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本实用新型公开了一种原子层沉积在线监控系统，所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理...
该专利属于江苏微导纳米装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米装备科技有限公司授权不得商用。

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