一种液压缸安全锁制造技术

本实用新型专利技术公开了一种液压安全锁，所述安全锁由耳轴(5)和铰链(6)组成；所述耳轴(5)设于液压缸活塞杆(3)上，所述铰链(6)通过铰链销(7)转动连接在液压缸缸盖(13)上；所述铰链(6)上设有与耳轴(5)配合的定位孔(8)。本实用新型专利技术中的液压安全锁是通过设置于液压缸活塞杆上的耳轴达到对液压缸的锁止作用，锁止装置集成于液压缸上且安装方便；液压安全锁能够提高维修作业时维修人员的安全性。

A hydraulic cylinder safety lock

The utility model discloses a hydraulic safety lock, the safety lock by the ear shaft (5) and a hinge (6); the shaft (5) is arranged on the piston rod of the hydraulic cylinder (3), the hinge (6) through a hinge pin (7) rotatably connected to the hydraulic cylinder (cylinder head 13); the hinge (6) is provided with a shaft (5) positioning hole (8). The utility model of the hydraulic safety lock is arranged on the shaft through the hydraulic cylinder piston rod of the hydraulic cylinder to the locking effect, the locking device is integrated in the hydraulic cylinder and the installation is convenient; hydraulic safety lock can improve the maintenance personnel maintenance operation safety.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于反应离子刻蚀制绒领域，具体属于反应离子刻蚀装置中的液压缸的机械安全锁装置。
技术介绍
在半导体器件的制造过程中广泛的使用等离子体处理装置。反应离子刻蚀是一种半导体生产加工工艺，它利用由等离子体强化后的反应离子气体轰击目标材料，通过物理轰击和化学反应来达到刻蚀的目的，反应离子刻蚀装置在反应腔室内具备相对设置的上部电极和下部电极，在反应离子刻蚀装置中，通过在上部电极施加高频电压，使处理室内的处理气体等离子化，对下部电极上的被处理体实施等离子体等的处理。配备有上部电极的上盖重量大，因此，常采用液压缸将其打开，在反应离子刻蚀装置运行期间，必然存在对装置零件的维修或者反应腔室的清扫等，当使用液压缸打开反应腔室后，需要防止上盖的回落。现有技术中为了将液压缸位置锁定常采用的是液压锁，而液压锁的缺陷是性能不稳定，有时电气故障或是管路泄漏都会导致系统压力下降，此时，液压锁会失去锁紧功能，给生产带来安全隐患。而即使采用了软件安全保护来防止反应腔室上盖的回落，由于工作人员电脑误操作或者电脑本身故障也都会给生产带来安全隐患。在专利CN103362896A中提出了一种适合于液压油缸的安全锁定装置，但是这种装置是一种机械—液压连锁结构，结构较复杂，锁定和解锁需要通过机械和液压两种方式进行。在多数液压缸使用场合，由于液压缸提供的驱动力大，机构重量大惯性高，做机械限位受到诸多限制，造成机械限位难设计，难添加问题。在专利CN202955065U中提出了一种用于液压缸活塞防缩的机械锁紧装置，技术方案是在液压缸与活塞杆之间设有螺纹导向套，带有螺纹的活塞杆上设有锁紧耳轴，所述的活塞杆头部为球头结构，所述的活塞杆球头上设有通过螺钉和压板接有球头套，该技术方案结构复杂，螺纹导向套易磨损
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题本技术主要解决在液压缸使用坏境下，提供一种安装方便的集成于液压缸的机械安全锁紧装置，以保证液压缸使用中的安全，保障液压缸应用装置维修作业时维修人员的安全。2、本技术的所采用的技术方案图1为反应离子刻蚀装置的一个反应腔室示意图，当需要对反应腔室1进行清扫或维护时，利用液压缸2打开反应腔室的上盖4，维修人员对反应腔室等进行维护。如前所述，如果仅通过软件中的安全设置来防止上盖的回落，难以避免操作人员对电脑误操作或电脑故障时带来的危险，针对于此，本申请设计了一种集成于液压缸的机械安全锁定装置，通过这一装置的设置，使得即使当操作人员对电脑进行了误操作或者电脑出现故障时，也能保证工作人员的人身安全。一种液压安全锁，所述安全锁由耳轴5和铰链6组成；所述耳轴5设于液压缸活塞杆3上，所述铰链6通过铰链销7转动连接在液压缸缸盖13上；所述铰链6上设有与耳轴5配合的定位孔8。当铰链6旋转至锁紧位置即竖直位置时，定位孔8与设置在液压缸活塞杆3上的耳轴5配合，耳轴5卡设在定位孔8内，实现对液压缸2的锁定，防止活塞杆3回落。耳轴5与液压缸活塞杆3垂直且对称分布在液压缸活塞杆3两侧；所述铰链6设有两个，对称分布在液压缸活塞杆3两侧；两个耳轴5分别与两个铰链6相配合。