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高纯硅提纯生产用分凝装置制造方法及图纸
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文档序号:15816434
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本发明公开了一种高纯硅提纯生产用分凝装置,包括炉体、炉盖、石墨坩埚、加热装置、供气装置和冷却装置;所述加热装置包括:包围石墨坩埚的三圈硅碳棒组,以及控制各圈硅碳棒组工作的加热控制模块;所述三圈硅碳棒组包括:下区硅碳棒组、中区硅碳棒组和上区硅...
该专利属于苏州振吴电炉有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州振吴电炉有限公司授权不得商用。
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