一种用于晶片的抛光夹具制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种抛光夹具，尤其是涉及一种用于晶片的抛光夹具。
技术介绍
晶片通常指由水晶、玻璃、磁性材料等小尺寸（8-20mm）制作而成的光学零件，晶片表面的抛光率影响晶片成形后的性能。当晶片抛光采用双侧抛光时，需要在晶片的双侧表面分布抛光粉液，以在抛光设备上盘与和晶片之间的摩擦来抛光晶片。但是目前的工艺中抛光粉液从单侧供给，不能很好地时晶片的上表面和下表面充分与抛光粉液接触，无法保证抛光率。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种改善后的抛光夹具，使抛光时抛光粉液可充分与晶片接触本技术的一种用于晶片的抛光夹具的技术方案为包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面。进一步地，所述固定槽为若干个，所述相邻两个固定槽边缘的距离大于凹槽深度。进一步地，所述固定槽为长方形固定槽或圆形固定槽或三角形固定槽。进一步地，所述基座为圆形，分为内圈和外圈，所述外圈间隔分布长方形固定槽和圆形固定槽，内圈间隔分布长方形固定槽和三角形固定槽，圆形基座的中心为圆形固定槽。进一步地...
【技术保护点】
一种用于晶片的抛光夹具，其特征在于，包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶片的抛光夹具，其特征在于，包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面。2.如权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于，所述固定槽为若干个，所述相邻两个固定槽边缘的距离大于凹槽深度。3.如权利要求1或2所述的抛光夹具，其特征在于，所述固定槽为长方形固定槽或圆形固定槽或三角形固定槽。4.如权利要求3所述的抛光夹具，其特征在于，所述基座为圆形，分为内圈和外圈，所述固定槽呈圆周分布于所述内圈...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘连贵，
申请(专利权)人：浙江台佳电子信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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