挡水帘及划片机制造技术

本实用新型专利技术公开一种挡水帘及划片机，挡水帘包括第一板件和第二板件，第二板件与第一板件之间层叠且可拆卸连接；在第一方向上，第二板件与第一板件部分错开设置，第一方向与第一板件和第二板件的层叠方向相垂直；划片机包括具有腔室的机台以及挡水帘，挡水帘的第一板件及第二板件沿竖直方向布置在腔室内，第二板件的底部低于第一板件的底部。本实用新型专利技术的挡水帘采用可拆式设计，挡水帘中的第一板件用于固定，第二板件可快速拆装，方便安装在狭窄空间内，有效降低安装难度，提高了使用的便捷性。提高了使用的便捷性。提高了使用的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
挡水帘及划片机


[0001]本技术一般涉及芯片加工
，具体涉及一种挡水帘及划片机。

技术介绍

[0002]划片机主要用于半导体衬底材料的切割，把整片晶圆分割成单颗芯片，在划片机切割的过程中，需要使用冷却水对高速旋转的刀片进行降温，这样会导致冷却水容易向周围溅射，造成冷却水从机台腔体内流到电器元件上，损坏电子元件，因此需要一种便于使用的挡水帘。
[0003]现有技术的缺陷如下：目前使用的挡水帘为一体式，不可分离拆卸，每次在机台进行精度校准时，都要把挡水帘整体拆卸下来，由于挡水帘采用螺丝固定在机台内部，机台内部空间比较狭窄，给拆装带来了极大的不便，同时过于频繁的拆卸安装，容易导致螺丝孔损坏，在拆卸过程中发现，只需要拆卸挡水帘下部的橡胶条即可，由于橡胶条是使用胶水沾上的，不易取下，而且橡胶条长时间使用，容易老化掉渣，影响产品切割品质，在拆装时，也会容易导致橡胶条撕裂，因此需要一种新型的挡水帘。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种挡水帘及划片机。
[0005]第一方面，本技术实施例提供一种挡水帘，包括第一板件和第二板件，所述第二板件与第一板件之间层叠且可拆卸连接；
[0006]在第一方向上，所述第二板件与所述第一板件部分错开设置，所述第一方向与所述第一板件和所述第二板件的层叠方向相垂直。
[0007]在一些示例中，在所述层叠方向上，所述第一板件包括层叠设置的第一板本体和增厚板，所述增厚板在所述第一板本体上的正投影位于所述第一板本体内，所述第二板件连接于所述增厚板远离所述第一板本体的一侧。
[0008]在一些示例中，在所述层叠方向上，所述第二板件与所述第一板本体之间的交叠部分与所述增厚板重合。
[0009]在一些示例中，所述第一板本体与所述增厚板之间粘接。
[0010]在一些示例中，所述第二板件与所述第一板件之间卡接。
[0011]在一些示例中，所述增厚板上设有至少两个通槽，所述第二板件朝向所述第一板件的一侧凸设有至少两个卡块，所述至少两个卡块与所述至少两个通槽在所述层叠方向上一一对应连接。
[0012]在一些示例中，所述卡块上包裹有防脱橡胶圈。
[0013]在一些示例中，在所述第一方向上，所述第二板件远离所述第一板件的边沿设有至少一个让位槽。
[0014]第二方面，本技术实施例提供一种划片机，包括具有腔室的机台以及如上所述的挡水帘，所述挡水帘的第一板件及第二板件沿竖直方向布置在所述腔室内，所述第二
板件的底部低于所述第一板件的底部。
[0015]在一些示例中，所述第一板件通过螺纹紧固件连接于所述腔室内的预留孔。
[0016]本技术的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
[0017]本技术实施例提供的挡水帘及划片机，挡水帘采用可拆式设计，挡水帘中的第一板件用于固定，第二板件可快速拆装，方便安装在狭窄空间内，有效降低安装难度，提高了使用的便捷性。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为本技术实施例提供的挡水帘的结构示意图；
[0020]图2为本技术实施例提供的挡水帘的分解示意图；
[0021]图3为本技术实施例提供的挡水帘安装在划片机内的部分结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0024]如图1和图2所示，本技术实施例提供一种挡水帘，包括第一板件1和第二板件2，第二板件2与第一板件1之间层叠且可拆卸连接；在第一方向上，第二板件2与第一板件1部分错开设置。
