连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置、施体基板组制造方法及图纸

本发明专利技术的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述处理，能够减少有机物的损失，并能够缩短工序时间。

Continuous manufacturing system, continuous manufacturing method, organic film device, and substrate assembly

The continuous manufacturing system of the organic light emitting element of the invention adopts the Joule heating mode and uses the two substrate to evaporate the organic film on the element substrate. Continuous type organic light emitting device manufacturing system can include a vapor deposition device, coated with organic film the first donor substrate or the element substrate is put in vapor deposition apparatus and forming a conductive film second opposed donor substrate, conductive film evaporation plating device is first applied Tiji organic film coated on the applied electric field to the Joule heat, which will be the first application of organic film coated on the substrate evaporated to second donor substrate, a conductive film of the organic film second donor substrate applying an electric field to produce a Jiao Erre of evaporation, and evaporation of organic substrates in the second film evaporated to the element substrate. The organic film is formed on the element substrate by the Joule heating mode and the first and the two application substrate, and the loss of the organic matter can be reduced through the repeated treatment, and the working time can be shortened.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机发光元件的连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置以及施体基板组，更具体而言，涉及一种利用两个施体基板和有机膜蒸镀工序，在元件基板蒸镀有机膜层，从而确保经蒸镀的有机膜的均匀性，减少有机物的损失，并且缩减工序时间(TACT time)以提高生产性的有机发光元件的连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置以及施体基板组。
技术介绍
平板显示装置中，有机电场发光显示装置的响应速度在1ms以下，具有高响应速度，耗电量低，并且由于自主发光，没有视角问题，因此与装置大小无关地成为优秀的动态影像显示媒介。此外，能够在低温下制作，并且基于现有的半导体工艺技术，制造工艺简单，因此作为未来的新一代平板显示装置，备受瞩目。此外，有机电场发光显示装置中使用的有机膜自主发光，因此在整个面上蒸镀多层有机膜后，对上下端施加电场时，可用于OLED照明装置中。与现有的LED照明是点光源不同，OLED照明是面光源，因此作为新一代照明受到极大的关注。根据这种有机电场发光显示装置以及OLED照明的制造工艺中形成有机薄膜时所采用的材料和工序，大致可以分为采用湿式工艺的高分子型元件以及使用蒸镀工序的低分子型元件。例如，在高分子或者低分子发光层的形成方法中，当采用喷墨印刷方法时，除发光层以外的有机层的材料受到限制，还存在需要在基板上形成用于喷墨印刷的结构的麻烦。此外，当通过蒸镀工序形成发光层时，会使用额外的金属掩膜，而随着平板显示装置的大型化，金属掩膜也需要大型化，此时，随着金属掩膜的大型化，发生下垂现象，因此在制作大型元件方面存在困难。另一方面，已经公开了利用焦耳加热形成有机发光层的技术。该技术首先将有机发光层形成在施体基板上，接着将施体基板和元件基本对置，然后通过焦耳加热对施体基板进行加热，从而将形成在施体基板上的有机发光层蒸镀到元件基板上。然而，利用焦耳加热形成有机发光层的技术需要增加施体基板或者元件基板的翻转等不必要的工序，从而增加工序时间(TACT time)。在先技术文献专利文献(专利文献1)韩国授权专利公报第10-1405502号(公告日2014年06月27日)(专利文献2)韩国授权专利公报第10-1169002号(公告日2012年07月26日)(专利文献3)韩国授权专利公报第10-1169001号(公开日2012年07月26日)(专利文献4)韩国公开专利公报第10-2012-0129507号(公开日2012年11月28日)
技术实现思路
所要解决的技术问题本专利技术的目的在于，一种利用两个施体基板向元件基板蒸镀有机膜的有机发光元件的连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置以及施体基板组，从而处理利用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。本专利技术的另一目的在于，提供一种有机发光元件的连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置以及施体基板组，从而确保经蒸镀的有机膜的均匀性，并且减少有机物的损失。本专利技术的又一目的在于，提供一种有机发光元件的连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置以及施体基板组，从而缩短工序时间。