硅烷尾气燃烧净化设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅烷尾气燃烧净化设备，具有底座，在底座上设置有塔体，所述的塔体包括有位于底部的水箱以及设置在水箱上方的燃烧室和喷淋室，所述的燃烧室设置在喷淋室的外侧，喷淋室包括有相互独立的左喷淋室和右喷淋室，左喷淋室和右喷淋室的下部壁上分别设置有切换阀，燃烧室排出的气体由切换阀控制进入左喷淋室和/或右喷淋室。本实用新型专利技术中，经过燃烧室燃烧后的废气可以同时进入并列设置且相互独立的左喷淋室和右喷淋室与循环液发生反应，废气吸收效果更好。当需要对喷淋系统进行检修或更换填料时，可以关闭其中任意一个喷淋室的切换阀，然后对其进行检修，同时另一个喷淋室则照常运行，不必停机。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

硅烷尾气燃烧净化设备
本技术涉及一种废气净化装置，特别是一种处理主要含硅烷的尾气的净化设备。
技术介绍
太阳能电池生产过程和集成电路以及电子元件的制造过程中会产生很多废气， 如采用PECVD化学气相沉积工艺时所产生的废气，该类废气主要含硅烷，还包括氨气等， 这些废气都需要经过处理才能排放。而目前处理该类废气的装置有很多，如公开号为 CN101255993A、专利技术名称为硅烷燃烧洗涤塔的中国专利申请所公开的洗涤塔，该洗涤塔将废气收集后，废气首先在洗涤塔的燃烧室内燃烧，主要除去硅烷，然后再输送到喷淋室除去氨气等可溶性气体，最后达标排放。但该洗涤塔的燃烧室设置在喷淋室的内部，占据了喷淋室的不少空间，燃烧后的气体在喷淋室内能通过的面积减少，而且一段时间后喷淋室的填料容易被杂质堵塞，就需要更换填料，而在维护更换填料期间则必须停机，给生产造成极大的不便。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单，可连续使用的处理硅烷尾气的燃烧净化设备。实现本技术目的的技术方案是一种硅烷尾气燃烧净化设备，具有底座，在底座上设置有塔体，所述的塔体包括有位于底部的水箱以及设置在水箱上方的燃烧室和喷淋室，所述的燃烧室设置在喷淋室的外侧，喷淋室包括有相互独立的左喷淋室和右喷淋室，左喷淋室和右喷淋室的下部分别设置有切换阀，燃烧室排出的气体通过切换阀进入左喷淋室和/或右喷淋室。所述的燃烧室上设置有废气进气口、压缩空气进气口、氮气进气口和新风补气口， 燃烧室的顶部还设有出气口，底部设有排渣口。所述的左喷淋室和右喷淋室内从上往下分别都设置有收水器、喷淋系统和填料， 左喷淋室和右喷淋室的顶部是排气口，侧壁上都设有检修孔。所述的左喷淋室和右喷淋室的上部都设置有防爆口。所述的填料为二氧化硅。所述的水箱的上部壁上设置有自动补水口和溢流口，水箱底部设置有排污口，顶部设有投料口和为喷淋系统提供循环液的循环泵，循环泵和喷淋系统之间还设置有流量调节阀。本技术具有积极的效果在本技术的硅烷尾气燃烧净化设备中，经过燃烧室燃烧后的废气可以同时进入并列设置且相互独立的左喷淋室和右喷淋室与循环液发生反应，废气吸收效果更好。当需要对喷淋系统进行检修或更换填料时，可以关闭其中任意一个喷淋室的切换阀，然后对其进行检修，同时另一个喷淋室则照常运行，不必停机。其中，喷淋系统的流量调节阀可以根据废气浓度和实际中和反应的情况来控制喷淋系统的循环液的流量。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中图1示出了本技术的正面结构示意图。图2示出了本技术的内部侧面结构示意图。图3示出了本技术的俯视的结构示意图。具体实施方式见图1及图2，本技术的硅烷尾气燃烧净化设备具有底座3，在底座3上设置有塔体22，所述的塔体22包括有位于底部的水箱21以及设置在水箱21上方的燃烧室5和喷淋室20，所述的燃烧室5设置在喷淋室20的外侧，喷淋室20包括有相互独立的左喷淋室 20. 1和右喷淋室20. 2，左喷淋室20. 1和右喷淋室20. 2的下部分别设置有切换阀18，燃烧室5排出的气体通过切换阀18进入左喷淋室20. 