拆卸挡水帘下部的橡胶条即可，由于橡胶条是使用胶水沾上的，不易取下，而且橡胶条长时间使用，容易老化掉渣，影响产品切割品质，在拆装时，也会容易导致橡胶条撕裂，因此需要一种新型的挡水帘。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种挡水帘及划片机。
[0005]第一方面，本技术实施例提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挡水帘，其特征在于，包括第一板件和第二板件，所述第二板件与第一板件之间层叠且可拆卸连接；在第一方向上，所述第二板件与所述第一板件部分错开设置，所述第一方向与所述第一板件和所述第二板件的层叠方向相垂直。2.根据权利要求1所述的挡水帘，其特征在于，在所述层叠方向上，所述第一板件包括层叠设置的第一板本体和增厚板，所述增厚板在所述第一板本体上的正投影位于所述第一板本体内，所述第二板件连接于所述增厚板远离所述第一板本体的一侧。3.根据权利要求2所述的挡水帘，其特征在于，在所述层叠方向上，所述第二板件与所述第一板本体之间的交叠部分与所述增厚板重合。4.根据权利要求2所述的挡水帘，其特征在于，所述第一板本体与所述增厚板之间粘接。5.根据权利要求2
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4任一项所述的挡水帘，其特征在于，所述第二板件与...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔潘潘，汤志飞，余国普，
申请(专利权)人：合肥通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：