晶片显影装置制造方法及图纸

晶片显影装置。涉及一种显影装置，尤其涉及一种用于晶片生产的显影装置。提供了一种结构简单，显影效果好，安全性高的晶片显影装置。若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。所述密封盖上设有管道一，所述管道一上有阀门一，所述管道一通过三通与所述管道二、气泵的输出端相连通。本实用新型专利技术保证晶片相对静止，提高了显影效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种显影装置，尤其涉及一种用于晶片生产的显影装置。
技术介绍
二极管芯片或其它芯片在制造过程为便于切割，有一道晶片显影工序，将切割的形状线条通过显影液显示在待切割的晶片上。一般显影有全自动的显影机和显影槽两类设备，但全自动显影机相对于显影槽，效率低耗用的物料多，而显影槽显影的外观效果相对于自动显影机显影的效果较差。目前大多数公司采用的是提刷的方式，即显影槽中的显影液静止，通过机械作用将晶片反复浸入，使得显影液均匀涂覆在晶片上，从而使得线条清晰，但提刷的方式产生静电，易失火存在安全隐患。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种结构简单，显影效果好，安全性高的晶片显影装置。本技术的技术方案是：包括显影槽和气泵，所述显影槽内设有若干隔板，所述隔板将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液；若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。所述显影槽上还设有密封盖，所述密封盖上设有管道一，所述管道一上有阀门一，所述管道一通过三通与所述管道二、气泵的输出端相连通。所述密封盖与所述显影槽的接触面上设有密封装置，防止气体泄漏。所述晶片显影装置中与显影液接触的部分均涂覆有防腐涂层。所述储气罐中装有惰性气体。本技术利用惰性气体催动显影液在隔舱内流动，代替提刷的动作，防止晶片上的图形不能完全显示在晶片表面，提升显影效果，从而提高产品的良率。且不需要进行提刷操作，避免产生静电，消除失火隐患，提高了安全性。在隔舱底部设有凹槽，有效固定晶片，防止晶片随着显影液的流动而运动，保证晶片相对静止，提高了显影效果。附图说明图1是本技术结构示意图；图中1是显影槽，11是密封盖，12是隔断，13是出气装置，21是管道一，211是阀门一，22是管道二，221是阀门二，23是三通，3是气泵，4是储气罐。具体实施方式本技术如图1所示，包括显影槽1和气泵3，所述显影槽1内设有若干隔板12，所述隔板12将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液，每个隔舱相对独立，在需要显影的晶片数量少的情况下只需要在相应使用的隔舱内投放显影液，节约了显影液，降低生产成本。若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置13，所述出气装置13上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；凹槽能够固定晶片，防止晶片在显影过程中随显影液的流动而动作，保证显影效果，提升了产品合格率。惰性气体从气道流通并通过出气孔搅动显影液，使得显影液和晶片相对运动，提升显影效果，从而提高产品的良率。且不需要进行提刷操作，避免产生静电，消除失火隐患，提高了安全性。所述显影槽1的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵3的输出端连接，所述气泵3的输入端通过管道二22连接储气罐4，所述管道二22上设有阀门二221。储气罐中存储惰性气体，用于搅动显影液，使得显影液在晶片表面涂覆均匀，提高显影效果。所述显影槽上1还设有密封盖11，所述密封盖11上设有管道一21，所述管道一21上有阀门一211，所述管道一21通过三通23与所述管道二22、气泵3的输出端相连通。晶片生产车间通常相对密闭，在显影槽上加上密封盖，密封盖上设管道一，使得搅动显影液的惰性气体能够在气泵的作用下在管道和显影槽中循环利用，既降低了生产成本又能够保护车间环境。所述密封盖11与所述显影槽1的接触面上设有密封装置，防止气体从密封盖与显影槽的接触面泄漏，提高密封性能。所述晶片显影装置中与显影液接触的部分均涂覆有防腐涂层，由于显影剂具有腐蚀性，所以在与显影液接触的部分均涂覆有防腐涂层，提升装置的使用寿命。防腐涂层优选采用特氟龙材料制作。所述储气罐4中装有惰性气体，使用惰性气体搅动显影液主要是为了避免显影液与气体间发生化学反应导致显影液失效，降低晶片生产成本。晶片显影装置的工作原理是首先在隔舱内放置需要进行显影的晶片，将晶片固定在凹槽上，防止晶片随显影液的流动而乱动，然后将显影液倒入隔舱，每个隔舱内倒入等量的显影液，使得每块晶片在显影时间上一致，方便工人进行操作。随后盖上密封盖，启动气泵并打开阀门二，气泵从储气罐中抽取惰性气体，通过管道及出气装置的作用下搅拌显影液，使得显影液与晶片之间形成相对运动，提升显影效果，一段时间后打开阀门一同时关闭阀门二，使得存留在显影槽中的惰性气体在气泵好管道一的作用下在显影槽中循环使用，节约了成本，同时不会污染环境。显影结束时关闭气泵并打开密封盖，释放出惰性气体，将显影完成的晶片取出，进行下一道工序。本技术利用惰性气体催动显影液在隔舱内流动，代替提刷的动作，防止晶片上的图形不能完全显示在晶片表面，提升显影效果，从而提高产品的良率。且不需要进行提刷操作，避免产生静电，消除失火隐患，提高了安全性。在隔舱底部设有凹槽，有效固定晶片，防止晶片随着显影液的流动而运动，保证晶片相对静止，提高了显影效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶片显影装置，包括显影槽和气泵，其特征在于，所述显影槽内设有若干隔板，所述隔板将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液；若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。

【技术特征摘要】
1.晶片显影装置，包括显影槽和气泵，其特征在于，所述显影槽内设有若干隔板，所述隔板将显影槽隔断成若干隔舱，所述隔舱用于放置显影液；若干所述隔舱的底部均设有相互连通的出气装置，所述出气装置上设有用于卡合晶片的凹槽和若干出气孔，所述出气装置内部设有供气体流通的气道，所述气道上设有与出气孔相对应的通孔；所述显影槽的外壁上设有与气道相通的进气口，所述进气口与气泵的输出端连接，所述气泵的输入端通过管道二连接储气罐，所述管道二上设有阀门二。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王焕之，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32