六氯乙硅烷的回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种六氯乙硅烷的回收装置。该六氯乙硅烷的回收装置包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元，与过滤单元的滤液出口相连对过滤单元得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元，与第一精馏单元的塔顶精馏液出口相连对第一精馏单元的塔顶精馏液进行精馏，具有第二塔釜精馏液出口；以及第三精馏单元，与第二精馏单元的塔釜精馏液出口相连对第二精馏单元的第二塔釜精馏液进行精馏。对多晶硅残液进行过滤，能够去除其中的固体颗粒和金属聚合物杂质；然后，对过滤得到的滤液进行第一次精馏、第二次精馏、第三次精馏，在塔顶得到四氯化硅和六氯二硅氧烷以及以六氯乙硅烷为主的第三塔釜精馏液。

Recovery device of hexachlorodisilane

The invention provides a device for recycling hexachlorodisilane. The recovery device hexachlorodisilane includes a filter unit, with a polysilicon residual liquid entrance and filtrate outlet; the first distillation unit of distillation and filtrate outlet filter unit connected to the filter unit has a first distillation tower filtrate, liquid outlet; second distillation unit, distillation and distillation tower distillation unit of the first liquid outlet the top of the first distillation is liquid distillation unit, with second tower distillation liquid outlet; and third distillation unit, distillation tower and distillation liquid outlet second connected to the distillation unit second tower distillation liquid of second distillation unit. To filter the polysilicon residue, can remove solid particles and metal impurities in the polymer; then, for the first time, second times, third rectification rectification rectification of filtration to obtain filtrate, get four and two silicone and silicon tetrachloride hexachloro to hexachloro B silane based third column distillation kettle in the column.

【技术实现步骤摘要】
六氯乙硅烷的回收装置
本专利技术涉及光伏材料领域，具体而言，涉及一种六氯乙硅烷的回收装置。
技术介绍
六氯乙硅烷(Si2Cl6)是一种高效的脱氧剂，用作无定形硅薄膜、光化学纤维原料以及硅氧烷等的优良原料，在半导体、光电材料等领域有着广泛的应用前景和实际价值。与传统的二氯二氢硅、硅烷气沉积法制氮硅薄膜相比，六氯乙硅烷的气相沉积法的沉积温度低、沉积压力低、效率高，且得到薄膜的密度、绝缘性、抗腐蚀性、兼容性皆更优。六氯乙硅烷广泛存在于多晶硅系统副产物中，其含量高达10～40％，具有很高的回收价值。传统的多晶硅残液处理方法是利用石灰水中和水解该部分残液，该方法虽然能够有效处理多晶硅系统残液，但造成了回收价值很高的六氯乙硅烷浪费现象。如果能够残液中的六氯乙硅烷进行回收精制，不但有助于多晶硅企业产品多样化，而且能够增强其市场竞争力。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种六氯乙硅烷的回收装置，以解决现有技术中多晶硅残夜中的六氯乙硅烷不能被回收造成资源浪费的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种六氯乙硅烷的回收装置，包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种六氯乙硅烷的回收装置，其特征在于，包括：过滤单元(10)，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元(20)，与所述过滤单元(10)的所述滤液出口相连对所述过滤单元(10)得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元(30)，与所述第一精馏单元(20)的所述塔顶精馏液出口相连对所述第一精馏单元(20)的塔顶精馏液进行精馏，具有第二塔釜精馏液出口；以及第三精馏单元(40)，与所述第二精馏单元(30)的所述塔釜精馏液出口相连对所述第二精馏单元(30)的所述第二塔釜精馏液进行精馏。

【技术特征摘要】
1.一种六氯乙硅烷的回收装置，其特征在于，包括：过滤单元(10)，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元(20)，与所述过滤单元(10)的所述滤液出口相连对所述过滤单元(10)得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元(30)，与所述第一精馏单元(20)的所述塔顶精馏液出口相连对所述第一精馏单元(20)的塔顶精馏液进行精馏，具有第二塔釜精馏液出口；以及第三精馏单元(40)，与所述第二精馏单元(30)的所述塔釜精馏液出口相连对所述第二精馏单元(30)的所述第二塔釜精馏液进行精馏。2.根据权利要求1所述的回收装置，其特征在于，所述第三精馏单元(40)具有第三塔釜精馏液出口，所述回收装置还包括第四精馏单元(50)，所述第四精馏单元(50)与所述第三精馏单元(40)的所述第三塔釜精馏液出口相连对所述第三精馏单元(40)的塔釜精馏液进行精馏...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭树虎，赵雄，万烨，严大洲，刘见华，李云昊，杨典，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41