【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅烷燃烧塔，特别用于太阳能硅片的生产。
技术介绍
在太阳能硅片生产中，硅烷燃烧塔是PECVD工段的一种尾气处理装置，主要将尾气以及尾气中的硅烷(SIH4)在燃烧室燃烧后，再通过洗涤室净化，然后由抽风机抽排到大气中。但是，在PECVD工段中还需要使用三氟化氮(NF3)气体，并在高频电离的情况下与腔体附着的硅反应进行腔体清洗，而三氟化氮(NF!3)气体与硅烷(SIH4)在一定比例和有火源的情况下会发生剧烈爆炸。鉴于安全性考虑，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，即控制在负100 左右。
技术实现思路
本技术的目的是提供能确保生产安全的一种硅烷燃烧塔。本技术采取的技术方案是一种硅烷燃烧塔，燃烧室、洗涤塔和抽风机依次通过管道连接，其特征在于在洗涤塔之后以及抽风机前连接有负压传感器，且负压传感器连接着控制装置。采用本技术，如遇抽风不良或者风机故障，可以及时将信号送到控制装置，便于及时切断相关电源和气源，确保生产安全。附图说明图1是本技术的示意图。图中序号表示燃烧室1、洗涤塔2、抽风机3、负压传感器4和控制装置5。具体实施方式下面对本技术作进一步说明。参照图1，该硅烷燃烧塔依次通过管道连接有燃烧室1、洗涤塔2和抽风机3，在洗涤塔2之后以及抽风机3前连接有负压传感器4，且负压传感器4连接着控制装置5。使用时，硅烷通过管道进入燃烧室1燃烧，再通过洗涤塔2净化，然后通过抽风机3排向大气，其中，负压传感器4检测负压范围，并将状态信号送到控制装置5，一旦抽风压力过低或者抽风机3发生故障时，控制装置5得到负压传感器4的报警信号，就会切断相关电源和气源...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李德云，童鹏飞，徐新毅，
申请(专利权)人：浙江嘉毅能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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