一种TEM样品承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种TEM样品承载装置，至少包括栅格结构、样品载网以及碳膜；所述栅格结构包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附连元件，所述附连元件适于附连样品；所述样品载网为金属网格结构，所述样品载网对称设于所述基底的两端并与所述附连元件位于同一侧，且所述样品载网与所述基底的外轮廓构成一大于半圆的结构；所述碳膜覆盖于所述样品载网上。本实用新型专利技术的TEM样品承载装置很容易装载到TEM样品杆上，节约装载时间；避免样品在装载过程中丢失；防止承载装置从TEM样品杆的孔中掉落而损伤样品；实现高分辨率TEM/STEM的图片；该承载装置还可以重复利用，节约成本。

TEM sample bearing device

The utility model provides a TEM sample bearing apparatus includes at least the grid structure, sample carrier network and carbon membrane; the grid structure comprises a substrate and a side of the base extending at least one attachment element, the attachment member is adapted to be attached sample; the sample loading net is a metal grid structure the sample carrier network, which is arranged on the both ends of the symmetric substrate and the attachment member is located on the same side, the outer contour and the sample carrier network and the substrate structure is greater than a semicircle; covering the carbon film on the sample carrier online. The utility model TEM sample carrying device easily loaded into the TEM sample rod, save the loading time; avoid sample loss during loading; prevent the bearing device from the TEM sample rod hole and falling injury samples; high resolution TEM/STEM images; the bearing device can be repeatedly used, cost savings.

【技术实现步骤摘要】
一种TEM样品承载装置
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种TEM样品承载装置。
技术介绍
随着半导体器件的特征尺寸逐渐减小，14nm工艺节点需要更高质量的TEM(透射式电子显微镜)/STEM(扫描透射式电子显微镜)图像来检查程序文件，所以，需要提高TEM/STEM图像的质量，选择合适的样品承载装置是FIB(聚焦离子射束)/TEM样品制备的必要条件之一。目前，根据不同的样品制备技术有两种结构的样品承载装置，其一是利用具有碳膜的TEM铜网，如图1所示，所述TEM铜网1’包括铜环11’、金属网格12’以及附在所述金属网格12’上的碳膜13’，样品通过静电吸附力粘在玻璃棒上，然后放置在金属网格12’的碳膜13’上，该方式有可能会导致样品从晶片到TEM铜网1’的转移过程中或者是在从TEM铜网1’移动到TEM室的过程中样品的丢失；该方式还有一个缺点是：在TEM分析中，碳膜13’会影响样品对透射电子的通过，作为图像的背底存在，严重影响TEM的图片质量，特别是在需要高分辨的场合，在进行成份分析的时候也会影响分析结果。第二种方式是将样品通过金属沉积(钨或铂)粘附在铜栅格2’上，如图2所示，但是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种TEM样品承载装置，其特征在于，至少包括：栅格结构，所述栅格结构包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附连元件，所述附连元件适于附连样品；样品载网，所述样品载网为金属网格结构，所述样品载网对称设于所述基底的两端并与所述附连元件位于同一侧，且所述样品载网与所述基底的外轮廓构成一大于半圆的结构；碳膜，所述碳膜覆盖于所述样品载网上。

【技术特征摘要】
1.一种TEM样品承载装置，其特征在于，至少包括：栅格结构，所述栅格结构包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附连元件，所述附连元件适于附连样品；样品载网，所述样品载网为金属网格结构，所述样品载网对称设于所述基底的两端并与所述附连元件位于同一侧，且所述样品载网与所述基底的外轮廓构成一大于半圆的结构；碳膜，所述碳膜覆盖于所述样品载网上。2.根据权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，多个所述附连元件沿所述基底的边缘间隔分布。3.根据权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述基底、所述附连元件以及所述样品载网为一体成型...

【专利技术属性】
技术研发人员：王妍，赖李龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11