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一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统技术方案
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下载一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统的技术资料
文档序号:14910864
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本发明公开了一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统,涉及微探针尖端加工制造领域。该系统主要包括:激光发生模块、光路调节模块、探针位置调整模块和激光防护模块等;所述的激光发生模块发出的CO2激光,经光路调节模块调节后,可分成两束相...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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