一种具有插拔喷头的透射电镜原位气氛样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种插拔喷头的透射电镜原位气氛样品台。该样品台包括样品台(杆)、与外部气体源相连的原位气氛管路，原位气氛管路端头的气氛喷头、及样品载网，所述气氛喷头为可插拔形式，在气氛喷头和原位气氛管路接口端分别具有配合结构。本实用新型专利技术中，其喷头为即插即拔型，便于更换不同喷射孔径的喷头，可便捷地通过电镜原有气氛样品台改装，同时也便于维护维修。

【技术实现步骤摘要】
一种具有插拔喷头的透射电镜原位气氛样品台
本专利技术涉及一种在透射电子显微镜中安装的可便捷改装的具有即插即拔超细喷头的原位气氛样品台。
技术介绍
具有在样品室进行气氛喷射功能的透射电镜(也称为环境透射电镜--ETEM)，是通过样品台或外接微型管路安装了原位喷射气路及其控制装置，从而可以使气体微束在透射电镜样品室的高真空环境进行定向喷射的一种原位研究型透射电镜，进入样品室的气体将通过安装在另一侧的差分真空系统被抽出，保证电镜真空环境不受影响[1-2]。透射电镜原位气氛样品台是环境透射电镜的核心部件之一，而超细喷头正是实现样品台气体微束原位喷射的最终环节。目前的环境透射电镜气氛样品台都采用了固定式喷头，即该喷头不能便捷地更换和维修[1-2]，由于电镜样品室中存在着由于样品本身和喷射气氛在变温、反应条件下形成的污染，如碳污染、有机挥发物污染等，喷头会出现部分或全部堵塞的情况，从而不得不进行样品台整体拆卸和更换昂贵部件的维修。此外，固定式的喷头也决定了每一个样品台只能喷射较为固定的流量(粗细)的气体微束，降低了喷射控制的灵活性。在本专利技术技术中，我们采用了即插即拔型的可便捷更换的气体喷头，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有插拔喷头的透射电镜原位气氛样品台，包括样品台(5)、与外部气体源相连的原位气氛管路(4)，原位气氛管路(4)端头的气氛喷头(2)、及样品载网(1)，其特征在于：所述气氛喷头(2)为可插拔形式，在气氛喷头和原位气氛管路接口端分别具有配合结构。

【技术特征摘要】
1.一种具有插拔喷头的透射电镜原位气氛样品台，包括样品台(5)、与外部气体源相连的原位气氛管路(4)，原位气氛管路(4)端头的气氛喷头(2)、及样品载网(1)，其特征在于：所述气氛喷头(2)为可插拔形式，在气氛喷头和原位气氛管路接口端分别具有配合结构。2.根据权利要求1所述的透射电镜原位气氛样品台，其特征在于，所述气氛喷头(2)的喷射孔径尺寸为10-100微米。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓昱，董林，方江邻，陈强，高飞，汤常金，孙敬方，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32