【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种；特别是涉及氯硅烷中高沸物六氯乙硅烷(也称六氯二硅烷、全氯乙硅烷)的回收方法及其装置。
技术介绍
多晶硅是电子工业和光伏产业所需的主要原料，是我国电子信息产业和太阳能光伏产业发展所必需的战略物资。在多晶硅的生产过程中，伴随着精馏提纯氯硅烷合成反应、还原反应与冷(热)氢化反应尾气的进行会不可避免产生一定量的残液，这部分残液就多晶硅的生产而言无直接利用价值，此外由于这部分残液中固含量较高，含有高聚物，粘度大，正常的连续排放过程难以实现，需要人工操作，且这部分物料氧化性强，极易水解产生氯化氢，对撞击敏感，容易燃烧，暴露在空气中非常危险，一般的处理方式为粗放式的水解，这既是对原料的浪费，又对人和环境造成了极大的危害。目前氯硅烷残液成为让许多多晶硅企业头疼且限制多晶硅行业发展的瓶颈问题。通过对冷(热)氢化渣浆及精馏残液、合成炉精馏残液、还原炉精馏残液等做了大量国内国外相关文献研究及对个别样品的检测后，基本确定氯硅烷残液主要由以下四部分组成:
【技术保护点】
一种连续式氯硅烷残液回收处理装置：包括过滤器（1）、初馏塔（2）、六氯二硅烷脱轻塔（3）、六氯二硅烷脱重塔（4）、四氯化硅脱氢塔（5）、四氯化硅脱重塔（6）、滤渣储罐（7）、三氯氢硅储罐（8）、四氯化硅储罐（9）、有机氯硅烷储罐（10）、六氯二硅烷储罐（11）、高沸硅油储罐（8）；其特征是在过滤器（1）上设置有氯硅烷残液（13）进料入口，设置的滤液出口管线（14）与初馏塔（2）相连，底部设置有滤渣卸载管线（15）与滤渣储罐（7）相连；初馏塔（2）塔底设初馏塔塔底物流管线（17）与六氯二硅烷脱轻塔（3）相连，初馏塔塔顶物流管线（16）与四氯化硅脱轻塔（5）相连；六氯二硅烷脱轻塔（3）塔底设六氯二硅烷脱轻塔塔底物流管线（19）与六氯二硅烷脱重塔（4）相连，六氯二硅烷脱轻塔顶部设有机氯硅烷物流管线（18）连接至有机氯硅烷储罐（10），六氯二硅烷脱轻塔顶部连接有氯气物料进料管线（26）；六氯二硅烷脱重塔（4）塔底设高沸硅油物流管线（21）连接至高沸硅油储罐（12），顶部设六氯二硅烷产品物流管线（20）连接至六氯二硅烷储罐（11），顶部设置有氮气物料管线（27）；四氯化硅脱轻塔（5）塔底设置有四...
【技术特征摘要】
1.一种连续式氯硅烷残液回收处理装置:包括过滤器(I)、初馏塔(2)、六氯二硅烷脱轻塔(3 )、六氯二硅烷脱重塔(4 )、四氯化硅脱氢塔(5 )、四氯化硅脱重塔(6 )、滤渣储罐(7 )、三氯氢硅储罐(8)、四氯化硅储罐(9)、有机氯硅烷储罐(10)、六氯二硅烷储罐(11)、高沸硅油储罐(8);其特征是在过滤器(I)上设置有氯硅烷残液(13)进料入口，设置的滤液出口管线(14)与初馏塔(2)相连，底部设置有滤渣卸载管线(15)与滤渣储罐(7)相连；初馏塔(2)塔底设初馏塔塔底物流管线(17)与六氯二硅烷脱轻塔(3)相连，初馏塔塔顶物流管线(16)与四氯化硅脱轻塔(5)相连；六氯二硅烷脱轻塔(3)塔底设六氯二硅烷脱轻塔塔底物流管线(19)与六氯二硅烷脱重塔(4)相连，六氯二硅烷脱轻塔顶部设有机氯硅烷物流管线(18)连接至有机氯硅烷储罐(10)，六氯二硅烷脱轻塔顶部连接有氯气物料进料管线(26);六氯二硅烷脱重塔(4)塔底设高沸硅油物流管线(21)连接至高沸硅油储罐(12)，顶部设六氯二硅烷产品物流管线(20 )连接至六氯二硅烷储罐(11)，顶部设置有氮气物料管线(27 );四氯化硅脱轻塔(5)塔底设置有四氯化硅脱轻塔塔底物流管线(23)与四氯化硅脱重塔(5)相连，顶部设三氯氢硅物流管线(22 )连接至三氯氢硅储罐(8 );四氯化硅脱重塔(6 )塔底有机氯硅烷物流管线(25)连接至有机氯硅烷储罐(10)，顶部设四氯化硅产品物流管线(24)连接至四氯化硅储罐(9)。2.采用权利要求1的装置连续式氯硅烷残液回收处理方法，其特征是步骤如下: 1).氯硅烷残液(13)先经过过滤器(I)进行固液分离，滤渣通过滤渣卸载管线(15)回收至滤渣储罐(7)或直接水解填埋处理，滤液通过滤液出口管线(14)从初馏塔(2)中部进料； 2).初馏塔(2)中含六氯二硅烷为主的重组分通过初馏塔塔底物流管线(17)进入六氯二硅烷脱轻塔(3)，含四氯化硅为主的轻组分通过初馏塔塔顶物流管线(16)进入四氯化硅脱轻塔(5)； 3)...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄国强，杨劲，王国锋，陈锦溢，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12
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