解决技术问题的方案为了解决上述技术问题，根据本专利技术的有机发光元件的连续式制造系统可以包括：第一涂覆装置，用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物；第二涂覆装置，用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物；以及蒸镀装置，其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连，对被搬送的所述第一有机物用施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上，接着对所述第二有机物用施体基板施加电场，从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上。此外，根据本专利技术，所述第一有机物用施体基板可以包括：第一施体基板，设置在所述第一涂覆装置中，所述第一有机物经过一次溶液涂覆被涂覆在该第一施体基板上；第二施体基板，设置在所述蒸镀装置中，当对所述第一施体基板施加电场时，使一次溶液涂覆在所述第一施体基板上的所述第一有机物被二次蒸镀到该第二施体基板上。此外，根据本专利技术，可以进一步包括第n涂覆装置(n是正整数)，用于在第n有机物用施体基板涂覆第n有机物，所述蒸镀装置可以与所述第n涂覆装置相连，对被搬送的所述第n有机物用施体基板施加电场，以对搬送到第n位置的所述元件基板进行蒸镀，并且进一步包括元件基板搬送装置，所述元件基板搬送装置能够将所述元件基板从第n位置搬送到第n+1位置。此外，根据本专利技术，所述n可以是1至4中的任一整数，所述第一涂覆装置包括用于喷涂HIL有机物的HIL涂覆室，所述第二涂覆装置包括用于喷涂HTL有机物的HTL涂覆室，所述第三涂覆装置包括用于喷涂EML有机物的EML涂覆室，所述第四涂覆装置包括用于喷涂ETL有机物的ETL涂覆室。此外，根据本专利技术，所述n可以是1至5中的任一整数，所述第五涂覆装置包括用于喷涂EIL有机物的EIL涂覆室。此外，根据本专利技术，在所述EML涂覆室中，在EML有机物用第一施体基板涂覆EML有机物，所述蒸镀装置对通过施体基板搬送装置搬送的所述EML有机物用第一施体基板施加电场，从而将所述EML有机物蒸镀到EML有机物用第二施体基板上，并对所述EML有机物用第二施体基板施加电场，从而将所述EML有机物蒸镀到所述元件基板上。此外，根据本专利技术，所述EML有机物用第一施体基板可以以朝上的方式设置在所述EML涂覆室中，由所述施体基板搬送装置进行水平搬送，所述EML有机物用第二施体基板可以以朝下的方式设置在第一高度上，能够通过驱动部下降到第二高度，以便能够与水平搬送到所述蒸镀装置中的所述EML有机物用第一施体基板隔开第一间隔，所述元件基板可以以朝上的方式设置在所述EML有机物用第二施体基板的下方。此外，根据本专利技术，所述EML有机物用第一施体基板可以包括电热层上未形成有图案的无图案型四边形薄膜层，所述EML有机物用第二施体基板可以包括电热层上形成有图案或者电热层上形成具有图案的隔壁层的图案型四边形薄膜层。此外，根据本专利技术，所述第一涂覆装置可以在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物，所述蒸镀装置可以对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上，并对所述第一有机物用第二施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到所述元件基板上。此外，根据本专利技术，所述蒸镀装置可以包括：蒸镀室，能够在其内部形成真空环境；第一供电装置，设置在所述蒸镀室的一侧，能够对所述第一施体基板施加电场；第二供电装置，设置在所述蒸镀室的另一侧，能够对所述第二施体基板施加电场。此外，根据本专利技术，所述蒸镀室可以是连通式长方形腔室，其前端形成有投入口，后端形成有排出口，沿着长度方向延伸，以使一侧分别与所述第一涂覆装置和所述第二涂覆装置相连，内部设置有具备连通口的隔板或者门板。此外，根据本专利技术，所述第一涂覆装置可以包括：第一侧方涂覆室，其以所述蒸镀装置的长度方向为基准，设置在第一宽度方向上；第二侧方涂覆室，其以所述蒸镀装置的所述长度方向为基准，设置在第二宽度方向上。此外，根据本专利技术的有机发光元件的连续式制造系统，可以进一步包括：装载装置，用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置；卸载装置，用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板；以及控制部，能够向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置、所述装载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，包括：第一涂覆装置，用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物；第二涂覆装置，用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物；以及蒸镀装置，其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连，对被搬送的所述第一有机物用施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上，接着对所述第二有机物用施体基板施加电场，从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上。

【技术特征摘要】
2015.05.15 KR 10-2015-0067764;2016.05.12 KR 10-2011.一种有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，包括：第一涂覆装置，用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物；第二涂覆装置，用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物；以及蒸镀装置，其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连，对被搬送的所述第一有机物用施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上，接着对所述第二有机物用施体基板施加电场，从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上。2.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述第一有机物用施体基板包括：第一施体基板，设置在所述第一涂覆装置中，所述第一有机物经过一次溶液涂覆被涂覆在该第一施体基板上；第二施体基板，设置在所述蒸镀装置中，当对所述第一施体基板施加电场时，一次溶液涂覆在所述第一施体基板上的所述第一有机物被二次蒸镀到该第二施体基板上。3.