【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅烷的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将SiH2Cl2通入硅烷生产塔的第一反应区域，控制SiH2Cl2的进入压力为0.01‑5MPa，温度为20‑100℃；SiH2Cl2在第一反应区域发生第一步歧化反应生成SiH4、SiH3Cl和SiHCl3；第一反应区域生成的SiHCl3向下流入第二反应区域并与经过再沸器加热的SiHCl3混合，发生第二步催化歧化反应生成SiH2Cl2与SiH4；SiH2Cl2与SiH4上升进入第一反应区域；第一反应区域的SiH2Cl2和生成的SiH4、SiH3Cl上升到硅烷生产塔顶部并输出至分子筛，分子筛提纯SiH4。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陶刚义，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古;15
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