高纯硅提纯生产用分凝装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯硅提纯生产用分凝装置，包括炉体、炉盖、石墨坩埚、加热装置、供气装置和冷却装置；所述加热装置包括：包围石墨坩埚的三圈硅碳棒组，以及控制各圈硅碳棒组工作的加热控制模块；所述三圈硅碳棒组包括：下区硅碳棒组、中区硅碳棒组和上区硅碳棒组；所述炉盖上还设有用于排出炉体内废气的排气口。本发明专利技术高纯硅提纯生产用分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。

Condensate separating device for purification and production of high-purity silicon

The invention discloses a method for producing high purity silicon purification separation device, which comprises a furnace body, a furnace cover, graphite crucible, heating device, gas supply device and a cooling device; the heating device comprises a graphite crucible surrounded by three circles of silicon carbide heating control group, and each ring of silicon carbide group work control module; the three circle of silicon carbide group includes: the area under the central group, silicon carbide silicon carbide and silicon carbide group area group; the furnace cover is arranged on the furnace body for exhaust exhaust port. The invention relates to a separating device for high-purity silicon purification and production, which has reasonable structure, can realize the separation of the silicon liquid, and is convenient for purifying high-purity silicon.

【技术实现步骤摘要】
高纯硅提纯生产用分凝装置
本专利技术涉及高纯硅提纯生产用分凝装置。
技术介绍
国内生产工业硅或高纯硅时，需要通过分凝工艺来提纯硅，需要特别设计适于提纯高纯硅的分凝装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高纯硅提纯生产用分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。为实现上述目的，本专利技术的技术方案是设计一种高纯硅提纯生产用分凝装置，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置圆筒状石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；所述加热装置包括：包围石墨坩埚的三圈硅碳棒组，以及控制各圈硅碳棒组工作的加热控制模块；各圈硅碳棒组中的硅碳棒竖置，且硅碳棒的顶端都固定于炉盖上；各圈硅碳棒组中的硅碳棒都位于石墨坩埚与炉内壁之间，且各圈硅碳棒组中的硅碳棒都以石墨坩埚周向均布；所述三圈硅碳棒组包括由内至外依次包围石墨坩埚的：下区硅碳棒组、中本文档来自技高网...

【技术保护点】
高纯硅提纯生产用分凝装置，其特征在于，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置圆筒状石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；所述加热装置包括：包围石墨坩埚的三圈硅碳棒组，以及控制各圈硅碳棒组工作的加热控制模块；各圈硅碳棒组中的硅碳棒竖置，且硅碳棒的顶端都固定于炉盖上；各圈硅碳棒组中的硅碳棒都位于石墨坩埚与炉内壁之间，且各圈硅碳棒组中的硅碳棒都...

【技术特征摘要】
1.高纯硅提纯生产用分凝装置，其特征在于，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置圆筒状石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；所述加热装置包括：包围石墨坩埚的三圈硅碳棒组，以及控制各圈硅碳棒组工作的加热控制模块；各圈硅碳棒组中的硅碳棒竖置，且硅碳棒的顶端都固定于炉盖上；各圈硅碳棒组中的硅碳棒都位于石墨坩埚与炉内壁之间，且各圈硅碳棒组中的硅碳棒都以石墨坩埚周向均布；所述三圈硅碳棒组包括由内至外依次包围石墨坩埚的：下区硅碳棒组、中区硅碳棒组和上区硅碳棒组；所述下区硅碳棒组中各硅碳棒的长度大于中区硅碳棒组中各硅碳棒的长度；所述中区硅碳棒组中各硅碳棒的长度大于上区硅碳棒组中各硅碳棒的长度；所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口，该保护气体输入口由透气砖封...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩至成，陈睿，朱兴发，李亚逸，
申请(专利权)人：苏州振吴电炉有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32