一种分离设备及分离方法技术

本发明专利技术提供一种分离设备及分离方法，该分离设备用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜，所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合，该分离设备包括：基台，用于放置所述待分离器件；气刀；气刀控制部件，用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜与所述刚性承载基板分离。采用本发明专利技术的分离设备进行刚性承载基板和柔性器件分离时，能够减少分离时间，且不会对刚性承载基板和柔性器件造成损伤。

Separation device and separation method

The present invention provides a method of separating equipment, the separation equipment for separating device to be separated, the separation device comprises a rigid bearing plate, protective film is arranged on the rigid bearing flexible devices on a substrate and covered on the flexible device, four edges not covered by the flexible device the protective film and the substrate bonding rigid bearing, the separating device comprises a base, used for placing the device to be separated; the air knife; the control unit for controlling the air knife, air knife to at least one edge of the protective film and the rigid bearing joint surface substrate junction blowing, so that the protective film and the rigid substrate separation. When the rigid carrier substrate and the flexible device are separated by the separation device of the present invention, the separation time can be reduced without damage to the rigid load-bearing substrate and the flexible device.

【技术实现步骤摘要】
一种分离设备及分离方法
本专利技术涉及柔性器件制作工艺领域，尤其涉及一种分离设备及分离方法。
技术介绍
在进行柔性OLED(有机发光二极管)器件的制作过程中，通常是先提供一刚性承载基板，然后在刚性承载基板上形成柔性器件，柔性器件通常包括柔性基板和设置在柔性基板上的OLED器件。当柔性器件制作完成后，需要将柔性器件从刚性承载基板上剥离。现有技术中，通常是采用激光照射的方式将柔性器件和刚性承载基板分离，在进行激光照射分离时，需要将柔性器件面向基台放置，为了避免柔性器件与基台直接接触，可以在柔性器件上覆盖一保护膜，保护膜的尺寸大于柔性器件的尺寸，保护膜的未覆盖柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合。当用激光照射的方式将柔性器件和刚性承载基板分离后，还需要将保护膜与刚性承载基板分离，现有技术中，通常是使用刀片插入到保护膜与刚性承载基板的贴合面之间，然后移动刀片使得保护膜与刚性承载基板分离。上述将保护膜与刚性承载基板分离的方法，首先需要进行对位，以使得刀片的运动轨迹与刚性承载基板和保护膜的贴合面平行，避免对刚性承载基板和柔性器件造成损伤。由于分离前需要对位步骤，导致耗时较长，同时不可避免会出现对位失败的情况，从而影响生产效率和产品良率。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种分离设备及分离方法，能够减少刚性承载基板和柔性器件分离的时间，且不会对刚性承载基板和柔性器件造成损伤。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种分离设备，用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜，所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合，包括：基台，用于放置所述待分离器件；气刀；气刀控制部件，用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板分离。优选地，所述待分离器件放置到所述基台上时，所述保护膜面向所述基台；所述分离设备还包括：固定部件，设置在所述基台的至少一个侧边区域上，用于固定从所述刚性承载基板上分离的所述保护膜的边缘。优选地，所述基台的设置所述固定部件的侧边区域的高度低于所述基台的中部区域的高度。优选地，所述基台的设置所述固定部件的侧边区域呈斜坡状。优选地，所述固定部件包括开设在所述基台的侧边区域上的吸附孔。优选地，所述气刀具有条形的吹风口，所述吹风口的长度方向与所述待分离器件所在的平面平行，所述吹风口的长度大于或等于所述保护膜在对应方向上的长度。优选地，所述气刀具有吹风口，所述吹风口的长度小于所述保护膜在对应方向上的长度，所述气刀向与所述保护膜的边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气时，所述吹风口的吹风方向与所述基台的对应侧边之间所呈夹角能够调节。优选地，所述基台在两个方向上的宽度均大于或等于所述保护膜在相同方向上的宽度。本专利技术还提供一种分离方法，用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜，所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合，包括：提供一基台；将所述待分离器件放置于所述基台上；提供气刀；控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板分离。优选地，所述基台的至少一个侧边区域上设置有固定部件，将所述待分离器件放置到所述基台上时，所述保护膜面向所述基台；所述分离方法还包括：通过所述固定部件固定从所述刚性承载基板上分离的所述保护膜的边缘。上述技术方案的有益效果如下：本专利技术实施例中，采用气刀将保护膜与刚性承载基板分离，分离前不需要进行对位，从而简化了设备机构，并减少了分离耗时，提高了成产效率，同时，也可以避免因对位失败刀片对柔性器件和刚性衬底基板的损伤，提高了产品良率。附图说明图1为本专利技术实施例中的保护膜的边缘与刚性承载基板分离之前的示意图；图2为本专利技术实施例中的保护膜的边缘与刚性承载基板分离之后的示意图；图3为本专利技术一实施例的分离方法的示意图；图4为本专利技术另一实施例的分离方法的示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。为解决现有技术中对刚性承载基板和保护膜进行分离时需要对位步骤，导致边缘分离耗时长，且对位失败容易对刚性承载基板和柔性器件造成损伤的问题，请参考图1和图2，本专利技术的一实施例提供一种分离设备，用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板11、设置在所述刚性承载基板11上的柔性器件12以及覆盖于所述柔性器件12上的保护膜13，所述保护膜13的未覆盖所述柔性器件12的四个边缘与所述刚性承载基板11贴合，该分离设备包括：基台21，用于放置所述待分离器件；气刀22；气刀控制部件(图未示出)，用于控制所述气刀22向所述保护膜13的至少一个边缘与所述刚性承载基板11的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜13的至少一个边缘与所述刚性承载基板11分离。图1为本专利技术实施例中的保护膜的边缘与刚性承载基板分离之前的示意图，图2为本专利技术实施例中的保护膜的边缘与刚性承载基板分离之后的示意图。本专利技术实施例中，采用气刀22将保护膜13与刚性承载基板11分离，分离前不需要进行对位，从而简化了设备机构，并减少了分离耗时，提高了成产效率，同时，也可以避免因对位失败刀片对柔性器件12和刚性衬底基板11的损伤，提高了产品良率。本专利技术实施例中，通常情况下，在将保护膜与刚性承载基板分离之前，已采用激光照射工艺将刚性承载基板和柔性器件分离，当然，在本专利技术的其他一些实施例中，也不排除先将保护膜与刚性承载基板分离，然后再采用激光照射工艺将刚性承载基板和柔性器件分离。本专利技术实施例中，可以通过上述分离设备将保护膜13的四个边缘均与刚性承载基板11分离，当然，也可以只将保护膜13的个别边缘，例如相对的两个边缘与刚性承载基板11分离。本专利技术实施例中，优选地，在将保护膜13的一未覆盖柔性器件12的边缘与刚性承载基板11分离时，是将该边缘全部与刚性承载基板11分离(请参考图2)，当然，在本专利技术的其他一些实施例中，也不排除，将该边缘的一部分与刚性承载基板11分离，即在通过上述分离设备将保护膜的一边缘与刚性承载基板分离后，该边缘还有部分区域与刚性承载基板11存在粘连。本专利技术实施例中，在将保护膜13与刚性承载基板11分离之后，还需要将刚性承载基板11和柔性器件12完全分离，即本专利技术实施例的分离设备还可以包括：分离机构(图未示出)，用于将已经进行边缘分离的刚性承载基板11和所述柔性器件12完全分离。所述分离机构可以包括一吸附部件，所述分离机构可以设置在刚性承载基板11的远离基台21的一侧，吸附部件吸附住刚性承载基板11，向远离基台21的一侧搬离所述刚性承载基板11，将已经进行边缘分离的刚性承载基板11和柔性器件12完全分离。在本专利技术的一实施例中，如果只是将保护膜13的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分离设备，用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜，所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合，其特征在于，包括：基台，用于放置所述待分离器件；气刀；气刀控制部件，用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板分离。

