一种硅烷生产塔制造技术

技术编号:12723615 阅读:85 留言:0更新日期:2016-01-15 08:33
本实用新型专利技术属于硅烷制备领域,特指一种硅烷生产塔,包括塔身,所述塔身的中部一侧设有与进气管路,所述塔身上部和下部分别设有出气管路,所述塔身内部从上往下依此设有冷凝器、填料压圈、填料、叔胺类催化剂、填料、支撑栅栏、再沸器,所述填料压圈、填料、叔胺类催化剂、填料、支撑栅栏紧密的层叠,所述冷凝器设置在上部出气管路下方,所述再沸器设置在下部出气管路上方;采用此结构,实现了反应物充分接触反应,使得反应效率高,原材料充分的使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅烷的制备领域,特指一种新型的硅烷生产塔
技术介绍
硅烷是生产多晶硅的基本原料,广泛应用电子及半导体工业中。传统硅烷生产塔内部从上往下依此设置为填料压圈、填料、支撑栅栏、液体再分布器、填料压圈、填料、支撑栅栏。传统硅烷塔的填料及进料结构存在反应速度慢、反应效率低和原材料利用率低的缺点。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单,安全可靠,反应效率高的新型的硅烷生产塔。本技术的目的是这样实现的:—种硅烷生产塔,包括塔身,所述塔身内部从上往下依次设有冷凝器、填料压圈、上填料层、叔胺类催化剂层、下填料层、支撑栅栏和再沸器,所述塔身的中部一侧设有进气管路,塔身上部和下部分别设有出气管路,所述进气管路导通至上填料层,所述上部的出气管路导通至冷凝器上部,所述下部的出气管路导通至再沸器下方,这样的设计使得原料和在催化剂的作用下,大大提高反应效率,使得原材料得到充分利用,符合绿色环保的理念。所述填料压圈压紧上填料层,所述支撑栅栏托住下填料层;上填料层、叔胺类催化剂层和下填料层紧密压实,这样的设计使得原料和叔胺类催化剂接触的更加充分,从而让反应效率提高,使得原材料得到充分利用,符合绿色环保的理念。所述塔身底部设有固定底座,固定底座侧边设有加强筋,使得生产塔在加工过程中塔身更加的稳定,不易出现意外。所述进气管路6通入SiCl4、SiHCl3、SiH2CV混合物,并控制混合物的压力0.1-0.6MPa,温度 30-100。。。反应完成后,SiH2Cl2W上部的出气管路输出;SiCl 4从下部的出气管路输出;本技术的原料和叔胺类催化剂接触的更加充分,从而让反应效率提高,使得原材料得到充分利用,符合绿色环保的理念。【附图说明】图1是硅烷生产塔的结构示意图。1-塔身;2_冷凝器;3_上填料层;4_叔胺类催化剂层;5_再沸器;6_进气管路;7-出气管路(上部);8_出气管路(下部);9_填料压圈;10_支撑栅栏;11-底座;12-加强筋;13-下填料层。【具体实施方式】下面结合附图以具体实施例对本技术作进一步描述:—种硅烷生产塔,包括塔身1,所述塔身1内部从上往下依次设有冷凝器2、填料压圈9、上填料层3、叔胺类催化剂层4、下填料层13、支撑栅栏10和再沸器5,所述塔身1的中部一侧设有进气管路6,塔身1上部和下部分别设有出气管路7,所述进气管路6导通至上填料层3,所述上部的出气管路7导通至冷凝器2上部,所述下部的出气管路8导通至再沸器5下方。所述填料压圈9压紧上填料层3,所述支撑栅栏10托住下填料层13 ;上填料层3、叔胺类催化剂层4和下填料层紧密13压实。所述塔身1底部设有固定底座11,固定底座11侧边设有加强筋12。所述进气管路6通入SiCl4、SiHCl3、SiH2CV混合物,并控制混合物的压力0.l-ο.6MPa,温度30-100°C。反应完成后,SiH2Cl2W上部的出气管路输出;SiCl 4从下部的出气管路输出。本技术有结构简单,安全可靠,反应效率高的特点。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。【主权项】1.一种硅烷生产塔,包括塔身,其特征在于,所述塔身内部从上往下依次设有冷凝器、填料压圈、上填料层、叔胺类催化剂层、下填料层、支撑栅栏和再沸器,所述塔身的中部一侧设有进气管路,塔身上部和下部分别设有出气管路,所述进气管路导通至上填料层,所述上部的出气管路导通至冷凝器上部,所述下部的出气管路导通至再沸器下方。2.根据权利要求1所述的一种硅烷生产塔,其特征在于,所述填料压圈压紧上填料层,所述支撑栅栏托住下填料层;上填料层、叔胺类催化剂层和下填料层紧密压实。3.根据权利要求1所述的一种硅烷生产塔,其特征在于,所述塔身底部设有固定底座,固定底座侧边设有加强筋。【专利摘要】本技术属于硅烷制备领域,特指一种硅烷生产塔,包括塔身,所述塔身的中部一侧设有与进气管路,所述塔身上部和下部分别设有出气管路,所述塔身内部从上往下依此设有冷凝器、填料压圈、填料、叔胺类催化剂、填料、支撑栅栏、再沸器,所述填料压圈、填料、叔胺类催化剂、填料、支撑栅栏紧密的层叠,所述冷凝器设置在上部出气管路下方,所述再沸器设置在下部出气管路上方;采用此结构,实现了反应物充分接触反应,使得反应效率高,原材料充分的使用。【IPC分类】B01J8/00, C01B33/04【公开号】CN204952856【申请号】CN201520677954【专利技术人】陶刚义 【申请人】内蒙古兴洋新材料科技有限公司【公开日】2016年1月13日【申请日】2015年9月1日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷生产塔,包括塔身,其特征在于,所述塔身内部从上往下依次设有冷凝器、填料压圈、上填料层、叔胺类催化剂层、下填料层、支撑栅栏和再沸器,所述塔身的中部一侧设有进气管路,塔身上部和下部分别设有出气管路,所述进气管路导通至上填料层,所述上部的出气管路导通至冷凝器上部,所述下部的出气管路导通至再沸器下方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陶刚义
申请(专利权)人:内蒙古兴洋新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古;15

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