柔性基板的金属导线制作方法技术

一种柔性基板的金属导线制作方法包括：制备含气泡的聚酰亚胺溶液；将含气泡的聚酰亚胺溶液涂覆于一基板上；烘烤固化，在基板上形成表面具有凹孔的聚酰亚胺层；在聚酰亚胺层上沉积金属层；图案化金属层，在聚酰亚胺层上形成具有上下起伏的金属导线。本发明专利技术通过简单的步骤即在基板上形成了具有上下起伏的金属导线，其形成的金属导线在柔性基板弯曲时可有效释放金属导线的应力，提高了柔性背板的耐弯曲性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性显示
，尤其涉及一种柔性基板的金属导线制作方法。
技术介绍
柔性显示器因具有轻便、柔软、低功耗、显示效果优异、安装方便等优点被广泛应用于电子书、仪表盘、移动电话、平板电脑等电子设备中。柔性显示器的最大特点是可以弯曲，其通常在柔性基板上设置有金属导线，当柔性基板发生弯折时，金属导线也随之弯折，从而使柔性显示器可在多种弯折状况下均具有良好的显示效果。然而，由于金属导线疲劳强度的限制，金属导线在柔性基板多次弯折后容易断裂。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种柔性基板的金属导线制作方法。本专利技术提供的柔性基板的金属导线制作方法包括：制备含气泡的聚酰亚胺溶液；将含气泡的聚酰亚胺溶液涂覆于一基板上；烘烤固化，在基板上形成表面具有凹孔的聚酰亚胺层；在聚酰亚胺层上沉积金属层；图案化金属层，在聚酰亚胺层上形成具有上下起伏的金属导线。根据本专利技术的一个实施例，所述聚酰亚胺溶液的粘度为3000～10000CPS。根据本专利技术的一个实施例，所述制备含气泡的聚酰亚胺溶液的步骤包括：准备聚酰亚胺溶液；向聚酰亚胺溶液中通入气体，形成含不同体积气泡的聚酰亚胺溶液；以及滤除尺寸较大的气泡。根据本专利技术的一个实施例，所述滤除尺寸较大的气泡的步骤包括将含气泡的聚酰亚胺溶液通过一孔径为1～3μm的滤网。根据本专利技术的一个实施例，所述滤网设于盛放聚酰亚胺溶液的容器的出液口处。根据本专利技术的一个实施例，所述滤网设于一箱型容器的喷嘴处，所述含气泡的聚酰亚胺溶液经所述喷嘴涂覆于所述基板上。根据本专利技术的一个实施例，所述滤网设于一双层管的内管侧壁上，所述含气泡的聚酰亚胺溶液由所述内管侧壁流出后涂覆于所述基板上。根据本专利技术的一个实施例，烘烤固化时的温度低于400℃。根据本专利技术的一个实施例，形成于金属导线上的起伏为波浪状起伏。根据本专利技术的一个实施例，形成于金属导线上的起伏包括平坦处和凹陷处，所述凹陷处对应聚酰亚胺层上有凹孔的位置，所述平坦处对应聚酰亚胺层上的没有凹孔的位置。综上所述，本专利技术的柔性基板的金属导线制作方法通过简单的步骤即在基板上形成了具有上下起伏的金属导线，其形成的金属导线在柔性基板弯曲时可有效释放金属导线的应力，提高了柔性背板的耐弯曲性和可靠性。该方法所采用的工艺步骤简单可行，其通过对现有设备进行简单的改造即可实现，即生产出了耐用度较高的柔性基板又不会大幅增加生产成本。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1所示为本专利技术提供的柔性基板的金属导线制作方法的流程示意图。图2所示为图1中步骤二的示意图。图3所示为图1中步骤四的示意图。其中，10-基板，20-聚酰亚胺溶液，20’-聚酰亚胺层，21-气泡，30-金属层。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本专利技术详细说明如下。如图1所示，本专利技术的柔性基板的金属导线制作方法，包括：步骤一：制备含气泡21的聚酰亚胺溶液20；步骤二：将含气泡21的聚酰亚胺溶液20涂覆于一基板10上(如图2所示)；步骤三：烘烤固化该聚酰亚胺溶液20，在烘烤固化的过程中，气泡21逐渐聚集至聚酰亚胺溶液20的表层并破裂，在基板10上形成表面具有多个凹孔的聚酰亚胺层20’；步骤四：在聚酰亚胺层20’上沉积金属层30(如图3所示)；步骤五：图案化金属层30，在聚酰亚胺层20’上形成具有上下起伏的金属导线。在步骤一中，聚酰亚胺溶液20的粘度为3000～10000CPS(布氏粘度单位)，如此，可使聚酰亚胺溶液20涂覆于基板10上后不随意流动，并可将气泡束缚在溶液中不逸散出去。含气泡21的聚酰亚胺溶液20可以通过以下步骤来制备：首先，准备聚酰亚胺溶液；接着，向聚酰亚胺溶液中通入气体，形成含气泡21的聚酰亚胺溶液。