【技术特征摘要】
1.一种分离设备，用于待分离器件的分离，所述待分离器件包括刚性承载基板、设置在所述刚性承载基板上的柔性器件以及覆盖于所述柔性器件上的保护膜，所述保护膜的未覆盖所述柔性器件的四个边缘与所述刚性承载基板贴合，其特征在于，包括：基台，用于放置所述待分离器件；气刀；气刀控制部件，用于控制所述气刀向所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板的贴合面的交界处吹气，以使得所述保护膜的至少一个边缘与所述刚性承载基板分离。2.根据权利要求1所述的分离设备，其特征在于，所述待分离器件放置到所述基台上时，所述保护膜面向所述基台；所述分离设备还包括：固定部件，设置在所述基台的至少一个侧边区域上，用于固定从所述刚性承载基板上分离的所述保护膜的边缘。3.根据权利要求2所述的分离设备，其特征在于，所述基台的设置所述固定部件的侧边区域的高度低于所述基台的中部区域的高度。4.根据权利要求3所述的分离设备，其特征在于，所述基台的设置所述固定部件的侧边区域呈斜坡状。5.根据权利要求2所述的分离设备，其特征在于，所述固定部件包括开设在所述基台的侧边区域上的吸附孔。6.根据权利要求1所述的分离设备，其特征在于，所述气刀具有条形的吹风口，所述吹风口的长度方向与所述待分离器件所在的平面平行，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，孙中元，倪静凯，罗程远，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11