一种真空气氛处理装置及样品观测系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。本实用新型专利技术还公开了一种样品观测系统。

Vacuum atmosphere treatment device and sample observation system

The utility model discloses a vacuum processing device, generating a particle beam and the top of the device to the external device is connected, which is characterized in that the device comprises a bottom and an external sample or carrying the sample platform to contact with the outside of the suction cup, with the first gas supply system the controller, and the external gas pumping system connected to the second controller; among them, the top of the device is provided with a window, the window for the external beam into the device; the first gas controller for connecting the gas supply system and the suction; the second gas controller for connection the pumping system and the suction. The utility model also discloses a sample observation system.

【技术实现步骤摘要】
一种真空气氛处理装置及样品观测系统
本技术涉及带电粒子束显微镜领域，尤其涉及一种真空气氛处理装置及样品观测系统。
技术介绍
20世纪60年代专利技术了扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，SEM)，用于观测微米或纳米量级的微小物体或结构；但是，传统的SEM观测样品时，通常将样品放置于高真空的样品室内，因此，利用SEM观测样品时，需要对样品进行干燥、冷冻或镀金等特殊处理；对于取样困难的样品、液体样品或生物活体样品等特殊样品不能利用SEM进行观测。环境扫描电子显微镜(Environmentalscanningelectronmicroscope，ESEM)是SEM发展中的一个重大突破，利用ESEM观测样品时，不需要将样品放置于高真空的样品室内，样品室内也可以充入各种气体，样品室内气体的压强通常在0.1托到50托之间；因此，与传统的SEM相比，利用ESEM观测样品在样品制备、探测和信号处理上均有较大改进，主要体现在：样品可以是生物样品等潮湿样品、非导电样品，而且样品不需要进行干燥、冷冻和真空包装等特殊处理，即ESEM实现了样品的原位观测；但是，利用ESEM观本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。

【技术特征摘要】
1.一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。2.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述吸盘包括：金属波纹管、至少包括一圈弹簧的弹簧结构和密封结构；其中，所述弹簧结构位于所述金属波纹管的波纹内部，用于支撑所述金属波纹管；所述金属波纹管的底部与所述密封结构连接；所述密封结构与所述待测样品或承载所述待测样品的平台接触。3.根据权利要求1或2所述装置，其特征在于，所述供气系统向所述装置供入的气体为纯净气体或混合气体。4.一种样品观测系统，其特征在于，所述系统包括：带电粒子束产生装置、真空气氛处理装置和样品；其中，所述带电粒子束产生装置的镜筒底部与所述真空气氛处理装置的顶部固定连接；所述样品或承载所述样品的平台与所述真空气氛处理装置的底部接触；所述真空气氛处理装置包括：与所述样品或承载所述样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器以及与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；所述真空气氛处理装置的顶部设置有窗口，所述窗口位于所述带电粒子束产生装置底部的第一真空窗下方，用于使所述带电粒子束产生装置产生的粒子束通过所述第一真空窗后对所述真空气氛处理装置内的样品进行观测；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘，对所述真空气氛处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：何伟，李帅，王鹏，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11