一种原子层沉积在线监控系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种原子层沉积在线监控系统，所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。

【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积在线监控系统
本技术涉及太阳能电池制造设备的
,具体涉及在线监测及记录原子层沉积的工艺稳定性的装置。
技术介绍
原子层沉积(Atomiclayerdeposition，ALD)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学气相沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。此沉积技术最初是在20世纪70年代由芬兰的科学家提出。当前,原子层沉积(ALD)技术作为最先进的薄膜沉积技术之一，已广泛应用于国外先进的高科技制造业。随着现代科学技术的不断发展，ALD在工业量产上的运用也日趋成熟，但对于ALD量产设备工业稳定性的有效监控及记录至今仍然不够完善，在生产线上只能靠对结果的分析才能发现设备工艺出现问题，对风险的监控既被动又拖延，且维护过程死板，无法根据实际工艺长期情况进行有针对性、合理地维护，所以急需有效的在线监控系统来对产线上的设备进行工艺稳定性的监控及长期纪录。
技术实现思路
本技术是针对原子层沉积设备，用椭偏仪、质谱仪、折射仪、X射线荧光光谱分析仪、石英秤、X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。

【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述在线监控系统设有报警系统，信号处理系统监测到实时工艺状态和理论工艺状态的拟合出现异常，启动报警系统。3.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述信号处理系统记录工艺状态并储存数据，进行整体趋势分析，并根据整体趋势情况设定维护提醒。4.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：信号处理系统根据检测元件...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎微明，李翔，赵昂璧，左敏，糜珂，
申请(专利权)人：江苏微导纳米装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32