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本实用新型涉及一种用于晶片的抛光夹具，包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面，使抛光设备进行抛光工作时，抛光夹具均匀得放置在研...
该专利属于浙江台佳电子信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江台佳电子信息科技有限公司授权不得商用。

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