The invention discloses a dispatching selection system and a dispatching method for wafer placement on a wafer boat. Under certain other conditions of chemical vapor deposition process, the thickness of the film deposited on the wafer surface is negatively correlated with the transmittance of the corresponding mask linearly. Combined with the ventilation of the reaction furnace, the transmittance range of the mask corresponding to the same batch of wafers is first analyzed and then pinned. For each wafer, the position of the wafer on the boat is determined according to the position of the shield transmittance in the range of the shield transmittance. For the wafer with high shield transmittance, the wafer is placed from the bottom of the boat; for the wafer with low shield transmittance, the wafer is placed from the top of the boat. In this way, the thickness of the films deposited on the same batch of wafers in CVD process can be compensated and adjusted to the maximum extent, so that the thickness of the films deposited on the same batch of wafers in CVD process is the same.
【技术实现步骤摘要】
晶圆摆放方式的派工选择系统及晶圆的摆放方法
本专利技术涉及超大规模集成电路制造
,尤其是涉及一种化学气相沉积工艺中晶圆摆放方式的派工选择系统及晶圆的摆放方法。
技术介绍
化学气相沉积工艺(CVD),特别是低压化学气相沉积工艺(LPCVD)广泛应用于超大规模集成电路制造技术中晶圆的Si3N4及SiO2薄膜的制备,低压化学气相沉积工艺具有沉积温度低、薄膜成分和厚度易控、薄膜厚度与沉积时间呈正比、均匀性与重复性好、台阶覆盖能力好及操作方便等优点。低压化学气相沉积工艺是指在设定时间内将固定量的特殊反应气体从反应腔的底部通入反应炉内,在反应炉内晶舟上的全部晶圆的表面同时沉积薄膜,所使用的反应炉属于批处理工艺,一次最多可将一百片或一百五十片晶圆放在反应炉中垂直的晶舟上,同时反应沉积薄膜。而属于同一批次的不同产品晶圆的表面图形不同,使得晶圆的实际表面积不同,沉积薄膜的厚度也随之变化,对每个晶圆而言,特殊反应气体的总量一定,表面积越大,其表面的沉积薄膜就越薄,这会造成化学气相沉积工艺中同一批次的多个晶圆的表面沉积薄膜的厚度不一致。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种晶圆在晶舟上的摆放方法,以解决化学气相沉积工艺中的同一批次的多个表面积不同的晶圆的表面沉积薄膜厚度不一致的问题。为了达到上述目的,本专利技术提供了一种晶圆摆放方式的派工选择系统,用于化学气相沉积工艺中晶圆在晶舟上的摆放方式的派工选择,包括:采集模块,从数据库中采集所述晶圆对应光罩的透光率信息;处理模块,根据所述光罩的透光率信息,并结合所述晶舟的结构,分析判断所述晶圆的摆放方式;输出模块,对外输出所述晶 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆摆放方式的派工选择系统,用于化学气相沉积工艺中晶圆在晶舟上的摆放方式的派工选择,其特征在于,包括:采集模块,从数据库中采集所述晶圆对应光罩的透光率信息;处理模块,根据所述光罩的透光率信息,并结合所述晶舟的结构,分析判断所述晶圆的摆放方式;输出模块,对外输出所述晶圆的摆放方式。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆摆放方式的派工选择系统,用于化学气相沉积工艺中晶圆在晶舟上的摆放方式的派工选择,其特征在于,包括:采集模块,从数据库中采集所述晶圆对应光罩的透光率信息;处理模块,根据所述光罩的透光率信息,并结合所述晶舟的结构,分析判断所述晶圆的摆放方式;输出模块,对外输出所述晶圆的摆放方式。2.如权利要求1所述的晶圆摆放方式的派工选择系统,其特征在于,所述处理模块从所述数据库中采集得到所有所述晶圆对应光罩的透光率信息,统计得到光罩的透光率范围,对所述光罩的透光率范围进行划分,并对不同范围的光罩透光率相对应的晶圆分别建立其在所述晶舟上的摆放方式的子方式。3.如权利要求2所述的晶圆摆放方式的派工选择系统,其特征在于,所述处理模块将所述光罩的透光率范围划分为第一区间、第二区间及第三区间共三个区间,所述第二区间对应的光罩透光率大于所述第一区间对应的光罩透光率,且所述第二区间对应的光罩透光率小于所述第三区间对应的光罩透光率。4.如权利要求3所述的晶圆摆放方式的派工选择系统,其特征在于,在所述化学气相沉积工艺中,所述晶圆表面沉积薄膜的厚度与所述晶圆对应的光罩透光率呈线性负相关。5.如权利要求3或4所述的晶圆摆放方式的派工选择系统,其特征在于,所述第一区间的光罩透光率对应晶圆的摆放方式的子方式为从所述晶舟的上端开始摆放,所述第二区间的光罩透光率对应晶圆的摆放方式的子方式为从所述晶舟的中间开始摆放,所述第三区间的光罩透光率对应晶圆的摆放方式的子方式为从所述晶舟的下端开始摆放。6.如权利要求5所述的晶圆摆放方式的派工选择系统,其特征在于,所述处理模块从所述数据库中采集得到所述晶圆对应光罩的透光率信息,判断所述晶圆对应的光罩透光率的所属区间,并选择所述所属区间对应的摆放方式的子方式作为所述晶圆的摆放方式。7.一种晶圆的摆放方法,用于化学气相沉积工艺中同一批晶圆在晶舟上的摆放选择,其特征在于,所述晶圆的摆放方法包括步骤:采集同一批所述晶圆对应光罩的透光率信息,统计得到光罩的透光率范围;以及针对每个所述晶圆,确定所述晶圆对应光罩的透光率在所述光罩的透光率范围中的位置,并由此...
【专利技术属性】
技术研发人员:林敏伟,张凌越,姜波,
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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