一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微探针尖端加工制造领域，特别涉及一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统。
技术介绍
微探针是触针式测量及检测仪器的核心部件，在精密测量、加工、高端产品制造等工业生产领域，有着广泛地应用。如何制造具有高形貌质量的微探针，是探针式形貌测量技术亟待解决的技术问题。现有的微探针尖端加工成形方法主要有以下几种：火焰加热成形法、电阻丝加热成形法、电弧放电加热成形法和激光加热成形法等。火焰烧制方法是一种较早的微探针尖端成形加工方法，这种加工方法存在的主要问题是：火焰燃烧产生的温度场易受气流、湿度等外界影响，加热时间不能精确控制，导致尖端成型的一致性和重复性较差；燃料的燃烧会引入其他氧化物附着于探针球形尖端，对探针尖端造成影响。电阻丝加热烧制法是在火焰加热方法的基础上产生的，该成形加工方法存在的问题是：加热区域较大，不适宜微小局部精确加工；加热过程中，发热材料容易粉末化和裂损，释放有毒物质；发热材料升温速度较慢且需要通入较大电流，对硬件电路要...
【技术保护点】
一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统，主要由激光发生模块、光路调节模块、探针位置调整模块和激光防护模块组成；其特征是：所述的激光发生模块包括：CO2激光器(1)、直流电源(2)、功率控制器(3)，所述的CO2激光器(1)的左侧分别连接直流电源(2)和功率控制器(3)，CO2激光器(1)的右侧发出沿Y轴方向的第一激光(13)，并射向所述的光路调节模块；所述的光路调节模块包括：激光指示器(4)、合束镜(5)、分光镜(6)、第一反射镜(7‑1)、第二反射镜(7‑2)和激光吸收器(10)等，所述的激光指示器(4)、合束镜(5)、分光镜(6)、第一反射镜(7‑1)、第二...
【技术特征摘要】
1.一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统，主要由激光发生模块、光路
调节模块、探针位置调整模块和激光防护模块组成；其特征是：
所述的激光发生模块包括：CO2激光器(1)、直流电源(2)、功率控制器(3)，所述的
CO2激光器(1)的左侧分别连接直流电源(2)和功率控制器(3)，CO2激光器(1)的右侧
发出沿Y轴方向的第一激光(13)，并射向所述的光路调节模块；
所述的光路调节模块包括：激光指示器(4)、合束镜(5)、分光镜(6)、第一反射镜(7-1)、
第二反射镜(7-2)和激光吸收器(10)等，所述的激光指示器(4)、合束镜(5)、分光镜(6)、
第一反射镜(7-1)、第二反射镜(7-2)的中心处在X-Y平面上，其中激光指示器(4)的轴
线沿X方向设置并与合束镜(5)的中心重合，可发射出能量较低且可见的第二激光(14)，
所述的合束镜(5)、分光镜(6)，沿第一激光(13)光轴延长线从左向右依次排列，所述的
第一和第二反射镜位于分光镜(6)的右侧，并分设在所述的第一激光(13)光轴延长线的两
侧，微探针毛坯(8)和激光吸收器(10)位于第一和第二反射镜中间位置的正下方，所述的
微探针毛坯(8)和激光吸收器(10)的中心与第一反射镜(7-1)和第二反射镜(7-2)的中
心位于与X-Z面平行的β平面上；
所述的探针位置调整模块包括支架(9)和位移平台(11)，所述的支架(9)与待加工微
探针毛坯(8)连接，并固定在所述的位移平台(11)上，待加工微探针毛坯(8)的位置可
通过位移平台(11)的移动进行调整；
所述的激光防护模块为一个由四块CO2激光专用防护板围成的长方体防护罩(12)，所述
的防护罩(12)罩在整个激光光路经过的区域。
2.如权利要求1所述的一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统，其特征
是：所述的CO2激光器(1)、合束镜(5)、分光镜(6)沿第一激光(13)光轴线从左向右依
次排列，所述的第一激光(13)与激光指示器(4)发出的沿X轴负方向且可见的第二激光
(14)，在合束镜(5)的中心合并成一束沿Y轴方向具有与第二激光(14)相同颜色的第三
激光(15)；所述的第三激光(15)经过分光镜...
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