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，进一步包括第n涂覆装置，用于在第n有机物用施体基板涂覆第n有机物，其中n是正整数，所述蒸镀装置与所述第n涂覆装置相连，对被搬送的所述第n有机物用施体基板施加电场，从而对搬送到第n位置的所述元件基板进行蒸镀，所述蒸镀装置进一步包括元件基板搬送装置，所述元件基板搬送装置将所述元件基板从第n位置搬送到第n+1位置。4.根据权利要求3所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述n为1至4中的任一整数，所述第一涂覆装置包括用于喷涂HIL有机物的HIL涂覆室，所述第二涂覆装置包括用于喷涂HTL有机物的HTL涂覆室，所述第三涂覆装置包括用于喷涂EML有机物的EML涂覆室，所述第四涂覆装置包括用于喷涂ETL有机物的ETL涂覆室。5.根据权利要求4所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述n为1至5中的任一整数，所述第五涂覆装置包括用于喷涂EIL有机物的EIL涂覆室。6.根据权利要求5所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，在所述EML涂覆室中，将EML有机物涂覆在EML有机物用第一施体基板上，所述蒸镀装置对通过施体基板搬送装置搬送的所述EML有机物用第一施体基板施加电场，从而将所述EML有机物蒸镀到EML有机物用第二施体基板上，并对所述EML有机物用第二施体基板施加电场，从而将所述EML有机物蒸镀到所述元件基板上。7.据权利要求6所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述EML有机物用第一施体基板以朝上的方式设置在所述EML涂覆室中，并由所述施体基板搬送装置进行水平搬送，所述EML有机物用第二施体基板以朝下的方式设置在第一高度上，能够通过驱动部下降到第二高度，以便能够与水平搬送到所述蒸镀装置中的所述EML有机物用第一施体基板隔开第一间隔，所述元件基板以朝上的方式设置在所述EML有机物用第二施体基板的下方。8.据权利要求6所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述EML有机物用第一施体基板包括电热层上未形成有图案的无图案型四边形薄膜层，所述EML有机物用第二施体基板包括电热层上形成有图案或者电热层上形成具有图案的隔壁层的图案型四边形薄膜层。9.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述第一涂覆装置在第一有机物用第一施体基板涂覆第一有机物，所述蒸镀装置对通过施体基板搬送装置搬送的所述第一有机物用第一施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到第一有机物用第二施体基板上，接着对所述第一有机物用第二施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到所述元件基板上。10.根据权利要求9所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀室，在其内部能够形成真空环境；第一供电装置，设置在所述蒸镀室的一侧，对所述第一施体基板施加电场；第二供电装置，设置在所述蒸镀室的另一侧，对所述第二施体基板施加电场。11.根据权利要求10所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述蒸镀室是连通式长方形腔室，其前端形成有投入口，后端形成有排出口，沿着长度方向延伸，以使一侧分别与所述第一涂覆装置和所述第二涂覆装置相连，并且内部设置有具备连通口的隔板或者门板。12.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述第一涂覆装置包括：第一侧方涂覆室，其以所述蒸镀装置的长度方向为基准，设置在第一宽度方向上；第二侧方涂覆室，其以所述蒸镀装置的所述长度方向为基准，设置在第二宽度方向上。13.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，进一步包括：装载装置，用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置的第一位置；卸载装置，用于从所述蒸镀装置卸载所述元件基板；以及控制部，向所述第一涂覆装置、所述第二涂覆装置、所述蒸镀装置、所述装载装置以及所述卸载装置施加控制信号。14.根据权利要求13所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，进一步包括：第一电极形成装置，设置在所述装载装置与所述蒸镀装置之间，用于在所述元件基板上形成第一电极层。15.根据权利要求13所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，进一步包括：第二电极形成装置，设置在所述蒸镀装置与所述卸载装置之间，用于在所述元件基板上形成第二电极层。16.根据权利要求15所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，进一步包括：封装装置，设置在所述第二电极形成装置与所述卸载装置之间，用于对所述元件基板进行封装。17.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述第一涂覆装置包括：第一涂覆室；喷雾装置，设置在所述第一涂覆室中，用于向所述第一有机物用施体基板喷涂所述第一有机物；固化装置，通过烘烤板或者光照射装置，使涂覆在所述第一有机物用施体基板上的所述第一有机物固化；以及施体基板搬送装置，用于将所述第一有机物用施体基板搬送到所述蒸镀装置中。18.根据权利要求17所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述第一涂覆室是进行喷涂后能够形成真空环境的加载互锁室兼喷雾室。19.根据权利要求17所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述喷雾装置是能够在真空环境下喷涂所述第一有机物的真空喷雾装置。20.根据权利要求10所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，在所述蒸镀装置与所述第一涂覆装置之间、或者所述装载装置与所述蒸镀装置之间设置有加载互锁室。21.根据权利要求20所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，所述加载互锁室是垂直加载型加载互锁室，其能够将多个所述元件基板沿着垂直方向加载在托盘上。22.根据权利要求1所述的有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，在所述第一涂覆装置以及所述蒸镀装置中的任意一个以上的装置上设置有对...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴善淳，李海龙，金荣道，池成勋，洪沅义，
申请(专利权)人：株式会社达文希斯，
类型：发明
国别省市：韩国;KR