下载一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法的技术资料

文档序号:15854384

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本发明涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置及实现方法,包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带,收料机固定架、伺服升降机构、片篮升降架连接为可使片篮升降架上下运动,片篮置于片篮升降架上,使片篮、硅片自动翻版机...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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