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本发明提供了一种六氯乙硅烷的回收装置。该六氯乙硅烷的回收装置包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元，与过滤单元的滤液出口相连对过滤单元得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元，与第一精馏单元的塔顶精馏液出...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。