本发明涉及一种掩模清洗装置以及掩模清洗方法，其能够清洗残留在有机发光装置用金属掩模表面上的有机物。所述掩模清洗装置可以包括：真空腔室，在内部形成有能够收纳掩模的收纳空间，并且在内部形成真空环境，从而易于去除残留在所述掩模上的有机物；第一...

本发明涉及一种利用感应加热的蒸镀装置及蒸镀系统。本发明涉及的蒸镀装置(100)是利用感应加热的蒸镀装置(100)，其特征在于，包括腔室(110)及感应加热部(140)，通过感应加热部(140)对源基板(120)进行感应加热，并将形成在源...

本发明的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其中...

本实用新型的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，...

本实用新型涉及有机发光元件的连续式制造系统以及有机发光元件制造用施体基板组。本实用新型的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一...

本发明的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，蒸镀装置...

本发明涉及感应加热头，更详细而言，涉及一种用于熔融并供应金属材料的感应加热头。特别是涉及一种用于对供应的金属材料进行局部加热并以熔融的状态供应的感应加热头。本发明的感应加热头能够应用于钎焊、金属熔接、金属材料的3D打印等多样的技术领域。...

本发明涉及表面处理方法及装置，更详细地讲，涉及利用等离子体离子处理导电性对象物的表面的方法及装置。本发明的目的是提供一种利用等离子体离子能够处理如金属板材或线材那样的连续供给的对象物的表面的处理装置及方法。根据本发明，提供如下等离子表面...