本发明涉及具有连接结构的多晶硅棒及其加工方法。更详细地说，涉及具有可以将多个多晶硅棒以端部对端部的方式相互稳定且容易地悬吊起来的连接结构的多晶硅棒，进而涉及可以不进行退火处理地稳定地实施切槽加工等的加工方法。本发明的硅棒可以大幅度提高多...

将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产...