线圈调节机构、感应加热装置和气相沉积设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种线圈调节机构，包括旋转件和与旋转件连接的移动转换组件，移动转换组件用于将旋转件的旋转运动转换为沿旋转件的旋转轴线方向的直线运动，移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，移动杆设置于安装件中，且移动杆的轴线方向与旋转件的旋转轴线方向一致，当旋转件绕旋转轴线旋转时，能够带动移动杆沿该移动杆的轴线方向移动，定位件设置于移动杆和安装件之间，以限定移动杆的位置，防止移动杆发生绕旋转轴线的转动。本发明专利技术还提供一种感应加热装置和一种气相沉积设备。本发明专利技术的线圈调节机构和感应加热装置，线圈调节机构不容易与线圈发生脱离。

Coil regulating mechanism, induction heating device and vapor deposition equipment

The invention provides a coil regulating mechanism, which includes a rotating member and a moving conversion component connected with the rotating member. The moving conversion component is used to convert the rotating motion of the rotating member into a straight line motion along the rotating axis direction of the rotating member. The moving conversion component comprises an installation member, a moving rod and at least one positioning member, wherein the moving rod is arranged in the installation member and the axis of the moving rod is arranged. The line direction is the same as the rotating axis direction of the rotating part. When the rotating part rotates around the rotating axis, it can drive the moving rod to move along the axis direction of the moving rod. The locating part is set between the moving rod and the installing part to limit the position of the moving rod and prevent the rotating rod from turning around the rotating axis. The invention also provides an induction heating device and a vapor deposition device. The coil regulating mechanism and the induction heating device of the invention can not easily separate from the coil.

【技术实现步骤摘要】
线圈调节机构、感应加热装置和气相沉积设备
本专利技术涉及气相沉积设备领域，具体地，涉及一种线圈调节机构、感应加热装置和气相沉积设备。
技术介绍
气相沉积方法是一种利用气体在高温下相互反应来制备外延薄膜层的方法。需要利用专门的气相沉积设备来进行气相沉积的方法。图1中所示的是一种气相沉积设备，从图1中可以看出，该气相沉积设备包括感应加热装置100、工艺腔200和设置在该工艺腔200中的托盘300。利用感应加热装置100对托盘300进行加热，从而达到气相沉积设备所需要的温度。为了调节托盘300的温度均匀性，需要利用线圈调节机构110来调节感应加热装置100中线圈120的不同匝与托盘300之间的距离。通常，线圈调节机构110为将旋转运动转换为直线运动的螺纹副，例如，线圈调节机构110可以是丝杠和丝杠螺母组成的螺纹副。通过旋转丝杠螺母可以使得丝杠做直线移动，然后调节与丝杠连接的线圈匝与托盘之间的距离。但是，这种线圈调节机构中，丝杠容易与线圈脱离，造成损坏，进而导致无法对线圈与托盘之间的距离进行调节。因此，如何防止线圈调节机构110与线圈120脱离成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线圈调节机构，所述线圈调节机构包括旋转件和与所述旋转件连接的移动转换组件，其特征在于，所述移动转换组件用于将所述旋转件的旋转运动转换为沿所述旋转件的旋转轴线方向的直线运动，所述移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，所述移动杆设置于所述安装件中，且所述移动杆的轴线方向与所述旋转件的旋转轴线方向一致，当所述旋转件绕所述旋转轴线旋转时，能够带动所述移动杆沿该移动杆的轴线方向移动，所述定位件设置于所述移动杆和所述安装件之间，以限定所述移动杆的位置，防止所述移动杆发生绕所述旋转轴线的转动。

【技术特征摘要】
1.一种线圈调节机构，所述线圈调节机构包括旋转件和与所述旋转件连接的移动转换组件，其特征在于，所述移动转换组件用于将所述旋转件的旋转运动转换为沿所述旋转件的旋转轴线方向的直线运动，所述移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，所述移动杆设置于所述安装件中，且所述移动杆的轴线方向与所述旋转件的旋转轴线方向一致，当所述旋转件绕所述旋转轴线旋转时，能够带动所述移动杆沿该移动杆的轴线方向移动，所述定位件设置于所述移动杆和所述安装件之间，以限定所述移动杆的位置，防止所述移动杆发生绕所述旋转轴线的转动。2.根据权利要求1所述的线圈调节机构，其特征在于，所述旋转件包括定位部和与所述定位部同轴连接的操作部，所述旋转件上设置有贯穿所述定位部和所述操作部的螺纹孔；所述旋转件的定位部固定在所述安装件上，所述安装件用于与第一支撑板固定连接，以防止所述旋转件沿所述螺纹孔的轴线移动；所述移动杆包括螺纹杆部，所述螺纹杆部设置在所述螺纹孔中，所述移动杆上还设置有至少一个定位槽，每个所述定位槽对应一个所述定位件，所述定位槽的长度方向与所述移动杆的轴线方向一致，所述定位件的一部分固定在所述安装件上，另一部分可滑动地设置在与所述定位件对应的所述定位槽中。3.根据权利要求2所述的线圈调节机构，其特征在于，所述安装件包括筒体和第一凸缘，所述筒体包括底板和环绕所述底板设置的筒壁，所述第一凸缘环绕所述筒壁设置，且所述底板和所述第一凸缘分别位于所述筒壁的两端，所述第一凸缘用于与所述第一支撑板固定连接，所述底板上设置有与所述螺纹孔同轴的通孔，所述定位部设置在所述通孔中，所述操作部位于所述筒体外部，所述安装件上设置有贯通该安装件的至少一个定位孔，每个所述定位件对应一个所述定位孔，所述定位件的一部分设置在相应的所述定位孔中。4.根据权利要求3所述的线圈调节机构，其特征在于，所述定位孔设置在所述第一凸缘上。5.根据权利要求3所述的线圈调节机构，其特征在于，所述移动杆包括第一移动杆和与所述第一移动杆相连的第二移动杆，所述螺纹杆部和所述定位槽均设置在所述第一移动杆上，所述第一移动杆与所述第二移动杆相连的一端设置容纳腔；所述第二移动杆的一端设置在所述容纳腔中，所述第二移动杆的另一端用于与感应线圈固定连接，所述第二移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖凤英，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11