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本实用新型提供一种TEM样品承载装置，至少包括栅格结构、样品载网以及碳膜；所述栅格结构包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附连元件，所述附连元件适于附连样品；所述样品载网为金属网格结构，所述样品载网对称设于所述基底的两端并与所述附连...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。