一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法，包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带，收料机固定架、伺服升降机构、片篮升降架连接为可使片篮升降架上下运动，片篮置于片篮升降架上，使片篮、硅片自动翻版机构及传送带置于一条中心线上，硅片自动翻版机构取放硅片于传送带上和沥水，传送带带动硅片运动至片篮内，技术效果是，实现了国产倒角设备自动收料插篮功能，可实现片篮传递，避免后续清洗工序重复插篮。

Automatic charging device for silicon chip chamfering machine and implementing method

The invention relates to an automatic material receiving device and method for wafer chamfering machine, including material receiving machine fixed frame, basket, basket piece piece lifting frame, a lifting mechanism, servo mechanism and replica wafer automatic conveyor belt material receiving machine rack, servo lifting mechanism, the lifting frame is connected with the basket piece to piece basket the lifting frame moves up and down in the basket basket piece piece lifting frame, the plate basket, wafer automatic replica mechanism and a conveying belt is arranged in a center line, automatic fetching mechanism of silicon wafer replica on the conveyor belt and conveyor belt driven Lishui wafer motion to the basket, the technical effect is that the material the basket function automatically inserted domestic chamfering equipment, can realize the transfer sheet basket, to avoid the subsequent cleaning process repeated inserted basket.

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法
本专利技术涉及一种自动收料装置，特别涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法。
技术介绍
晶片制造部各工序之间硅片交接，受各工序设备加工能力限制，未能实现片篮交接，从而造成各工序之间重复实施硅片插篮工作，以部分CZ硅片为例，受国产D37-378/YL型倒角设备无自动收料功能影响，硅片倒角前需要人工插片进行装料，倒角后硅片传递到清洗工序时，需要再次进行人工插片后进行清洗等后续操作。目前，受国产倒角机及生产车间空间限制，市场现有自动收料机无法与之相匹配，需重新设计定做与之相匹配的自动收料装置。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的问题，本专利技术提供一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法，具体技术方案是，一种用于硅片倒角机自动收料装置，包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带，其特征在于：所述的片篮升降架为有数个上下排列隔板的框架，隔板上表面两侧有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片篮，所述的伺服升降机构包括伺服电机、丝杠及丝母，伺服电机带动丝杠转动，丝母在丝杠上上下运动，所述的硅片自动翻版机构包括槽箱、翻版、传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片倒角机自动收料装置，包括收料机固定架（1）、片篮（2）、片篮升降架（3）、伺服升降机构（4）、硅片自动翻版机构（5）及传送带（6），其特征在于：所述的片篮升降架（3）为有数个上下排列隔板（3‑1）的框架，隔板（3‑1）上表面两侧有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片篮（2），所述的伺服升降机构（4）包括伺服电机（4‑1）、丝杠（4‑2）及丝母（4‑3），伺服电机（4‑1）带动丝杠（4‑2）转动，丝母（4‑3）在丝杠（4‑2）上上下运动，所述的硅片自动翻版机构（5）包括槽箱（5‑1）、翻版（5‑2）、传感器（5‑3），翻版（5‑2）上端有接片盒，内侧面有凹槽，凹槽内可使硅片自由出入，翻版（...

【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角机自动收料装置，包括收料机固定架（1）、片篮（2）、片篮升降架（3）、伺服升降机构（4）、硅片自动翻版机构（5）及传送带（6），其特征在于：所述的片篮升降架（3）为有数个上下排列隔板（3-1）的框架，隔板（3-1）上表面两侧有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片篮（2），所述的伺服升降机构（4）包括伺服电机（4-1）、丝杠（4-2）及丝母（4-3），伺服电机（4-1）带动丝杠（4-2）转动，丝母（4-3）在丝杠（4-2）上上下运动，所述的硅片自动翻版机构（5）包括槽箱（5-1）、翻版（5-2）、传感器（5-3），翻版（5-2）上端有接片盒，内侧面有凹槽，凹槽内可使硅片自由出入，翻版（5-2）固定于无上面的槽箱（5-1）内，在硅片倒角机的取片器气动装置的驱动下可同步正反90°+90°翻转，传感器（5-3）固定于槽箱（5-1）一侧，所述的传送带（6），分为左传送带（6-1）、右传送带（6-2），分别从左、右伸入并固定于硅片自动翻版机构（5）的槽箱（5-1）上，使左传送带（6-1）的后端、右传送带（6-2）的前端分别位于翻版（5-2）的两侧、与翻版（5-2）在同一条中心线上，片篮升降架（3）固定于伺服升降机构（4）的丝母（4-3）上，数个片篮（2）依次置于片篮升降架（3）的隔板（3-1）上，硅片自动翻版机构（5）固定于国产D37-378...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷海云，郭红慧，刘建伟，王帅，杨金坡，刘振福，谭永磷，吕莹，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12