【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蓝宝石衬底结构
,具体为一种提高光输出量的蓝宝石衬底。
技术介绍
蓝宝石的组成为氧化铝,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构,由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045℃)等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。传统的蓝宝石衬底,大多数工艺一般在实际的测试结果中并不能达到很好的光提取率,且目前做LED外延的蓝宝石衬底大都采用平片衬底,存在少量表面损伤和亚表面损伤的现象,现有蓝宝石衬底由于蓝宝石衬底本体透光性很强,导致大量光源浪费,不仅仅浪费资源还污染环境,因此,我们提出一种提高光输出量的蓝宝石衬底。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种提高光输出量的蓝宝石衬底,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种提高光输出量的蓝宝石衬底,包括蓝宝石衬底,所述蓝宝石衬底的内腔设置有发光体,所述发光体与蓝宝石衬底之间设置有散热片,所述蓝宝石衬底的上表面和下表面均通过感应耦合等离子体刻蚀工艺形成有微透镜,所述蓝宝石衬底的顶部固定连接有氮化镓结晶生长层,所述氮化镓结晶生长层的顶部固定连接有图形化蓝宝石图形层,所述图形化蓝宝石图形层的顶部固定连接有粗糙层,所述粗糙层的上表面设置有聚光镜,所述粗糙层的顶部固定连接有聚光罩。优选的,所述聚光镜以矩形阵列的形式分布在粗糙层的表面。优选的,所述粗糙层的厚度不大于 ...
【技术保护点】
一种提高光输出量的蓝宝石衬底,包括蓝宝石衬底(1),其特征在于:所述蓝宝石衬底(1)的内腔设置有发光体(2),所述发光体(2)与蓝宝石衬底(1)之间设置有散热片(3),所述蓝宝石衬底(1)的上表面和下表面均通过感应耦合等离子体刻蚀工艺形成有微透镜(4),所述蓝宝石衬底(1)的顶部固定连接有氮化镓结晶生长层(5),所述氮化镓结晶生长层(5)的顶部固定连接有图形化蓝宝石图形层(6),所述图形化蓝宝石图形层(6)的顶部固定连接有粗糙层(7),所述粗糙层(7)的上表面设置有聚光镜(8),所述粗糙层(7)的顶部固定连接有聚光罩(9)。
【技术特征摘要】
1.一种提高光输出量的蓝宝石衬底,包括蓝宝石衬底(1),其特征在于:所述蓝宝石衬底(1)的内腔设置有发光体(2),所述发光体(2)与蓝宝石衬底(1)之间设置有散热片(3),所述蓝宝石衬底(1)的上表面和下表面均通过感应耦合等离子体刻蚀工艺形成有微透镜(4),所述蓝宝石衬底(1)的顶部固定连接有氮化镓结晶生长层(5),所述氮化镓结晶生长层(5)的顶部固定连接有图形化蓝宝石图形层(6),所述图形化蓝宝石图形层(6)的顶部固定连接有粗糙层(7),所述粗糙层(7)的上表面设置有聚光镜(8),所述粗糙层(7)的顶部固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐翊翔,李彬彬,林基明,徐光,
申请(专利权)人:福建晶安光电有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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