由于向聚酰亚胺溶液中通入空气后形成的气泡21的体积大小不一，其中尺寸较大的气泡21最终可能会影响制备出的柔性基板的质量，因此，在向聚酰亚胺溶液中通入气体后还需要滤除尺寸较大的气泡21。滤除尺寸较大的气泡21时通常采用的方法是将上述步骤制备的含气泡的聚酰亚胺溶液通过具有特定大小孔径的滤网。在本实施例中，将含气泡21的聚酰亚胺溶液通过孔径为1～3μm的滤网，以滤除体积大于相应尺寸的气泡21。上述滤网通常设于盛放聚酰亚胺溶液的容器的出液口处。在本实施例中，该滤网设于一长方体状的箱型容器底部的喷嘴处，含气泡21的聚酰亚胺溶液经该喷嘴后涂覆于所述的基板10上。在本专利技术的其它实施例中，滤网也可以设于一双层管的内管侧壁上，含气泡的聚酰亚胺溶液由该内管的侧壁流出后涂覆于所述基板10上。在步骤二中，承载聚酰亚胺溶液20的基板10为玻璃基板，但不限于此，其也可以为其它合适的基板。在步骤三中，烘烤固化时的温度最好低于400℃，以避免温度过高对聚酰亚胺造成损害。在步骤四中，在聚酰亚胺层20’上沉积金属层30时采用物理气相沉积法，其沉积形成的金属层30各处的厚度相同，因此，金属层30的表面形状与其下方的聚酰亚胺层20’的表面形状相同，也存在多个凹孔。在步骤五中，图案化金属层时采用的工艺包括曝光、显影和蚀刻。最后形成的金属导线上的起伏类似于波浪状起伏，该波浪状起伏包括平坦处和凹陷处，该凹陷处即对应聚酰亚胺层20’上有凹孔的位置，该平坦处即对应聚酰亚胺层20’上没有凹孔的位置。综上所述，本专利技术的柔性基板的金属导线制作方法通过简单的步骤即在基板上形成了具有上下起伏的金属导线，其形成的金属导线在柔性基板弯曲时可有效释放金属导线的应力，提高了柔性背板的耐弯曲性和可靠性。该方法所采用的工艺步骤简单可行，其通过对现有设备进行简单的改造即可实现，具体地，仅在现有设备中增加了气体产生和输送设备，以向聚酰亚胺溶液中通入气体，并在聚酰亚胺溶液盛放容器的出液口处增加滤网，如此，即生产出了耐用度较高的柔性基板又不会大幅增加生产成本。以上所述，仅是本专利技术的较佳实施例而已，并非对本专利技术作任何形式上的限制，虽然本专利技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本专利技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本专利技术技术方案内容，依据本专利技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本专利技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板的金属导线制作方法，其特征在于，其包括：制备含气泡的聚酰亚胺溶液；将含气泡的聚酰亚胺溶液涂覆于一基板上；烘烤固化，在基板上形成表面具有凹孔的聚酰亚胺层；在聚酰亚胺层上沉积金属层；图案化金属层，在聚酰亚胺层上形成具有上下起伏的金属导线。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板的金属导线制作方法，其特征在于，其包括：制备含气泡的聚酰亚胺溶液；将含气泡的聚酰亚胺溶液涂覆于一基板上；烘烤固化，在基板上形成表面具有凹孔的聚酰亚胺层；在聚酰亚胺层上沉积金属层；图案化金属层，在聚酰亚胺层上形成具有上下起伏的金属导线。2.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法，其特征在于：所述聚酰亚胺溶液的粘度为3000～10000CPS。3.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法，其特征在于：所述制备含气泡的聚酰亚胺溶液的步骤包括：准备聚酰亚胺溶液；向聚酰亚胺溶液中通入气体，形成含不同体积气泡的聚酰亚胺溶液；以及滤除气泡。4.根据权利要求3所述的柔性基板的金属导线制作方法，其特征在于：所述滤除气泡的步骤包括令含气泡的聚酰亚胺溶液通过一孔径为1～3μm的滤网。5.根据权利要求4所述的柔性基板的金属导线制作方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：于锋，朱涛，葛泳，唐静，袁春芳，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32