生产六氯乙硅烷的方法技术

将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产的常规产品的纯度高得多。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
生产六氯乙硅烷的方法专利
本专利技术涉及生产六氯乙硅烷(Si2Cl6)的方法，其中六氯乙硅烷可从生产高纯度多晶硅的方法排放的废气中有效地回收。并且，本专利技术优选涉及回收四氯乙硅烷(Si2H2Cl4)与六氯乙硅烷的生产方法。专利技术背景六氯乙硅烷(Si2Cl6)可用作无定形硅薄膜、用于光学纤维的原料玻璃和乙硅烷等的原料。作为生产六氯乙硅烷的方法，已知的是下述方法：其中将含硅的合金粉末氯化为多氯硅烷的混合气体，并使该混合气体冷却和凝结，然后进一步蒸馏分离六氯乙硅烷(日本专利特开昭59-195519)。此外，还已知一种方法，其中用搅拌混合卧管反应器使高硅铸铁与氯气反应(日本专利特开昭60-145908)。然而，这些生产方法都使用金属硅级的硅粗品作为原料，并且原料的污染无法避免，因此难以获得高纯度的产品。尤其是，当混有钛和铝时，由于这些氯化物，即TiCl4和AlCl3的沸点接近六氯乙硅烷，因而通常难以蒸馏精制。本专利技术公开本专利技术解决了生产六氯乙硅烷方法中的上述常见问题，并提供了这种可有效获得高纯度的六氯乙硅烷的方法。也就是说，在本专利技术中，通过考虑其中使用高纯度原料气体的生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生产六氯乙硅烷的方法，其中六氯乙硅烷是由通过在高温下热裂解或氢化还原氯硅烷来沉积多晶硅的硅反应体系排放的废气制得，该方法包括： 冷却该废气得到冷凝物；和 蒸馏该冷凝物以回收六氯乙硅烷。

【技术特征摘要】
JP 2000-8-2 234621/001.一种生产六氯乙硅烷的方法，其中六氯乙硅烷是由通过在高温下热裂解或氢化还原氯硅烷来沉积多晶硅的硅反应体系排放的废气制得，该方法包括：冷却该废气得到冷凝物；和蒸馏该冷凝物以回收六氯乙硅烷。2.按照权利要求[1]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：冷却多晶硅反应体系排放出的废气，以使冷凝物与氢气分离；蒸馏该冷凝物以分离未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅；和回收蒸馏出的六氯乙硅烷。3.按照权利要求[1]或[2]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：第一蒸馏过程，其中蒸馏与氢气分离的冷凝物，以分离未反应的氯硅烷；第二蒸馏过程，其中蒸馏第一蒸馏过程残留的液体，以分离四氯化硅；和第三蒸馏过程，其中蒸馏第二蒸馏过程残留的液体，以分离六氯乙硅烷。4.按照权利要求[1]或[2]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：一次蒸馏过程，其中蒸馏与氢气分离的冷凝物，以连续分离未反应的氯硅烷和四氯化硅；和一次蒸馏过程，其中蒸馏所述蒸馏过程残留的液体，以分离六氯乙硅烷。5.按照权利要求[1]-[4]任一项的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：在六氯乙硅烷的蒸馏过程中，分出初馏分；和在高温下回收主要组分为六氯...

【专利技术属性】
技术研发人员：桐井精一，生川满敏，竹末久幸，
申请(专利权)人：三菱综合材料多晶硅股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]