优选的技术方案，耳轴5内部设置磁铁9，磁铁9的设置有效增强了铰链6位于锁定位置时的稳定性。优选使用固定环10对耳轴5相对于液压缸活塞杆3进行限位，将其固定至液压缸活塞杆3，固定环10设置两个，分别设置在耳轴5的沿活塞杆3轴线的两侧。优选当铰链6旋转至打开位置时，铰链6朝向液压缸2的侧面为定位面，定位面限制铰链6的转动，其与液压缸缸体的表面接触构成对铰链的限位，使得铰链的旋转停止于两面相抵处。优选在液压缸缸盖13上设置弧形凹槽14用以与铰链销7嵌合，并在弧形凹槽14和铰链销7的相应位置设置定位孔，用以将铰链销7固定至弧形凹槽14即固定至液压缸2上，优选采用螺栓穿过定位孔进行固定。优选在铰链销上设置平台，平台上设置定位孔；铰链6设置在铰链销7上，与铰链销7转动配合。优选在液压缸2的缸体上设置有传感器支架11，传感器支架11上设置有两个位置传感器12，这两个位置传感器12用来检测液压缸安全锁中的两个铰链6的所处位置，当离子刻蚀反应装置的上盖4处于打开或关闭位置，即液压缸2需要进行锁定或打开的位置时，检测铰链6是否处于锁定或打开位置，并将位置信号传递给控制装置，以发出警告提示工作人员。为了增强液压缸安全锁的强度，铰链6、铰链销7、耳轴5和固定环10需要选择强度较高的材料，优选进行镍磷处理等。3、采用本技术提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下显著效果：本技术解决了液压缸使用坏境下机械保护难添加、难设计的问题；本技术中的液压安全锁是通过设置于液压缸活塞杆上的耳轴达到对液压缸的锁止作用,锁止装置集成于液压缸上且安装方便；能够提高维修作业时维修人员的安全性。附图说明图1是本申请液压缸安全锁的应用装置反应离子刻蚀装置示意图。图2是本申请液压缸安全锁的位于打开位置的主视图。图3是本申请液压缸安全锁的位于打开位置的左视图。图4是本申请液压缸安全锁的位于打开位置的俯视图。图中附图标记对应的零件为：1反应腔室，2液压缸，3液压缸活塞杆，4上盖，5耳轴，6铰链，7铰链销，8定位孔，9磁铁，10固定环，11传感器支架，12位置传感器，13液压缸缸盖，14弧形凹槽。具体实施方式下面结合说明书附图和具体的实施例，对本技术作详细描述。如图2-4所示，液压安全锁，安全锁由耳轴5和铰链6组成；耳轴5设于液压缸活塞杆3上，铰链6通过铰链销7转动连接在液压缸缸盖13上；所述铰链6上设有与耳轴5配合的定位孔8。当铰链6旋转至锁紧位置即竖直位置时，定位孔8与设置在液压缸活塞杆3上的耳轴5配合，耳轴5卡设在定位孔8内，实现对液压缸2的锁定，防止活塞杆3回落。耳轴5与液压缸活塞杆3垂直且对称分布在液压缸活塞杆3两侧；所述铰链6设有两个，对称分布在液压缸活塞杆3两侧；两个耳轴5分别与两个铰链6相配合。耳轴5内部设置磁铁9，磁铁9的设置有效增强了铰链6位于锁定位置时的稳定性。使用固定环10对耳轴5相对于液压缸活塞杆3进行限位，将其固定至液压缸活塞杆3，固定环10设置两个，分别设置在耳轴5的沿活塞杆3轴线的两侧。当铰链6旋转至打开位置时，铰链6朝向液压缸2的侧面为定位面，定位面限制铰链6的转动，其与液压缸缸体的表面接触构成对铰链的限位，使得铰链的旋转停止于两面相抵处。在液压缸缸盖13上设置弧形凹槽14用以与铰链销7嵌合，并在弧形凹槽14和铰链销7的相应位置设置定位孔，用以将铰链销7固定至弧形凹槽14即固定至液压缸2上，优选采用螺栓穿过定位孔进行固定。铰链6设置在铰链销7上，与铰链销7转动配合。在液压缸2的缸体上设置有传感器支架11，传感器支架11上设置有两个位置传感器12，这两个位置传感器12用来检测液压缸安全锁中的两个铰链6的所处位置，当离子刻蚀反应装置的上盖4处于打开或关闭位置，即液压缸2需要进行锁定或打开的位置时，检测铰链6是否处于锁定或打开位置，并将位置信号传递给控制装置，以发出警告提示工作人员。工作步骤：需要打开离子刻蚀反应装置的上盖4时，液压缸的活塞杆3伸出到位后，将铰链6转动至耳轴5与铰链6上的定位块卡合，液压缸被锁定，工作人员可以正常操作。需要关闭离子刻蚀反应装置的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液压安全锁，其特征在于，所述安全锁由耳轴(5)和铰链(6)组成；所述耳轴(5)设于液压缸活塞杆(3)上，所述铰链(6)通过铰链销(7)转动连接在液压缸缸盖(13)上；所述铰链(6)上设有与耳轴(5)配合的定位孔(8)。

【技术特征摘要】
1.一种液压安全锁，其特征在于，所述安全锁由耳轴(5)和铰链(6)组成；所述耳轴(5)设于液压缸活塞杆(3)上，所述铰链(6)通过铰链销(7)转动连接在液压缸缸盖(13)上；所述铰链(6)上设有与耳轴(5)配合的定位孔(8)。2.根据权利要求1所述的一种液压安全锁，其特征在于，所述耳轴(5)与液压缸活塞杆(3)垂直且对称分布在液压缸活塞杆(3)两侧；所述铰链(6)设有两个，对称分布在液压缸活塞杆(3)两侧。3.根据权利要求1所述的一种液压安全锁，其特征在于，所述耳轴(5)内部设置磁铁(9)。4.根据权利要求1所述的一种液压安全锁，其特征在于，所述耳轴(5)上设有固定环(10)；所述固定环(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡彬，胡磊，左敏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32