一种上盖板开启结构制造技术
Upper cover opening structure
The utility model relates to an upper cover opening structure, which comprises an upper hinge and a lower hinge. The lower hinge is fixedly connected with the outer wall of the cavity. The upper end of the lower hinge is provided with a positioning hole which is provided with an upper positioning hole, and the lower end of the lower hinge is provided with a lower positioning hole. The invention can accurately locate the upper cover plate and the outer wall of the cavity, so as to avoid the friction between the upper cover plate and the sealing ring, the gasket and the cavity, avoid the damage of the equipment and improve the sealing performance of the cavity.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种开启装置，尤其是一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启结构，属于半导体设备
技术介绍
现有等离子体处理装置，大多是通过一简单的结构组件来实现上盖板的成功开启。通常是通过简单的连接销来实现开关上盖板，下端采用螺栓实现其与腔体间的连接。通过该结构，实现上盖板开关操作及其固定。在上述工艺过程中，在开关上盖板时，上盖板会松动不固定，同时该连接组件与腔体间也存在松动，而这些都会造成上盖板与密封圈、衬垫和腔体间产生摩擦，使得腔体上表面不平整，最终导致腔体的密封性不好，需要外力协助才能实现抽真空的操作。综上所述，不论从设备维护本身还是操作方面，该结构都亟需改进。目前，随着半导体技术的不断发展，等离子体处理装置需求不断加大，传统的上盖板开启结构组件导致腔体损害及密封性变差的问题会越发显著。因此，需要设计一种新型的上盖板开启结构，准确定位上盖板，以避免上盖板与密封圈、衬垫和腔体之间的摩擦，避免设备的损伤，改善腔体密封性能，以适应技术不断提高的需要。
技术实现思路
本专利技术是鉴于改善等离子体处理设备上盖板开启方式，其目的是提供一种可以实现避免磨损腔体的简便开启上盖板的结构。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种上盖板开启结构，包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接。上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接。上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其侧面的平面为腔体接触面，在腔体接触面上设有固定销轴。优选的，所述的固定销轴为四个。优选的，所述的下铰链上还设有定位销。本专利技术准确定位上盖板和...
【技术保护点】
一种上盖板开启结构，其特征在于：包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接；上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接；上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其侧面的平面为腔体接触面，在腔体接触面上设有固定销轴。
【技术特征摘要】
1.一种上盖板开启结构，其特征在于：包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接；上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接；上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：马壮，李思，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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