1和/或右喷淋室20. 2。燃烧室5的侧壁上设置有废气进气口 6、压缩空气进气口 1、氮气进气口 2和新风补气口 16，燃烧室5的顶部还设有出气口 5. 1，底部设有排渣口 4。左喷淋室20. 1和右喷淋室20. 2内从上往下分别都设置有收水器10、喷淋系统9和填料7，填料7为二氧化硅。左喷淋室20. 1和右喷淋室202 的顶部具有排气口 11，侧壁上都设有检修孔8。左喷淋室20. 1和右喷淋室20. 2的顶部都设置有防爆口 19。水箱21的上部设置有自动补水口 13和溢流口 14，水箱21底部设置有排污口 15，顶部设有投料口 17和为喷淋系统9提供循环液的循环泵12，循环泵12和喷淋系统9之间还设置有流量调节阀12. 1。本技术用于处理主要含硅烷和氨气等可溶性气体，收集的待处理废气经废气进气口 6进入燃烧室5，压缩空气和新鲜空气也分别由压缩空气进气口 1和新风补气口 16 进入燃烧室5，在燃烧室5内混合燃烧，为保证安全，同时从氮气进气口 2注入氮气。废气在燃烧室5内燃烧后硅烷基本燃烧完全。燃烧后的废气主要含氨气等可溶性气体，然后按图 2中示意的流动方向经切换阀18进入喷淋室20，切换阀18全部打开时，废气可同时进入左喷淋室20. 1和右喷淋室20. 2，当喷淋室需要检修、清渣时，可通过切换阀18关闭其中任意一个喷淋室而只使另用一个喷淋室，因此可以在不停机的状态下轻松解决检修、清渣，更换填料等问题。在喷淋室内，废气经过洗涤吸收将氨气等可溶性气体处理达标，最后从顶部的排气口 11排出。其中，循环泵12从水箱21中抽取水后从喷淋系统9在喷淋室顶部喷洒水雾，水至上而下最后流回水箱21，因此水是循环使用的。流量调节阀12. 1可控制喷淋系统 9的水的流量大小。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种硅烷尾气燃烧净化设备，具有底座(3)，在底座C3)上设置有塔体(22)，所述的塔体0 包括有位于底部的水箱以及设置在水箱上方的燃烧室( 和喷淋室 (20)，其特征在于所述的燃烧室( 设置在喷淋室OO)的外侧，喷淋室OO)包括有相互独立的左喷淋室OO. 1)和右喷淋室OO.幻，左喷淋室OO. 1)和右喷淋室OO. 2)的下部分别设置有切换阀(18)，燃烧室(5)排出的气体通过切换阀(18)进入左喷淋室OO. 1)和/ 或右喷淋室OO. 2)。2.根据权利要求1所述的硅烷尾气燃烧净化设备，其特征在于所述的燃烧室(5)设置有废气进气口(6)、压缩空气进气口(1)、氮气进气口(2)和新风补气口(16)，燃烧室(5) 的顶部设有出气口(5. 1)，底部设有排渣口 G)。3.根据权利要求1所述的硅烷尾气燃烧净化设备，其特征在于所述的左喷淋室 (20. 1)和右喷淋室00. 内从上往下分别都设置有收水器(10)、喷淋系统(9)和填料(7)，左喷淋室OO. 1)和右喷淋室00. 的顶部设有排气口(11)，侧壁上都设有检修孔 ⑶。4.根据权利要求3所述的硅烷尾气燃烧净化设备，其特征在于所述的左喷淋室 (20. 1)和右喷淋室OO. 2)的上部都设置有防爆口(19)。5.根据权利要求3所述的硅烷尾气燃烧净化设备，其特征在于所述的填料(7)为二氧化硅。6.根据权利要求1所述的硅烷尾气燃烧净化设备，其特征在于所述的水箱的上部壁上设置有自动补水口(1 和溢流口(14)，水箱底部设置有排污口(15)，顶部设有投料口(17)和为喷淋系统(9)提供循环液的循环泵(12)，循环泵(12)和喷淋系统(9) 之间还设置有流量调节阀(12. 1)。专利摘要本技术涉及一种硅烷尾气燃烧净化设备，具有底座，在底座上设置有塔体，所述的塔体包括有位于底部的水箱以及设置在水箱上方的燃烧室和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘琳，潘兴良，蒋平，胥志伟，何杰，李凌，潘小科，徐金虎，黄晓华，华春燕，蒋亚仙，蒋金锋，
申请(专利权)人：常州天兴环保科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：