[0025]其中，第一板件1和第二板件2在X方向上层叠，第一方向为Y方向，第一方向Y与层叠方向X相垂直。
[0026]该实施例中挡水帘采用可拆式设计，第一板件1用于固定该挡水帘，第二板件2相对于第一板件1可快速拆装，便于安装在狭窄空间内，有效降低安装难度，提高了使用的便捷性。
[0027]在一些示例性实施例中，在层叠方向X上，第一板件1包括层叠设置的第一板本体11和增厚板12，增厚板12在第一板本体11上的正投影位于第一板本体11内，第二板件2连接于增厚板12远离第一板本体11的一侧。
[0028]第一板本体11的厚度较薄，便于在狭窄空间内安装；增厚板12与第一板本体11层叠，第二板件2与增厚板12相连，合理设置增厚板12的厚度，使得第二板件2在层叠方向X上与第一板本体11错开，利用增厚板12方便挡水帘安装在工位时，第二板件2在合适的位置起到挡水的效果。
[0029]在一些示例性实施例中，在层叠方向X上，第二板件2与第一板本体11之间的交叠部分与增厚板12重合。
[0030]也即，增厚板12在第一板本体11上的正投影落在第一板本体11上，且增厚板12在第二板件2上的正投影落在第二板件2上。如此设计，能够增强增厚板12与第一板本体11之
间相连的可靠性，也能够增强第二板件2与增厚板12之间相连的可靠性，从而提升第二板件2与第一板件1之间的连接可靠性。
[0031]在一些示例性实施例中，第一板本体11与增厚板12之间粘接，方便第一板件1的成型。
[0032]在一些示例性实施例中，第二板件2与第一板件1之间卡接，便于第二板件2的快速拆装。
[0033]进一步地，参照图2，增厚板12上设有至少两个通槽121，第二板件2朝向第一板件1的一侧凸设有至少两个卡块21，至少两个卡块21与至少两个通槽121在层叠方向X上一一对应连接。
[0034]第二板件2朝向第一板件1的一侧为第二板件2的背面，图2中第二板件2以背面视角呈现，卡块21与通槽121相适配，能够实现第二板件2与增厚板12之间的可拆卸连接，结构简单，实现成本低。
[0035]在一些示例性实施例中，卡块21上包裹有防脱橡胶圈，能够增加卡块21与通槽121之间的摩擦力，防止卡块21脱离通槽121，有效提高第二板件2的稳定性。
[0036]可以理解的是，第二板件2与第一板件1之间可拆卸的实现方式包括但不局限于卡接。例如，第二板件2挂接于增厚板12。
[0037]在一些示例性实施例中，在第一方向Y上，第二板件2远离第一板件1的边沿设有至少一个让位槽22。该挡水帘安装在相应的工位时，让位槽22可以避让工位上其他部件，从而方便挡水帘以及其他部件的安装。
[0038]在上述任一示例中，第一板本体11上设有至少两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挡水帘，其特征在于，包括第一板件和第二板件，所述第二板件与第一板件之间层叠且可拆卸连接；在第一方向上，所述第二板件与所述第一板件部分错开设置，所述第一方向与所述第一板件和所述第二板件的层叠方向相垂直。2.根据权利要求1所述的挡水帘，其特征在于，在所述层叠方向上，所述第一板件包括层叠设置的第一板本体和增厚板，所述增厚板在所述第一板本体上的正投影位于所述第一板本体内，所述第二板件连接于所述增厚板远离所述第一板本体的一侧。3.根据权利要求2所述的挡水帘，其特征在于，在所述层叠方向上，所述第二板件与所述第一板本体之间的交叠部分与所述增厚板重合。4.根据权利要求2所述的挡水帘，其特征在于，所述第一板本体与所述增厚板之间粘接。5.根据权利要求2
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4任一项所述的挡水帘，其特征在于，所述第二板件与...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔潘潘，汤志飞，余国普，
申请(专利权)人：合肥通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：